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薄膜电容器制造技术
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文档序号:3928785
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本发明是有关于一种薄膜电容器,一种薄膜电容器,包含:一个第一电极、一个与该第一电极相对立设置的第二电极,及一层夹置于该第一、二电极间的介电膜层结构。该介电膜层结构具有一层经掺杂的介电层,该经掺杂的介电层具有一大于零且小于1010原子/cm3...
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