多针形垂直式探针卡制造技术

本发明专利技术公开一种多针形垂直式探针卡，其包含彼此呈间隔地设置的一第一导板单元与一第二导板单元及穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元的多个栅栏状探针。每个所述栅栏状探针的针长度介于5毫米～8毫米之间，并包含一栅栏段及分别相连于所述栅栏段两端的一连接段与一测试段。所述栅栏段形成有一贯穿槽，其长度大于所述针长度的65％。所述栅栏段具有分别位于所述贯穿槽相反两侧的两个支臂，其相隔介于10微米～120微米的一调配距离。多个所述栅栏状探针包含具有相同接触针压但用来进行不同电性传输要求的一第一探针与一第二探针。据此，多个所述栅栏状探针可以在所述调配距离的范围内调整所述贯穿槽的外形，进而符合不同电性传输要求。不同电性传输要求。不同电性传输要求。

【技术实现步骤摘要】
多针形垂直式探针卡


[0001]本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种多针形垂直式探针卡。

技术介绍

[0002]现有垂直式探针卡所包含的多个导电探针大都形成相同的构造，以使多个所述导电探针能够具有相同的特性。据此，当待测物具有不同电性测试要求时，则需采用不同的现有垂直式探针卡来进行检测，此显然拖长所述待测物的检测时程。
[0003]于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例的目的在于提供一种多针形垂直式探针卡，能有效地改善现有垂直式探针卡所可能产生的缺陷。
[0005]本专利技术实施例公开一种多针形垂直式探针卡，其包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其彼此呈间隔地设置；以及多个栅栏状探针，穿设于第一导板单元与第二导板单元；其中，每个栅栏状探针的针长度介于5毫米(mm)～8毫米之间、并包含：一栅栏段，呈长形且定义有一长度方向，栅栏段形成有沿着长度方向的一贯穿槽，并且贯穿槽的长度大于针长度的65％；其中，栅栏段具有分别位于贯穿槽相反两侧的两个支臂，并且两个支臂相隔有一调配距离，其介于10微米(μm)～120微米；及一连接段与一测试段，分别相连于栅栏段的两个末端部、且分别穿设于第一导板单元与第二导板单元；其中，多个栅栏状探针包含具有相同接触针压(contact force)但用来进行不同电性传输要求的一第一探针与一第二探针，第一探针的栅栏段的最小截面积总和等同于第二探针的栅栏段的最小截面积总和，并且第一探针的贯穿槽的外形不同于第二探针的贯穿槽的外形。
[0006]优选地，当第一导板单元与第二导板单元彼此错位设置时，多个栅栏状探针的栅栏段朝同方向弹性地弯曲。
[0007]优选地，第一探针的调配距离小于第二探针的调配距离。
[0008]优选地，于第一探针之中，栅栏段形成有一第一凸块，并且第一凸块自贯穿槽的其中一个长壁面延伸一第一预设宽度而形成、并与贯穿槽的另一个长壁面相隔有一第一间隙。
[0009]优选地，于第一探针之中，针长度进一步限定为6毫米～8毫米，栅栏段进一步包含有一第二凸块，其自两个长壁面的其中之一延伸一第二预设宽度而形成、并与两个长壁面的其中另一相隔有一第二间隙。
[0010]优选地，当第一导板单元与第二导板单元彼此错位设置时，第一探针的两个长壁面的其中之一位于其中另一的外侧、并延伸形成有第一凸块与第二凸块。
[0011]优选地，第一凸块与第二凸块于长度方向上彼此间隔地设置且相隔有一第一距离，第一凸块与第二凸块分别等间距地邻近于贯穿槽的两个短壁面，并且第一凸块与第二
凸块各与相对应的短壁面相隔有不大于第一距离的一第二距离。
[0012]优选地，第二探针的栅栏段具有位于贯穿槽内的至少一个内臂体，并且至少一个内臂体的两端分别连接于贯穿槽的两个短壁面；其中，第一探针的两个支臂的最小截面积总和等同于第二探针的两个支臂与至少一个内臂体的最小截面积总和。
[0013]优选地，多个栅栏状探针的针长度皆相同；而于第一探针之中，两个支臂彼此平行，并且每个支臂具有彼此反向配置的两个弯曲部。
[0014]优选地，每个栅栏状探针包含有直接成形于栅栏段外表面的一陶瓷层，陶瓷层覆盖于贯穿槽的两个长壁面、并未配置于第一导板单元与第二导板单元之内；其中，每个栅栏状探针的陶瓷层于百格刀测试(cross
‑
cut method)之中具有至少3B的ASTM等级。
[0015]综上所述，本专利技术实施例所公开的多针形垂直式探针卡，其通过多个所述栅栏状探针具有特定的结构设计(如：所述针长度介于5毫米～8毫米之间，所述贯穿槽的所述长度大于所述针长度的65％，所述第一探针的所述栅栏段的最小截面积总和等同于所述第二探针的所述栅栏段的最小截面积总和)，以使得其可以在所述调配距离的范围内调整所述贯穿槽的外形，进而符合不同电性传输要求，据以有效地缩短检测时程。
[0016]为能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0017]图1为本专利技术实施例一的垂直式探针卡的平面示意图。
[0018]图2为图1的垂直式探针卡处于错位状态下的平面示意图。
[0019]图3为图1沿剖线III
‑
III的剖视示意图。
[0020]图4为本专利技术实施例一的栅栏状探针另一方式的平面示意图。
[0021]图5为图4的横剖面示意图。
[0022]图6为本专利技术实施例一的栅栏状探针又一方式的平面示意图。
[0023]图7为本专利技术实施例二的垂直式探针卡的平面示意图。
[0024]图8为图7沿剖线VIII
‑
VIII的剖视示意图。
[0025]图9为本专利技术实施例二的栅栏状探针另一方式的横剖面示意图。
[0026]图10为本专利技术实施例三的垂直式探针卡的平面示意图。
[0027]图11为图10的垂直式探针卡处于错位状态下的平面示意图。
[0028]图12为图10沿剖线XII
‑
XII的剖视示意图。
[0029]图13为本专利技术实施例三的栅栏状探针另一方式的横剖面示意图。
[0030]图14为本专利技术实施例三的栅栏状探针又一方式的平面示意图。
[0031]图15为本专利技术实施例四的垂直式探针卡的平面示意图。
[0032]图16为图15的垂直式探针卡处于错位状态下的平面示意图。
具体实施方式
[0033]以下是通过特定的具体实施例来说明本专利技术所公开有关“多针形垂直式探针卡”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本专利技术的优点与效果。本专利技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观
点与应用，在不悖离本专利技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本专利技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本专利技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本专利技术的保护范围。
[0034]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0035][实施例一][0036]请参阅图1至图6所示，其为本专利技术的实施例一。本实施例公开一种垂直式探针卡，包含有一探针头100以及抵接于所述探针头100一侧(如：图1的探针头100顶侧)的一信号转接板200，并且所述探针头100的另一侧(如：图1的探针头100底侧)用来顶抵测试一待测物(device under te本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多针形垂直式探针卡，其特征在于，所述多针形垂直式探针卡包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其彼此呈间隔地设置；以及多个栅栏状探针，穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元；其中，每个所述栅栏状探针的针长度介于5毫米～8毫米之间、并包含：一栅栏段，呈长形且定义有一长度方向，所述栅栏段形成有沿着所述长度方向的一贯穿槽，并且所述贯穿槽的长度大于所述针长度的65％；其中，所述栅栏段具有分别位于所述贯穿槽相反两侧的两个支臂，并且两个所述支臂相隔有一调配距离，其介于10微米～120微米；及一连接段与一测试段，分别相连于所述栅栏段的两个末端部、且分别穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元；其中，多个所述栅栏状探针包含具有相同接触针压但用来进行不同电性传输要求的一第一探针与一第二探针，所述第一探针的所述栅栏段的最小截面积总和等同于所述第二探针的所述栅栏段的最小截面积总和，并且所述第一探针的所述贯穿槽的外形不同于所述第二探针的所述贯穿槽的外形。2.依据权利要求1所述的多针形垂直式探针卡，其特征在于，当所述第一导板单元与所述第二导板单元彼此错位设置时，多个所述栅栏状探针的所述栅栏段朝同方向弹性地弯曲。3.依据权利要求1所述的多针形垂直式探针卡，其特征在于，所述第一探针的所述调配距离小于所述第二探针的所述调配距离。4.依据权利要求3所述的多针形垂直式探针卡，其特征在于，于所述第一探针之中，所述栅栏段形成有一第一凸块，并且所述第一凸块自所述贯穿槽的其中一个长壁面延伸一第一预设宽度而形成、并与所述贯穿槽的另一个长壁面相隔有一第一间隙。5.依据权利要求4所述的多针形垂直式探针卡，其特征在于，于所述第一探针之中，所述针长度进一步限定为6...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏伟志，曾照晖，郑皓严，陈美惠，
申请(专利权)人：台湾中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：