一种湿法清洗机的清洗质量检测机构制造技术

技术编号:34827857 阅读:29 留言:0更新日期:2022-09-08 07:19
本实用新型专利技术涉及清洗后半导体检测技术领域,且公开了一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,所述拉伸机构包括内螺纹舱、伸缩连接端、外螺纹杆、电动机、电机舱,所述内螺纹舱一端的端头固定连接有伸缩连接端,所述伸缩连接端的一端固定连接有电机舱,所述电机舱的内壁固定连接有电动机,所述电动机的一端固定连接有外螺纹杆,所述内螺纹舱的内壁设有螺纹槽,且内螺纹舱的螺纹槽与外螺纹杆的外壁相啮合,本实用新型专利技术通过设有电机舱,有利于电动机的固定,通过设有电动机,有利于动力的提供,通过设有伸缩连接端,有利于拉伸时整体的一个稳定性,通过设有外螺纹杆、内螺纹舱,有利于通过电动机转动带动内螺纹舱进行移动,进而带动固定装置进行移动。进行移动。进行移动。

【技术实现步骤摘要】
一种湿法清洗机的清洗质量检测机构


[0001]本技术涉及清洗后半导体检测
,具体为一种湿法清洗机的清洗质量检测机构。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,半导体生产中,最重要的一个步骤为半导体的清洗,传统采用的清洗法的类型为槽式湿法清洗、超声波清洗、旋转喷淋清洗这三种,清洗半导体的主要目的时为了避免硅片表面的污染物影响到器件的性能、可靠性和成品率。
[0003]但是在半导体的生产技术中,对于半导体的生产来说,清洗是不可缺失的一道程序,但是清洗设备在特殊的情况下,可能会发生清洗不彻底的情况出现,造成产品的质量达不到一定的标准,但是目前市场上常用的检测方法为人工进行抽样检测,极易造成检测的不彻底,导致产品质量受到一定的影响。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,具备自动检测清洁度的优点,解决了清洗后的半导体难以检测的问题。
[0005]本技术提供如下技术方案:一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,包括拉伸机构、检测机构、固定原料机构、传送机构、固定机构,还具备:
[0006]拉伸机构其配置在与所述固定机构顶端一侧的位置,其所述拉伸机构与固定机构之间为固定连接;
[0007]检测机构其配置在与所述拉伸机构一侧端头的位置,其所述检测机构与拉伸机构之间为固定连接;
[0008]固定原料机构其配置在与所述检测机构内部的位置,其所述固定原料机构与检测机构之间为活动连接;
[0009]传送机构其配置在于与所述固定机构顶端另一侧的位置,其所述传送机构与固定机构之间为固定连接。
[0010]优选的,所述拉伸机构包括内螺纹舱、伸缩连接端、外螺纹杆、电动机、电机舱,所述内螺纹舱一端的端头固定连接有伸缩连接端,所述伸缩连接端的一端固定连接有电机舱,所述电机舱的内壁固定连接有电动机,所述电动机的一端固定连接有外螺纹杆,所述内螺纹舱的内壁设有螺纹槽,且内螺纹舱的螺纹槽与外螺纹杆的外壁相啮合。
[0011]优选的,所述检测机构包括检测舱、固定板、紫光灯、感应板、伸缩柱、湿度检测仪、弹簧、伸缩开关,所述检测舱两侧内壁的顶端固定连接有固定板,且固定板与检测舱通过螺
栓固定连接,所述固定板的一端固定连接有紫光灯,所述检测舱内壁的底端活动连接有感应板,所述感应板一端为斜角状态,所述感应板的底端固定连接有伸缩柱,所述伸缩柱的内壁固定连接有弹簧,所述伸缩柱内壁的底端固定连接有伸缩开关,所述检测舱的顶端设有窗口,所述检测舱顶端窗口的材料为墨色,通过设有墨色的窗口,有利于工作人员观察紫光灯下半导体的状态。
[0012]优选的,所述固定原料机构包括固定舱、固定抓手板、巨型拉伸柱、摩擦球体、微型拉伸柱、,所述固定舱内壁的中部固定连接有隔板,所述固定舱内壁的一侧固定连接有巨型拉伸柱,所述巨型拉伸柱的一端固定连接有固定抓手板,所述固定抓手板中部的内壁设有开口,所述固定抓手板一侧的外壁固定连接有微型拉伸柱,所述固定抓手板一侧的内壁固定连接有摩擦球体。
[0013]优选的,所述传送机构包括送风机、微型支撑柱、多孔管、传送端口、烘干舱、送气管,所述烘干舱的顶端固定连接有微型支撑柱,所述微型支撑柱的顶端固定连接有送风机,所述送风机底端的中部贯穿固定连接有送气管,所述送气管的一端固定连接有多孔管,所述多孔管的底端设有多个出气口,且送气管的内部为空腔状态,所述多孔管的底端固定连接有传送端口。
[0014]优选的,所述固定机构包括固定底座、支撑板、抗压板、巨型支撑柱,所述固定底座顶端的一侧固定连接有支撑板,所述支撑板顶端的一侧固定连接有抗压板,且抗压板与支撑板之前为固定焊接,所述固定底座顶端的另一侧固定连接有巨型支撑柱。
[0015]优选的,所述检测舱顶端的一侧固定连接有粉尘检测器,所述检测舱前端的一侧固定连接有湿度检测仪。
[0016]优选的,所述感应板底端的四角固定连接有伸缩柱,所述伸缩柱的内壁固定连接有永磁铁,所述感应板底端的中部固定连接有伸缩开关。
[0017]与现有技术对比,本技术具备以下有益效果:
[0018]该湿法清洗机的清洗质量检测机构通过设有电机舱,有利于电动机的固定,通过设有电动机,有利于动力的提供,通过设有伸缩连接端,有利于拉伸时整体的一个稳定性,通过设有外螺纹杆、内螺纹舱,有利于通过电动机转动带动内螺纹舱进行移动,进而带动固定装置进行移动。
[0019]该湿法清洗机的清洗质量检测机构通过设有检测舱,有利于清洗后半导体进行检测,通过设有固定板,有利于紫光灯的固定,通过设有紫光灯,有利于半导体表面灰尘的检测,通过设有感应板,有利于感应固定原料机构是否进入到检测舱内部,通过设有伸缩柱、伸缩开关、弹簧,有利于感应固定原料机构是否进入。
[0020]该湿法清洗机的清洗质量检测机构通过设有固定舱,有利于整个机构的固定,通过设有巨型拉伸柱,有利于固定抓手板的一个支撑,通过设有固定抓手板、摩擦球体,有利于物体的固定,通过设有微型拉伸柱,有利于固定抓手板进行拉伸。
附图说明
[0021]图1为本技术的整体结构示意图。
[0022]图2为本技术的拉伸机构整体结构爆炸示意图。
[0023]图3为本技术的整体结构左侧示意图。
[0024]图4为本技术的检测舱整体结构剖面示意图。
[0025]图5为本技术的实施例二结构示意图。
[0026]图6为本技术的固定检测机原料机构整体结构示意图。
[0027]图7为本技术的实例三结构示意图。
[0028]图中:1、拉伸机构;101、内螺纹舱;102、伸缩连接端;103、外螺纹杆;104、电动机;105、电机舱;2、检测机构;201、检测舱;202、固定板; 203、紫光灯;204、感应板;205、伸缩柱;206、湿度检测仪;207、粉尘检测器;208、弹簧;209、伸缩开关;210、永磁铁;3、固定原料机构;301、固定舱;302、固定抓手板;303、巨型拉伸柱;304、摩擦球体;305、微型拉伸柱;4、传送机构;401、送风机;402、微型支撑柱;403、多孔管;404、传送端口;405、烘干舱;406、送气管;5、固定机构;501、固定底座;502、支撑板;503、抗压板;504、巨型支撑柱。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,包括拉伸机构(1)、检测机构(2)、固定原料机构(3)、传送机构(4)、固定机构(5),其特征在于,还具备:拉伸机构(1)其配置在与所述固定机构(5)顶端一侧的位置,其所述拉伸机构(1)与固定机构(5)之间为固定连接;检测机构(2)其配置在与所述拉伸机构(1)一侧端头的位置,其所述检测机构(2)与拉伸机构(1)之间为固定连接;固定原料机构(3)其配置在与所述检测机构(2)内部的位置,其所述固定原料机构(3)与检测机构(2)之间为活动连接;传送机构(4)其配置在于与所述固定机构(5)顶端另一侧的位置,其所述传送机构(4)与固定机构(5)之间为固定连接。2.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,其特征在于:所述拉伸机构(1)包括内螺纹舱(101)、伸缩连接端(102)、外螺纹杆(103)、电动机(104)、电机舱(105),所述内螺纹舱(101)一端的端头固定连接有伸缩连接端(102),所述伸缩连接端(102)的一端固定连接有电机舱(105),所述电机舱(105)的内壁固定连接有电动机(104),所述电动机(104)的一端固定连接有外螺纹杆(103)。3.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,其特征在于:所述检测机构(2)包括检测舱(201)、固定板(202)、紫光灯(203)、感应板(204)、伸缩柱(205)、湿度检测仪(206)、弹簧(208)、伸缩开关(209),所述检测舱(201)两侧内壁的顶端固定连接有固定板(202),且固定板(202)与检测舱(201)通过螺栓固定连接,所述固定板(202)的一端固定连接有紫光灯(203),所述检测舱(201)内壁的底端活动连接有感应板(204),所述感应板(204)一端为斜角状态,所述感应板(204)的底端固定连接有伸缩柱(205),所述伸缩柱(205)的内壁固定连接有弹簧(208),所述伸缩柱(205)内壁的底端固定连接有伸缩开关(209)。4.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构,其特征在于:所述固定原料机构(3)包括固定舱...

【专利技术属性】
技术研发人员:邵玉成
申请(专利权)人:上海切普电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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