【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶硅生产制造，涉及单晶炉真空管道内壁清理装置。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，使用加热器和多热场部件配合将硅料熔成高温液态，通过用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉结构包括主炉室、副室、提升机构、抽真空装置、气体管路装置等，抽真空装置主要包括真空管道和真空泵，真空管道连接真空泵和单晶炉。在单晶生长过程中，产生的气体会吸附在真空管道内壁上，尤其是真空管道拐角处更容易堆积附着物，如果不能及时清理将会堵塞真空管道，影响单晶生长。因此，需要一种单晶炉真空管道内壁清理装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、为解决上述存在的技术问题，本技术提供了一种单晶炉真空管道内壁清理装置，能够快速清理真空管道内壁的附着物，降低因真空管道堵塞、不通畅引起的单晶生长异常。
2、本技术采用的技术方案是：一种单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：包括调节杆以及多组与所述调节杆连接的清理组件，且所述清理组件的外围与真空管道内壁接触，驱动所述调节杆可带动所述清理组件转动，以清理所述真空管道内壁。
3、进一步的，所述清理组件包括连接杆、清理刷、导流板和固定板，所述连接杆两端分别连接所述调节杆和所述固定板，所述清理刷与所述真空管道内壁接触，所述导流板和所述清理刷沿气流方向布设在所述固定板的同侧，以使所述气流从所述导流板经过而不会直接作用在所述清理刷上。
4、进一步的，所述导流板为弧形板，其与所述清理刷呈一定夹角。
5、进一步的，所述连接
6、进一步的，所述调节杆外侧包裹有导向件，其通过所述导向件与所述连接杆连接，驱动所述导向件可带动所述清理组件沿所述调节杆的长度方向位移。
7、进一步的，所述调节杆上设有向内凹陷的滑槽，所述导向件的内侧设有与所述滑槽相匹配的凸起部，所述凸起部可沿所述滑槽位移，进而带动所述清理组件位移。
8、进一步的，所述导向件与所述调节杆之间设有限位件，以限制两者相对位移。
9、进一步的，所述导向件与所述连接杆转动连接。
10、进一步的，所述连接杆远离所述固定板的端部设有支撑部，其抵持在所述调节杆外壁。
11、进一步的，所述调节杆远离所述导向件的端部与电机的输出端连接
12、本技术设计的一种单晶炉真空管道内壁清理装置，设置与真空管道内壁接触的清理刷，通过清理刷的转动以快速进行清理；沿气流方向依次设置导流板和清理刷，使得清理刷在清理附着物的同时气流不会直接作用在清理刷上，不会对气流的流速造成影响，也不会对单晶生长过程中节流阀的开度造成影响，进而提升影响成晶、品质问题；设置导向件和可调节的连接杆，两者相互配合，使得清理刷与内壁的接触力度和接触位置可灵活调节，适用性更强；固定板与连接杆转动连接，可根据管道类型和尺寸进行调节，以使清理刷始终与管道内壁接触，能够清理多种管道结构；连接杆通过支撑部抵接在调节杆外壁，使得清理组件与调节杆之间的连接更加稳定牢固，增加了使用过程中的稳定性和安全性。
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1.一种单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：包括调节杆以及多组与所述调节杆连接的清理组件，且所述清理组件的外围与真空管道内壁接触，驱动所述调节杆可带动所述清理组件转动，以清理所述真空管道内壁。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述清理组件包括连接杆、清理刷、导流板和固定板，所述连接杆两端分别连接所述调节杆和所述固定板，所述清理刷与所述真空管道内壁接触，所述导流板和所述清理刷沿气流方向布设在所述固定板的同侧，以使所述气流从所述导流板经过而不会直接作用在所述清理刷上。
3.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述导流板为弧形板，其与所述清理刷呈一定夹角。
4.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述连接杆的长度可调节，以使所述清理刷与所述调节杆之间的距离可调节。
5.根据权利要求2至4任一项所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述调节杆外侧包裹有导向件，其通过所述导向件与所述连接杆连接，驱动所述导向件可带动所述清理组件沿所述调节杆的长度方向位移
6.根据权利要求5所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述调节杆上设有向内凹陷的滑槽，所述导向件的内侧设有与所述滑槽相匹配的凸起部，所述凸起部可沿所述滑槽位移，进而带动所述清理组件位移。
7.根据权利要求6所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述导向件与所述调节杆之间设有限位件，以限制两者相对位移。
8.根据权利要求6所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述导向件与所述连接杆转动连接。
9.根据权利要求8所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述连接杆远离所述固定板的端部设有支撑部，其抵持在所述调节杆外壁。
10.根据权利要求6至9任一项所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述调节杆远离所述导向件的端部与电机的输出端连接。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：包括调节杆以及多组与所述调节杆连接的清理组件，且所述清理组件的外围与真空管道内壁接触，驱动所述调节杆可带动所述清理组件转动，以清理所述真空管道内壁。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述清理组件包括连接杆、清理刷、导流板和固定板，所述连接杆两端分别连接所述调节杆和所述固定板，所述清理刷与所述真空管道内壁接触，所述导流板和所述清理刷沿气流方向布设在所述固定板的同侧，以使所述气流从所述导流板经过而不会直接作用在所述清理刷上。
3.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述导流板为弧形板，其与所述清理刷呈一定夹角。
4.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征在于：所述连接杆的长度可调节，以使所述清理刷与所述调节杆之间的距离可调节。
5.根据权利要求2至4任一项所述的单晶炉真空管道内壁清理装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟旭，叶云猛，苏智峰，池通河，刘燕军，张鸿飞，高瑞鸿，李志伟，郝勇，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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