薄膜电容器制造技术

技术编号:3928785 阅读:166 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是有关于一种薄膜电容器,一种薄膜电容器,包含:一个第一电极、一个与该第一电极相对立设置的第二电极,及一层夹置于该第一、二电极间的介电膜层结构。该介电膜层结构具有一层经掺杂的介电层,该经掺杂的介电层具有一大于零且小于1010原子/cm3的掺杂浓度的掺杂物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电容器(capacitor),特别是涉及一种具有掺杂介电层(doped dielectric)的薄膜电容器(thin film capacitor)。
技术介绍
参阅图1,显示有一种三层结构的现有电容器1,包含一个第一电极11、一个与 该第一电极11相反设置的第二电极12,及一层夹置于该等电极11、12间且是由绝缘材料 (insulator)所构成的介电层(dielectriclayer) 13。如以下公式(I)所示C-rA<formula>formula see original document page 3</formula>]...................................................(Ι)该三层结构的现有电容器1的电容值(capacitance,C)是正比于任意一个电极 11、12的面积(A)与该介电层13的介电系数(permittivity,ε ),而且是反比于该介电层 13的厚度(d)。一般而言,经由增加任意一个电极11、12的面积㈧与该介电层13的介电 系数(ε ),或减少该介电层1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜电容器,包含:一个第一电极;一个与该第一电极相对立设置的第二电极;及一层夹置于该第一、二电极间的介电膜层结构;其特征在于:该介电膜层结构具有一层经掺杂的介电层,该经掺杂的介电层具有一大于零且小于10↑[10]原子/cm↑[3]的掺杂浓度的掺杂物。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶家福
申请(专利权)人:源泰投资股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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