本发明专利技术涉及光刻仿真领域，特别是涉及一种快速光刻仿真方法、装置、设备、计算机可读存储介质及存算一体设备，通过获取光刻掩膜图案；将所述光刻掩膜图案拆解为多边形单元数据；将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据；所述存算单元包括根据预获取的光刻机台参数，通过仿真模型得到的运算模式；根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据。本发明专利技术将等待调用的计算过程文件，也即所述运算模式存储于所述存算单元中，所述存算单元可根据预设的运算模式的存储格式开展运算，最终存储的数据即为所述单元图像数据，极大的提升了计算效率。极大的提升了计算效率。极大的提升了计算效率。
【技术实现步骤摘要】
一种快速光刻仿真方法、装置及存算一体设备
[0001]本专利技术涉及光刻仿真领域，特别是涉及一种快速光刻仿真方法、装置、设备、计算机可读存储介质及存算一体设备。
技术介绍
[0002]先进芯片工艺节点中，计算光刻在光罩掩膜设计、光学邻近校准及芯片加工精度评估等领域中具有重要作用和地位，可极大的缩短芯片加工周期、减少制作成本。目前，计算光刻基于光学绕射效应实现依次通过光源、聚焦棱镜、掩膜、投影透镜、光刻胶成像的曝光仿真，以实现光源发射的射线束的追踪和投影成像，严格的计算光刻仿真建模需要实现6重积分的复杂计算，计算量大、计算过程复杂。而目前采用的计算方法均为预先计算部分数据放置到硬盘上，调用时直接从硬盘读取，实现数据的共享和复用、部分提升工程应用能力，但随着先进芯片节点向更小尺寸发展，计算光刻计算复杂度呈指数增长，传统计算效率无法满足开发设计需求，无法满足工程应用需求。
[0003]传统方法预先计算的数据通常为4重积分，生成的过程文件放置在硬盘上，需要时由系统下达指令从硬盘上调度，数据的复用效率低，特别是数据量巨大时，内存与硬件间的较低的通信效率极大的限制了计算光刻的计算效率。
[0004]因此，如何提升光刻仿真计算中的计算效率，就成了本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种快速光刻仿真方法、装置、设备、计算机可读存储介质及存算一体设备，以解决现有技术中光刻仿真的低计算效率的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种快速光刻仿真方法，包括：
[0007]获取光刻掩膜图案；
[0008]将所述光刻掩膜图案拆解为多边形单元数据；
[0009]将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据；所述存算单元包括根据预获取的光刻机台参数，通过仿真模型得到的运算模式；
[0010]根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据。
[0011]可选地，在所述的快速光刻仿真方法中，在得到对应的单元图像数据之前，还包括：
[0012]获取当前光刻机台参数；
[0013]相应地，所述将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据包括：
[0014]将所述多边形单元数据及所述当前光刻机台参数输入预设的存算一体化设备，使所述存算一体化设备根据所述当前光刻机台参数，确定对应的目标存算单元，并根据所述
多边形单元数据，通过所述目标存算单元得到对应的单元图像数据。
[0015]可选地，在所述的快速光刻仿真方法中，在得到对应的单元图像数据之后，还包括：
[0016]对多个所述多边形单元对应的单元图像数据进行相似度查验；
[0017]当存在相似度高于预设的合并阈值的单元图像数据时，将相似度高于预设的合并阈值的单元图像数据归为同一组别；
[0018]根据所述组别中的单元图像数据确定所述组别对应的代表图像数据；
[0019]相应地，所述根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据包括：
[0020]根据所述代表图像数据及未被归入所述组别的单元图像数据，确定光刻图像数据。
[0021]可选地，在所述的快速光刻仿真方法中，所述对多个所述多边形单元对应的单元图像数据进行相似度查验包括：
[0022]对多个所述多边形单元对应的单元图像数据进行均方根误差查验；
[0023]相应地，所述当存在相似度高于预设的合并阈值的单元图像数据时，将相似度高于预设的合并阈值的单元图像数据归为同一组别包括：
[0024]当存在均方根误差小于预设的合并阈值的单元图像数据时，将均方根误差小于预设的合并阈值的单元图像数据归为同一组别。
[0025]可选地，在所述的快速光刻仿真方法中，所述合并阈值为1.00E
‑
6。
[0026]可选地，在所述的快速光刻仿真方法中，所述仿真模型为Hopkins模型或Abbe模型。
[0027]一种快速光刻仿真装置，包括：
[0028]获取模块，用于获取光刻掩膜图案；
[0029]拆解模块，用于将所述光刻掩膜图案拆解为多边形单元数据；
[0030]存算模块，用于将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据；所述存算单元包括根据预获取的光刻机台参数，通过仿真模型得到的运算模式；
[0031]成像模块，用于根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据。
[0032]一种快速光刻仿真设备，包括：
[0033]存储器，用于存储计算机程序；
[0034]处理器，用于执行所述计算机程序时实现如上述任一种所述的快速光刻仿真方法的步骤。
[0035]一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权上述任一种所述的快速光刻仿真方法的步骤。
[0036]一种存算一体化设备，包括通信单元及存算单元；
[0037]所述存算单元包括根据预获取的光刻机台参数，通过仿真模型得到的运算模式；
[0038]所述通信单元，用于将接收到的多边形单元数据分发到所述存算单元，得到对应的单元图像数据。
[0039]本专利技术所提供的快速光刻仿真方法，通过获取光刻掩膜图案；将所述光刻掩膜图案拆解为多边形单元数据；将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述
存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据；所述存算单元包括根据预获取的光刻机台参数，通过仿真模型得到的运算模式；根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据。
[0040]本专利技术采用存算一体化设备，将等待调用的计算过程文件，也即所述运算模式存储于所述存算单元中，因此将所述多边形单元数据依次输入对应的存算单元，所述存算单元即可根据预设的运算模式的存储格式开展运算，最终存储的数据即为所述单元图像数据，这种存算一体化方式不需要传统计算架构上内存与存储设备间的数据交换引起的延迟和功耗，极大的提升了计算效率。本专利技术同时还提供了一种具有上述有益效果的快速光刻仿真装置、设备、计算机可读存储介质及存算一体设备。
附图说明
[0041]为了更清楚的说明本专利技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0042]图1为本专利技术提供的快速光刻仿真方法的一种具体实施方式的流程示意图；
[0043]图2、图3为本专利技术提供的快速光刻仿真方法的一种具体实施方式的工艺流程图；
[0044]图4为本专利技术提供的快速光刻仿真方法的另一种具体实施方式的流程示意图；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种快速光刻仿真方法，其特征在于，包括：获取光刻掩膜图案；将所述光刻掩膜图案拆解为多边形单元数据；将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据；所述存算单元包括根据预获取的光刻机台参数，通过仿真模型得到的运算模式；根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据。2.如权利要求1所述的快速光刻仿真方法，其特征在于，在得到对应的单元图像数据之前，还包括：获取当前光刻机台参数；相应地，所述将所述多边形单元数据输入预设的存算一体化设备，通过所述存算一体化设备包括的多个存算单元，得到对应的单元图像数据包括：将所述多边形单元数据及所述当前光刻机台参数输入预设的存算一体化设备，使所述存算一体化设备根据所述当前光刻机台参数，确定对应的目标存算单元，并根据所述多边形单元数据，通过所述目标存算单元得到对应的单元图像数据。3.如权利要求1所述的快速光刻仿真方法，其特征在于，在得到对应的单元图像数据之后，还包括：对多个所述多边形单元对应的单元图像数据进行相似度查验；当存在相似度高于预设的合并阈值的单元图像数据时，将相似度高于预设的合并阈值的单元图像数据归为同一组别；根据所述组别中的单元图像数据确定所述组别对应的代表图像数据；相应地，所述根据所述单元图像数据，确定光刻图像数据包括：根据所述代表图像数据及未被归入所述组别的单元图像数据，确定光刻图像数据。4.如权利要求3所述的快速光刻仿真方法，其特征在于，所述对多个所述多边形单元对应的单元图像数据进行相似度查验包括：对多个所述多边形单元对应的单元图像数据进行均方根误差查验...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：华芯程杭州科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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