本发明专利技术涉及半导体晶圆存放器具领域，具体是涉及一种晶圆存放装置，包括U形存放框和等距设置在其内部的承托条，每个承托条均能够沿竖直方向往返移动，U形存放框两侧内壁镜像设置有多个矩形安装槽，每个矩形安装穿槽内均设置有用于使晶圆保持竖直状态的稳定机构，每组稳定机构均包括两个能够随着对应承托条的移动相互靠近和远离的夹持板；安装板上设置有条形避让槽，条形避让槽内设置有安装杆，安装杆上等距设置有多个阶段抬高机构，每个阶段抬高机构能够随着对应承托条向上移动使相邻放置有晶圆的承托条向上移动。本申请能够使晶圆保持竖直状态进行存放，并使下一个待拿取的晶圆能够高于后续摆放的晶圆，从而便于工作人员进行连续的拿取。行连续的拿取。行连续的拿取。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆存放装置
[0001]本专利技术涉及半导体晶圆存放器具领域，具体是涉及一种晶圆存放装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]中国专利：CN115910874B公开了一种晶圆存放框，属于半导体硅晶圆生产辅助器具
，晶圆存放框包括：一对相互平行的侧板，且侧板的内壁开设有成对设置的条形槽，两块侧板之间的下方设有支撑板。支撑板的后端转动连接于两块侧板的一端，转动的轴线垂直于侧板，支撑板前端的两侧设有垂直于侧板的连接轴，支撑板两侧的连接轴上均滑动设有卡块，通过卡块抵接于侧板的内壁，以使支撑板固定。
[0004]该申请中，通过多个成对排布的条形槽，对晶圆进行放置，但是由于晶圆的厚度不同，条形槽与晶圆之间会存在间隙，当压杆对晶圆进行限制时，可能无法与每一个晶圆接触，从而导致在搬运过程中，产生晃动；并且由于间隙的存在，当调节支撑板时，支撑板倾斜设置，晶圆会在支撑板上滑动，无法保持竖直状态，可能会使晶圆卡在条形槽内无法取出。
技术实现思路
[0005]针对现技术所存在的问题，提供一种晶圆存放装置，通过稳定机构和阶段抬高机构的配合，使晶圆在U形存放框内保持竖直状态，在对晶圆进行拿取时，使下一个待拿取的晶圆能够高于摆放的晶圆，从而便于工作人员进行连续的拿取。
[0006]为解决现有技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种晶圆存放装置，包括U形存放框、承托条、稳定机构和阶段抬高机构；U形存放框内部设置有安装板；承托条有多个，多个承托条呈水平状态并且沿安装板长度方向等距设置，承托条的长度方向与安装板的长度方向相互垂直，安装板顶部沿长度方向两侧等距设置有多个导向孔；每个承托条底部镜像设置有与导向孔配合的导向杆，导向杆能够滑动的设置在对应的导向孔内，每个导向杆上还套设置有复位弹簧，复位弹簧位于对应承托条与安装板之间，每个导向杆远离对应承托条的一端设置有定位盘，定位盘位于U形存放框形存放框底部内壁与安装板底部之间；U形存放框两侧内壁镜像设置有多个矩形安装槽，稳定机构有多组，稳定机构设置在对应的矩形安装槽内并用于使晶圆保持竖直状态，每组稳定机构均包括两个能够随着对应承托条的移动相互靠近和远离的夹持板；安装板上设置有条形避让槽，条形避让槽内设置有安装杆，阶段抬高机构有多组，多个阶段抬高机构沿安装杆轴线等距设置并且位于对应承托条下方，每个阶段抬高机构能够随着对应承托条向上移动使相邻放置有晶圆的承托条向上移动。
[0007]优选的，每组稳定机构还包括双向丝杆和转动杆；双向丝杆能够转动的设置在矩形安装槽内，双向丝杆的长度方向与条形每个夹持板靠近对应矩形安装槽的一侧中心处设
置有导向条，导向条能够滑动的设置在矩形安装槽内并且与双向丝杆对应一端螺纹连接； 双向丝杆中心处设置有第一同步齿轮，转动杆能够转动的设置在矩形安装槽内并且位于双向丝杆下方；转动杆上设置有两个第二同步齿轮，两个第二同步齿轮均与第一同步齿轮啮合；转动杆两端均设置有复位扭簧，复位扭簧位于对应第二同步齿轮与对应矩形安装槽内壁之间；每个转动杆上还缠绕有第一牵引绳，第一牵引绳位于两个第二同步齿轮之间，每个承托条沿长度方向的两端设置有连接部，第一牵引绳远离转动杆的一端的与对应承托条的连接部连接。
[0008]优选的，每个阶段抬高机构均包括转动套、翻转块和单向轴承；安装杆沿轴线设置有多个限位盘，转动套能够转动的设置在安装杆上并且位于相邻两个限位盘之间；每个转动套外壁镜像设置有两个滑动块，翻转块呈竖直状态设置，翻转块沿长度方向的一侧设置有用于容纳转动套的条形穿槽，条形穿槽两侧内壁设置有滑动槽，滑动块能够滑动的设置在滑动槽内；翻转块底部一侧拐角处设置有矩形缺口，矩形缺口内铰接有抵触条，翻转块顶部远离矩形缺口的一侧设置有用于容纳抵触条的条形缺槽；单向轴承设置在转动套一端并且位于条形穿槽外部，单向轴承外壁设置有卷收轮，卷收轮与相邻限位盘之间设置有伸缩扭簧；每个定位盘底部设置有延伸杆，每个承托条的两个延伸杆之间设置有牵引板，牵引板上设置有第二牵引绳，第二牵引绳远离牵引板的一端缠绕在对应的卷收轮上。
[0009]优选的，每个夹持板上还设置有用于对晶圆进行缓冲的防滑条。
[0010]优选的，每个夹持板上设置有矩形穿槽，每个矩形穿槽内均设置有滑动杆，两个相邻夹持板之间还设置有抵触框，抵触框上镜像设置有两个用于供滑动杆穿过的椭圆形避让槽，每个滑动杆上还套设有抵紧弹簧，抵触弹簧位于对应抵触框与U形存放框内壁之间；每个抵触框内能够转动的设置有多个滚动轮。
[0011]优选的，每个矩形安装槽底部设置有竖直向下延伸的条形导线槽，每个导线槽内能够转动的设置有用于对第一牵引绳进行引导的导线轮。
[0012]优选的，安装板顶部沿条形避让槽长度方向的两侧均设置有用于对承托条位置进行限制的限位条。
[0013]优选的，每个承托条顶部沿长度方向的两侧设置有限位板。
[0014]本申请相比较于现有技术的有益效果是：1.本申请通过承托条、夹持板和抵触框的配合，随着承托条的移动，夹持板和抵触框上的滚轮能够对不同规格的晶圆进行多方位限制，从而确保而确保存放过程中的稳定性。
[0015]2.本申请通过转动套、翻转块和单向轴承的配合，当工作人员将晶圆取出时，相邻转动套能够进行转动，从而使设置在其上方的承托条能够朝向远离安装板的方向移动一段距离，此时，承托条上的晶圆高于摆放整齐的晶圆，从便于工作人员连续的对晶圆进行拿取。
附图说明
[0016]图1是一种晶圆存放装置的立体图一；图2是一种晶圆存放装置使用状态的立体图；图3是一种晶圆存放装置取料状态的立体图；
图4是图3中A处局部放大图；图5是图3中B处局部放大图；图6是一种晶圆存放装置使用状态的侧视图；图7是图6沿C
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C方向的平面剖视图；图8是图7中D处局部放大图；图9是图7中E处局部放大图；图10是一种晶圆存放装置的局部立体图一；图11是图10中F处局部放大图；图12是一种晶圆存放装置的局部立体图二；图13是一种晶圆存放装置的局部立体分解图。
[0017]图中标号为：1
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U形存放框；11
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安装板；111
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导向孔；112
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条形避让槽；113
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安装杆；114
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限位盘；115
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限位条；12
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矩形安装槽；13
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条形导线槽；14
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导线轮；2
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承托条；21
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导向杆；22
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复位弹簧；23
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定位盘；24
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连接部；25
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延伸杆；26
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牵引板；27
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆存放装置，其特征在于，包括U形存放框、承托条、稳定机构和阶段抬高机构；U形存放框内部设置有安装板；承托条有多个，多个承托条呈水平状态并且沿安装板长度方向等距设置，承托条的长度方向与安装板的长度方向相互垂直，安装板顶部沿长度方向两侧等距设置有多个导向孔；每个承托条底部镜像设置有与导向孔配合的导向杆，导向杆能够滑动的设置在对应的导向孔内，每个导向杆上还套设置有复位弹簧，复位弹簧位于对应承托条与安装板之间，每个导向杆远离对应承托条的一端设置有定位盘，定位盘位于U形存放框形存放框底部内壁与安装板底部之间；U形存放框两侧内壁镜像设置有多个矩形安装槽，稳定机构有多组，稳定机构设置在对应的矩形安装槽内并用于使晶圆保持竖直状态，每组稳定机构均包括两个能够随着对应承托条的移动相互靠近和远离的夹持板；安装板上设置有条形避让槽，条形避让槽内设置有安装杆，阶段抬高机构有多组，多个阶段抬高机构沿安装杆轴线等距设置并且位于对应承托条下方，每个阶段抬高机构能够随着对应承托条向上移动使相邻放置有晶圆的承托条向上移动。2.根据权利要求1所述的一种晶圆存放装置，其特征在于，每组稳定机构还包括双向丝杆和转动杆；双向丝杆能够转动的设置在矩形安装槽内，双向丝杆的长度方向与条形每个夹持板靠近对应矩形安装槽的一侧中心处设置有导向条，导向条能够滑动的设置在矩形安装槽内并且与双向丝杆对应一端螺纹连接；双向丝杆中心处设置有第一同步齿轮，转动杆能够转动的设置在矩形安装槽内并且位于双向丝杆下方；转动杆上设置有两个第二同步齿轮，两个第二同步齿轮均与第一同步齿轮啮合；转动杆两端均设置有复位扭簧，复位扭簧位于对应第二同步齿轮与对应矩形安装槽内壁之间；每个转动杆上还缠绕有第一牵引绳，第一牵引绳位于两个第二同步齿轮之间，每个承托条沿长度方向的两端设置有连接部，第一牵引绳远离转动杆的一端的与对应承托条的连接部...
【专利技术属性】
技术研发人员：张孝忠，田文超，
申请(专利权)人：山东汉芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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