【技术实现步骤摘要】
一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法
[0001]本专利技术涉及晶圆收纳领域,具体涉及一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法。
技术介绍
[0002]在晶圆生产到输送的过程中,会用到收纳盒来暂存晶圆,现有技术中,搬运晶圆的机械手通常会设计成简单的直线往复运动,以减少晶圆在整体运动过程中的受力,但是在收纳端,为了确保晶圆正确叠放,就需要设计额外的升降机构来对晶圆依次空出放置工位。同时,现有技术中,晶圆通常都是水平摆正的,这样虽然方便存放,但是在取出晶圆时,操作者很容易触碰到上下层摆放的晶圆,造成晶圆碎片,因此设计一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法是必要的。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是提供一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法,以解决上述问题。
[0004]为了实现上述目的,本专利技术提供了一种晶圆收纳盒,包括:盒本体,所述盒本体内设置有若干镜像设置的收纳部,所述收纳部沿竖直方向依次层叠设置,所述收纳部与所述盒本体滑动连接,所述收纳部上适于放置工件;两限位件,所述限位件镜像设置在所述盒本体两侧,所述限位件贯穿所述盒本体设置,且所述限位件与所述盒本体弹性连接;两推压件,所述推压件设置在所述盒本体底部,且两所述推压件分别与所述盒本体两侧最底部的所述收纳部连接;以及所述限位件底部与所述收纳部抵接,所述收纳部上滑动设置有浮动限位块;其中工件插入所述限位件下方第一个所述收纳部对应的浮动限位块时,工件顶推浮动限位块向所述盒本体内部滑动,所述浮动限 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆收纳盒,其特征在于,包括:盒本体(1),所述盒本体(1)内设置有若干镜像设置的收纳部(2),所述收纳部(2)沿竖直方向依次层叠设置,所述收纳部(2)与所述盒本体(1)滑动连接,所述收纳部(2)上适于放置工件;两限位件(3),所述限位件(3)镜像设置在所述盒本体(1)两侧,所述限位件(3)贯穿所述盒本体(1)设置,且所述限位件(3)与所述盒本体(1)弹性连接;两推压件,所述推压件设置在所述盒本体(1)底部,且两所述推压件分别与所述盒本体(1)两侧最底部的所述收纳部(2)连接;以及所述限位件(3)底部与所述收纳部(2)抵接,所述收纳部(2)上滑动设置有浮动限位块(21);其中工件插入所述限位件(3)下方第一个所述收纳部(2)对应的浮动限位块(21)时,工件顶推浮动限位块(21)向所述盒本体(1)内部滑动,所述浮动限位块(21)滑动至与所述限位件(3)抵接,并顶推所述限位件(3)向盒本体(1)外侧滑动,直至限位件(3)与收纳部(2)脱离,推压件顶推各收纳部(2)上升,以使收纳部(2)向上滑动至限位件(3)上方;工件继续顶推所述浮动限位块(21),工件驱动所述浮动限位块(21)上升,以使工件在盒本体(1)内倾斜放置;所述收纳部(2)包括收纳滑板(22),所述收纳滑板(22)的长度方向朝向所述盒本体(1)内部,所述浮动限位块(21)沿长度方向开设有滑动槽(222),所述浮动限位块(21)滑动设置在所述滑动槽(222)内;以及所述收纳滑板(22)上还开设有通槽(223),所述通槽(223)设置在所述滑动槽(222)内侧,所述通槽(223)沿竖直方向贯穿所述收纳滑板(22)设置,且所述通槽(223)与所述滑动槽(222)连通,所述盒本体(1)位于通槽(223)一侧具有复位斜面(11);所述限位件(3)的内侧端朝向所述浮动限位块(21)的一端开设有引导斜面(31);其中工件顶推所述浮动限位块(21)滑动至与引导斜面(31)抵接时,所述浮动限位块(21)顶推所述限位件(3),以使所述限位件(3)向外滑动,直至与所述浮动限位块(21)脱离,对应所述推压件顶推各所述收纳滑板(22)上升;所述限位件(3)上安装有限位环(32)和限位弹簧(33),所述限位环(32)与所述限位件(3)的外侧端连接,所述限位弹簧(33)一端与所述限位环(32)连接,另一端与所述盒本体(1)的外壁连接;所述收纳滑板(22)朝向所述限位件(3)的一侧开设有补偿槽(221),所述补偿槽(221)与所述限位件(3)相对应;其中所述浮动限位块(21)顶推所述限位件(3)缩入补偿槽(221)内时,所述推压件顶推各所述收纳滑板(22)上升;所述浮动限位块(21)包括滑动块(211)和升降块(212),所述滑动块(211)与所述升降块(212)滑动连接;所述升降块(212)远离所述滑动块(211)的一侧开设有收纳槽(2121);其中工件插入所述收纳槽(2121)内时,工件通过所述收纳槽(2121)顶推滑动块(211)沿滑动槽(222)滑动。2.如权利要求1所述的晶圆收纳盒,其特征在于,
所述滑动块(211)朝向所述升降块(212)的一侧开设有卡接槽(2111),所述升降块(212)朝向所述滑动块(211)的一些开设有定位槽(2122);所述卡接槽(2111)内设置有定位块(2112)和定位弹簧(2113),所述定位弹簧(2113)一端与所述定位块(2112)连接,另一端与所述卡接槽(2111)底壁连接;其中所述推压件顶推所述收纳滑板(22)上升时,工件与所述收纳槽(2121)之间的水平夹角增大,以使工件与收纳槽(2121)顶壁抵接,并顶推所述升降块(212)上升,所述定位槽(2122)与所述卡接槽(2111)相对时,所述定位弹簧(2113)驱动所述定位块(2112)插入所述定位槽(2122)内。3.如权利要求2所述的晶圆收纳盒,其特征在于,所述滑动块(211)沿竖直方向开设有贯通的升降槽(2114),所述升降槽(2114...
【专利技术属性】
技术研发人员:李勇,陶涛,
申请(专利权)人:常州银河世纪微电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。