【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶体生长的，具体而言，涉及一种石英坩埚的夹持装置与封接吊装系统。
技术介绍
1、石英坩埚普遍应用于晶体生长，目前石英坩埚的封接操作、石英管装入风机及搬运通常采用人工方式。当石英坩埚体积较大、重量较大时，人工搬运装卸耗时较长、人力成本很高；部分石英坩埚内的生长料涉及重金属元素，而人为装夹石英坩埚无法准确、稳定地控制各个装夹位置的压力均匀适当，外壁较脆的石英坩埚一旦在人工搬运时出现破损，也会产生不可估量的危害；石英坩埚在装入封接机过程中发生倾覆，封装过程出现石英管破裂，石英坩埚内的生长料会发生混乱进而破坏原材料的均匀性，影响后期晶体生长质量与晶体生长速度。
2、现有技术中公开有针对坩埚或晶棒的夹具，但其普遍为：在围绕坩埚或晶棒的圆周侧壁的各个夹紧支点处，以夹具径向施压方式实现对坩埚或晶棒的夹紧。上述方式难以保证各个夹紧位置压力均衡，容易出现某个夹紧位置压力较小造成坩埚倾斜滑脱、或某个夹紧位置压力过大、局部应力集中导致坩埚的脆性外壁碎裂损坏等问题。
3、由此，亟需一种石英坩埚的夹持装置，其不仅能够对坩埚侧壁全方位牢固夹持，还能够保证侧壁夹持位置各处压力均衡、减小应力集中。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种石英坩埚的夹持装置与封接吊装系统，其能够通过压盖的直线移动缩小压盖与压环和/或相邻压环之间的间距，进而挤压弹性变形圈，使其向内变形以夹紧石英坩埚侧壁；或者，夹持装置能够通过压盖的直线移动增大压盖与压环和/或相邻压环之间的间距，进而使弹性变形圈恢
2、本申请的实施例是这样实现的：
3、本申请实施例第一方面提供了一种石英坩埚的夹持装置，包括：压盖、直线驱动部件、至少一个压环以及弹性变形圈，直线驱动部件设于压盖的一端，压盖能够由直线驱动部件带动，沿压盖的轴线方向做直线往复移动；压环设于压盖的另一端，各个压环的中央具有坩埚容置孔；弹性变形圈设于压环与压盖之间，和/或，弹性变形圈设于相邻的压环之间；弹性变形圈围绕坩埚容置孔设置；压盖朝靠近压环的方向移动时，弹性变形圈受压且朝向坩埚容置孔内变形突出，以紧贴石英坩埚的侧壁；压盖朝远离压环的方向移动时，弹性变形圈恢复原形并与石英坩埚的侧壁之间形成空隙。
4、于一实施例中，在压环与压盖之间，和/或，在相邻的压环之间，具有用于容置弹性变形圈的容置空位，容置空位的顶面和/或容置空位的底面相对于水平面倾斜，且朝向坩埚容置孔内。
5、于一实施例中，每个压环的外壁上均设有多个环绕坩埚容置孔设置的导向连接块，导向连接块与压环一体成型。
6、于一实施例中，石英坩埚的夹持装置还包括至少三个导向柱，各个导向柱围绕坩埚容置孔均匀布设，且贯穿压盖、与各层压环分别对应的导向连接块，导向柱的轴线与坩埚容置孔的轴线平行。
7、于一实施例中，石英坩埚的夹持装置还包括多个弹性件，弹性件设于压盖与导向连接块之间，或者，沿压盖的轴线方向弹性件设于相邻的导向连接块之间。
8、于一实施例中，石英坩埚的夹持装置还包括至少一个位移压力传感器，各个位移压力传感器垂直于压盖的端面设置，位移压力传感器的一端与压盖连接，位移压力传感器的另一端抵靠在导向连接块的顶面。
9、于一实施例中，石英坩埚的夹持装置还包括控制器，控制器与各个位移压力传感器、直线驱动部件电性连接，控制器被配置为：接收各个位移压力传感器检测到的压力参数，通过直线驱动部件控制压盖移动或停止移动。
10、于一实施例中，石英坩埚的夹持装置还包括夹持外壳，各个压环均设于夹持外壳内；夹持外壳的底端具有第一开口与围成第一开口的挡边，邻近第一开口处设置的压环的底端具有向外延伸的凸缘，凸缘的底面抵靠在挡边上。
11、于一实施例中，直线驱动部件包括安装座、驱动元件、传动组件以及升降丝杆。其中，驱动元件设于安装座的顶面；传动组件与驱动元件的输出轴连接；升降丝杆与传动组件连接，且能够由传动组件带动做直线移动，升降丝杆伸入安装座内的一端与压盖连接。
12、本申请实施例第二方面提供了一种石英坩埚的封接吊装系统，石英坩埚的封接吊装系统包括吊装装置以及本申请第一方面任一实施例提供的石英坩埚的夹持装置，石英坩埚的夹持装置还包括吊装架，吊装架与直线驱动部件的安装座连接，吊装架的边缘均布有至少三个吊装固定件；吊装装置被配置为与吊装固定件连接，以搬运石英坩埚。
13、本申请与现有技术相比的有益效果是：
14、本申请能够解决现有技术中夹持机构夹持石英坩埚时，因夹持力不均匀造成的石英坩埚滑脱、损坏、搬运效率降低、搬运困难等问题。本申请通过直线驱动部件带动压盖直线移动，使压盖靠近或远离压环，进而缩小或增大压盖与压环之间和/或相邻压环之间的间距，压环的中心具有坩埚容置孔，弹性变形圈设置在压盖与压环之间和/或相邻压环之间，当间距缩小时弹性变形圈受力变形且朝向坩埚容置孔内突出以压紧石英坩埚的侧壁，当间距增大时弹性变形圈恢复原形以释放石英坩埚。由此，本申请能够通过弹性变形圈的轴向受力使其径向变形，进而使弹性变形圈径向均匀压紧石英坩埚侧壁，本申请具有夹持力均匀稳定、封接可靠、搬运效率高等优点。
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1.一种石英坩埚的夹持装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，在所述压环与所述压盖之间，和/或，在相邻的所述压环之间，具有用于容置所述弹性变形圈的容置空位，所述容置空位的顶面和/或所述容置空位的底面相对于水平面倾斜，且朝向所述坩埚容置孔内。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，每个所述压环的外壁上均设有多个环绕所述坩埚容置孔设置的导向连接块，所述导向连接块与所述压环一体成型。
4.根据权利要求3所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，所述石英坩埚的夹持装置还包括：
5.根据权利要求3所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，所述石英坩埚的夹持装置还包括多个弹性件，所述弹性件设于所述压盖与导向连接块之间，或者，沿所述压盖的轴线方向所述弹性件设于相邻的所述导向连接块之间。
6.根据权利要求3所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，所述石英坩埚的夹持装置还包括：
7.根据权利要求6所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，所述石英坩埚的夹持装置还包括：
9.根据权利要求1所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，所述直线驱动部件包括：
10.一种石英坩埚的封接吊装系统，其特征在于，所述石英坩埚的封接吊装系统包括：
...【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚的夹持装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，在所述压环与所述压盖之间，和/或，在相邻的所述压环之间，具有用于容置所述弹性变形圈的容置空位，所述容置空位的顶面和/或所述容置空位的底面相对于水平面倾斜，且朝向所述坩埚容置孔内。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，每个所述压环的外壁上均设有多个环绕所述坩埚容置孔设置的导向连接块，所述导向连接块与所述压环一体成型。
4.根据权利要求3所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于，所述石英坩埚的夹持装置还包括：
5.根据权利要求3所述的石英坩埚的夹持装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺琪，杨帆，介万奇，高孟，王苗，黄云云，万伟晟，
申请(专利权)人：陕西迪泰克新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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