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本技术属于单晶硅生产制造技术领域，涉及一种单晶炉真空管道内壁清理装置，包括调节杆以及多组与所述调节杆连接的清理组件，且所述清理组件的外围与真空管道内壁接触，驱动所述调节杆可带动所述清理组件转动，以清理所述真空管道内壁。本技术的有益效果是，设...
该专利属于内蒙古中环晶体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古中环晶体材料有限公司授权不得商用。

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