一种硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗机，涉及到硅片清洗机技术领域，包括多个水槽壳和多个过滤壳，多个所述水槽壳内壁的一侧均固定连接有传输管，多个所述传输管的一端均固定连接有水泵，多个所述水泵的输出端均固定连接有出水管，多个所述出水管的管壁均固定连接有孔块，多个所述过滤壳的一面均开设有固定口，多个所述固定口的内壁均与孔块的表面固定连接。本实用新型专利技术设备具有高效的过滤结构，当经过多次使用清理液进行对清理硅片表面进行清洗，变得浑浊时，可以使用过滤装置，将清理液进行有效过滤，使得清理液效率提高，避免了需要大量更换化学清理液的弊端，减少了购买资金，并且还降低了设备的加工成本，避免了浪费。避免了浪费。避免了浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗机


[0001]本技术涉及硅片清洗机
，特别涉及一种硅片清洗机。

技术介绍

[0002]硅片清洗机目前的清洗方法主要是机械清洗、化学清洗和超声清洗，这些方法都存在着缺陷。激光清洗，因其操作简单、免维护、无耗材、不受空间限制、无环境污染，有电就能工作的特点，特别是传统清洗不能清洗的边角死角，清洗起来也很容易，激光清洗是一种不伤基材的清洗，有利于提高产品品质。
[0003]硅片清洗机是无需耗材需要通过化学试剂及添加液，被清洗下来的残渣都是固态状粉末，可以进行回收，不会产生污染，可以精确清洗，在整个表面处理中是无接触、无研磨的物理过程，完全保护了材料性能，不会使表面强化或变性，而且质量效果明显，与自动化机械配合，可无人工操作，能清洗不易达到的部位，从而避免了人员在危险场所的人身保障，清除各种工件零件的附着物、氧化物、涂层，使之达到更高的清洁度，不损伤基材表面做到无损伤清洗，效率高、省时省力、操作简单、通电即可，可手持或配合机械手实现自动化清洗，特别是在焊缝和粘合处的处理，能做到不超过几平方毫米上进行清洗处理，可以同生产制造同步进行表面清除，适合大批量生产加工。
[0004]以往的硅片清洗机通过化学试剂及添加液对硅片表面的进行清洗，硅片在硅片清洗机内进行加工清理的时候，多次使用清理液进行清理硅片表面的残渣，残渣会堆积在化学清理液内，造成清理液的浑浊，使得清理效率降低，就需要通过更换化学清理液，更换大量的化学清液，就会增加了购买资金，并且还会增大了设备的加工的成本，造成了浪费。
技术内容
[0005]本技术的目的在于提供一种硅片清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的以往的硅片清洗机通过化学试剂及添加液对硅片表面的进行清洗，硅片在硅片清洗机内进行加工清理的时候，多次使用清理液进行清理硅片表面的残渣，残渣会堆积在化学清理液内，造成清理液的浑浊，使得清理效率降低，就需要通过更换化学清理液，更换大量的化学清液，就会增加了购买资金，并且还会增大了设备的加工的成本，造成了浪费的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗机，包括多个水槽壳和多个过滤壳，多个所述水槽壳内壁的一侧均固定连接有传输管，多个所述传输管的一端均固定连接有水泵，多个所述水泵的输出端均固定连接有出水管，多个所述出水管的管壁均固定连接有孔块，多个所述过滤壳的一面均开设有固定口，多个所述固定口的内壁均与孔块的表面固定连接，多个所述过滤壳内壁的一侧均转动连接有转杆，多个所述转杆的杆壁均固定连接有过滤网筒，多个所述转杆的内壁均开设有空腔，多个所述空腔内壁的一侧均开设有进水口，多个所述空腔的内壁均开设有多个出水口，多个所述过滤壳的内壁均固定连接有水管，多个所述水管的一端均贯穿水槽壳的一面延伸至水槽壳的内壁，多个所述转杆的一端均固定连接有电机。
[0007]优选的，多个所述过滤壳的一面均固定连接有支撑板，多个所述支撑板的一面与电机的表面相接触，多个所述水槽壳的表面共同固定连接有机体。
[0008]优选的，所述机体的一面设置有门板，所述机体的一面固定连接有连接板。
[0009]优选的，所述机体的一面固定连接有顶壳，所述顶壳的一面设置有多个显示灯，具有良好的提示作用，保证设备在加工的过程中的加工程度。
[0010]优选的，所述顶壳的一面固定连接有显示屏，所述机体的一面固定连接有长板，具有良好的提示作用，使得操作人员更加直观地了解加工数据。
[0011]优选的，所述机体的一面固定连接有横板，所述顶壳的一面固定连接有指示针。
[0012]优选的，所述机体一面的四周处均固定连接有桌腿。
[0013]本技术的技术效果和优点：
[0014]1、通过设置水泵、传输管、水槽壳、水管、电机、过滤壳、转杆、空腔、出水管、孔块、过滤网筒、出水口、固定口、进水口，具有高效的过滤结构，当经过多次使用清理液进行对清理硅片表面进行清洗，变得浑浊时，可以使用过滤装置，将清理液进行有效过滤，使得清理液效率提高，避免了需要大量更换化学清理液的弊端，减少了购买资金，并且还降低了设备的加工成本，避免了浪费。
[0015]2、通过设置水泵、传输管、水槽壳、水管、电机、过滤壳、转杆、空腔、出水管、孔块、过滤网筒、出水口、固定口、进水口，通过水泵的传输将浑浊的清理液传输到过滤网筒内，再通过电机带转杆与过滤网筒转动将清理液内的杂质去除，循环的使用，提高了设备的实用性。
[0016]3、通过设置水泵、传输管、水槽壳、水管、电机、过滤壳、转杆、空腔、出水管、孔块、过滤网筒、出水口、固定口、进水口，经过过滤，能多次使用，降低的购买的资金，使得设备的整体性能增加，同时增加了设备的使用效果。
附图说明
[0017]图1为本技术的局部剖面结构示意图。
[0018]图2为本技术的图1的A部放大结构示意图。
[0019]图3为本技术的图1的B部放大结构示意图。
[0020]图4为本技术的过滤网筒立体结构示意图。
[0021]图5为本技术的整体立体结构示意图。
[0022]图中：1、水泵；2、传输管；3、水槽壳；4、水管；5、电机；6、过滤壳；7、转杆；8、空腔；9、出水管；10、孔块；11、过滤网筒；12、出水口；13、固定口；14、进水口；15、支撑板；16、桌腿；17、顶壳；18、显示灯；19、指示针；20、连接板；21、显示屏；22、门板；23、长板；24、横板；25、机体。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]本技术提供了如图1
‑
5所示的一种硅片清洗机，包括多个水槽壳3和多个过滤壳6，多个水槽壳3内壁的一侧均固定连接有传输管2，多个传输管2的一端均固定连接有水泵1，水泵1输出流量均匀，运转平稳，噪声小，工作压力较高，容积效率也较高，多个水泵1的输出端均固定连接有出水管9，多个出水管9的管壁均固定连接有孔块10，多个过滤壳6的一面均开设有固定口13，多个固定口13的内壁均与孔块10的表面固定连接，多个过滤壳6内壁的一侧均转动连接有转杆7，多个转杆7的杆壁均固定连接有过滤网筒11，滤网筒11的材质是不锈钢编织网，不锈钢具有优异的耐蚀性、成型性、相容性以及强韧性，多个转杆7的内壁均开设有空腔8，多个空腔8内壁的一侧均开设有进水口14，多个空腔8的内壁均开设有多个出水口12，多个过滤壳6的内壁均固定连接有水管4，多个水管4的一端均贯穿水槽壳3的一面延伸至水槽壳3的内壁，多个转杆7的一端均固定连接有电机5，电机5具有结构简单，制造、使用和维护方便，运行可靠以及质量较小，成本较低等优点，通过水泵的传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机，包括多个水槽壳(3)和多个过滤壳(6)，其特征在于：多个所述水槽壳(3)内壁的一侧均固定连接有传输管(2)，多个所述传输管(2)的一端均固定连接有水泵(1)，多个所述水泵(1)的输出端均固定连接有出水管(9)，多个所述出水管(9)的管壁均固定连接有孔块(10)，多个所述过滤壳(6)的一面均开设有固定口(13)，多个所述固定口(13)的内壁均与孔块(10)的表面固定连接，多个所述过滤壳(6)内壁的一侧均转动连接有转杆(7)，多个所述转杆(7)的杆壁均固定连接有过滤网筒(11)，多个所述转杆(7)的内壁均开设有空腔(8)，多个所述空腔(8)内壁的一侧均开设有进水口(14)，多个所述空腔(8)的内壁均开设有多个出水口(12)，多个所述过滤壳(6)的内壁均固定连接有水管(4)，多个所述水管(4)的一端均贯穿水槽壳(3)的一面延伸至水槽壳(3)的内壁，多个所述转杆(7)的一端均固定连接有电机(5)。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱弘，
申请(专利权)人：上海切普电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：