【技术实现步骤摘要】
本申请属于单晶炉加热器支撑,尤其是涉及一种单晶炉加热器支撑机构。
技术介绍
1、直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术,行业内直拉单晶使用的设备都为直拉单晶炉,单晶炉中的加热装置主要为石墨制的主加热器,主加热器中有两个电极脚是不通电的,且悬空而置,并作为备用。现有不同点的两个电极脚,在使用过程中,由于无合适的支撑,使得高温后其受自身重力的影响,导致这两个不通电的电极脚会发生变形,不通电的电极脚与通电的电极脚的支撑高度不等,致使整个主加热器无法平稳地放置,进而导致主加热器的结构受力不均匀,极易出现损坏,严重影响主加热器的使用寿命。
技术实现思路
1、本申请提供一种单晶炉加热器支撑机构,解决了现有技术中由于不同点的电极脚是悬空设置,使得高温后不通电电极脚与其它通电电极脚的受力不均匀,导致主加热器使用寿命降低的技术问题。
2、为解决至少一个上述技术问题,本申请采用的技术方案是:
3、一种单晶炉加热器支撑机构,包括支撑架、调节杆及垫片,所述垫片连接电极脚与调节杆,所述调节杆与支撑架配合并使调节杆相对于支撑架上下移动,进而可调整电极脚的支撑位置高度。
4、进一步的,所述垫片为具有绝缘性的环形结构,其直径不小于电极脚的下端面的最大直径。
5、进一步的,所述支撑架包括具有筒柱结构的本体,在本体上端面设有翼边;本体与调节杆螺纹配合。
6、进一步的,所述本体的外径小于位于电极脚下方的护盘安装孔的内径;
7、所述翼边的最
8、进一步的,所述本体的高度不小于护盘安装孔的深度。
9、进一步的,所述翼边为一体式的环形结构或正方形结构或多边形结构。
10、进一步的,所述翼边为分瓣式的扇形结构或方型结构。
11、进一步的,所述调节杆为螺纹杆,其穿过支撑架并可沿支撑架高度上下旋配升降。
12、进一步的,所述调节杆的顶部为平整平面,其直径不小于垫片直径的3/4。
13、进一步的,所述调节杆的高度高于支撑架的高度。
14、采用本申请设计的一种单晶炉加热器支撑机构,针对不通电的电极脚而设计,可用于支撑不通电的电极脚,同时可基于实际情况对其高度进行任意调节,以适合不同高度要求的不通电的电极脚的支撑,同时还可保证该电极脚的绝缘性;结构简单且易于拆装,且不易晃动,安全可靠;可防止加热器变形导致其质量降低,并有效延长加热器使用寿命。
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1.一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,包括支撑架、调节杆及垫片,所述垫片连接电极脚与调节杆,所述调节杆与支撑架配合并使调节杆相对于支撑架上下移动,进而可调整电极脚的支撑位置高度。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述垫片为具有绝缘性的环形结构,其直径不小于电极脚的下端面的最大直径。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述支撑架包括具有筒柱结构的本体,在本体上端面设有翼边;本体与调节杆螺纹配合。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述本体的外径小于位于电极脚下方的护盘安装孔的内径;
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述本体的高度不小于护盘安装孔的深度。
6.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述翼边为一体式的环形结构或正方形结构或多边形结构。
7.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述翼边为分瓣式的扇形结构或方型结构。
8.根据权
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述调节杆的顶部为平整平面,其直径不小于垫片直径的3/4。
10.根据权利要求9所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述调节杆的高度高于支撑架的高度。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,包括支撑架、调节杆及垫片,所述垫片连接电极脚与调节杆,所述调节杆与支撑架配合并使调节杆相对于支撑架上下移动,进而可调整电极脚的支撑位置高度。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述垫片为具有绝缘性的环形结构,其直径不小于电极脚的下端面的最大直径。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述支撑架包括具有筒柱结构的本体,在本体上端面设有翼边;本体与调节杆螺纹配合。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在于,所述本体的外径小于位于电极脚下方的护盘安装孔的内径;
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉加热器支撑机构,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:李鹏飞,许建,张文霞,王林,
申请(专利权)人:内蒙古中环晶体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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