一种传输损耗低的宽带射频探针制造技术

本实用新型专利技术涉及一种传输损耗低的宽带射频探针，包括外壳、装于外壳中的探针，所述探针有多块呈片状，所述探针包括探针尖部、探针体部和探针尾部，所述探针尖部外露用于探测，所述探针体部及所述探针尾部装于所述外壳中，至少一块所述探针体部及所述探针尾部分别开设有用于调节阻抗匹配的开槽，所述开槽具有预定尺寸，所述外壳内还设有垫片，所述垫片设于所述探针上用于固定所述探针。探针上开设有预定槽用于调节阻抗匹配，垫片不仅用于固定探针，还能够与探针配合降低电磁信号传输损耗，本实用新型专利技术具备良好的传输功能和探测功能，并且有效降低了传输过程中的损耗，结构简单，有效降低投资成本。低投资成本。低投资成本。

【技术实现步骤摘要】
一种传输损耗低的宽带射频探针


[0001]本技术涉及电磁波传输和电子检测
，具体涉及一种传输损耗低的宽带射频探针。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，半导体技术的日新月异，半导体行业在国家综合实力竞争以及居民日常生活中长久并且将持续占据重要地位，其中数码产品处理器芯片、射频器件芯片，是较为重要的产品。在芯片的生产制造环节中，通过射频探针进行晶圆在片测试、射频器件芯片测试，提取晶圆、射频器件的射频特性参数，来检测芯片质量，调试性能，是一个缩短研发生产周期，快速分析定位问题的重要环节。
[0003]完成晶圆级测试的射频探针的工作带宽，需要具有高精度，低损耗，高重复性。当前300Mhz~300Ghz频率范围内的射频探针，主要由德国GGB工业公司和美国Cascade公司为全球提供设计和生产。然而，由于缺少选择，其高昂的价格增加了企业生产成本；其产品在50~67Ghz范围，损耗并没有降低到极致。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，有必要提供一种传输损耗低的宽带射频探针，通过多枝节和特定位置开槽的结构，能有效降低传输损耗、节省成本。
[0005]一种传输损耗低的宽带射频探针，包括外壳、装于外壳中的探针，所述探针有多块呈片状，所述探针包括探针尖部、探针体部和探针尾部，所述探针尖部外露用于探测，所述探针体部及所述探针尾部装于所述外壳中，至少一片所述探针体部和/或所述探针尾部分别开设有用于调节阻抗匹配的开槽，所述开槽具有预定尺寸，所述外壳内还设有固定件，所述固定件设于所述探针上用于固定所述探针。
[0006]进一步地，所述外壳具有定型槽，所述槽内具有多枝节同轴体，所述多支节同轴体具有前端和后端，所述多支节同轴体前端设有输入端口，所述多支节同轴体后端与所述探针尾部固定连接，电磁信号从所述输入端口进入，经过所述多支节同轴体传递给所述探针，所述输入端口直径为1.85mm。
[0007]进一步地，多块所述探针包含并排设置的三个探针片，中间为S信号线探针片，在S信号线探针片的两侧为G信号线探针片，所述G信号线探针片通过所述外壳接地，所述S信号线探针片与所述多枝节同轴体相连接用于传导电磁信号，所述S信号线探针片与两侧所述G信号线探针片之间间隔有预定距离。
[0008]进一步地，每个所述G信号线探针片的所述探针尖部与所述S信号线探针片的所述探针尖部的上下两面分别在同一个水平面，所述G信号线探针片的所述探针尖部端面的中心与所述S信号线探针片的所述探针尖部端面的中心距离W14为0.15mm。
[0009]进一步地，每个所述G信号线探针片从前端面到后端面依次分别具有G信号前斜部、G信号中斜部、G信号平直部和G信号后端切槽、G信号后端面，所述G信号前斜部、G信号中
斜部、G信号平直部、G信号后端切槽的两槽边、G信号后端面的长度分别为L18、L17、L9、L19、L11、W16，所述L18为0.33mm、L17为1.86mm、L9为1.78mm、L19为0.85mm、L11为0.4mm、W16为0.405mm、L16为3.38mm、L12为0.11mm
±
0.05mm、L13为0.38mm、L14为0.25mm
±
0.05mm、L15为0.75mm、W17为0.12mm
±
0.02mm、W9为0.045mm
±
0.01mm；所述S信号线探针片的整体长度、探针尖部竖向宽度和探针尾部宽度分别为L16、W10、W13，所述L16为3.38mm、W10为0.14mm、W13为0.02mm；所述G信号线探针片与所述S信号线探针片的厚度h1为0.16mm。
[0010]进一步地，两个所述G信号线探针片的所述探针尾部开设有切槽，两个所述G信号线探针片的所述探针尾部面向所述S信号线探针片的端面开设有下沉槽，两个所述G信号线探针片的所述探针体部对应在面向所述S信号线探针片的探针体部开设有槽口，所述开槽包括所述槽口和/或尾部下沉槽，所述槽口靠近于所述S信号线探针片的所述探针尾部，所述G信号线探针片远离所述S信号线探针片端面边缘设有倾斜部，两个所述G信号线探针片形状大小及开设的各个槽均相同，且呈左右对称设于所述S信号线探针片两侧。
[0011]进一步地，所述槽口的槽宽和槽深分别为L14、W17，所述W17为0.12
±
0.02mm、L14为0.25
±
0.05mm，所述切槽呈锐角型或呈燕尾形，所述切槽的两个槽边长度分别为L11、L19，所述L11为0.4mm、L19为0.85mm，所述下沉槽的槽宽和槽深分别L12、W9，所述L12为0.11
±
0.05mm、W9为0.045
±
0.01mm，所述槽口距离所述下沉槽0.38mm。
[0012]进一步地，所述固定件为垫片并具有两块，分别夹设于所述探针上下面两侧的所述槽口上，所述垫片与所述槽口共同调整所述探针的阻抗匹配，所述垫片的宽度、长度和厚度分别为W11、L10、h2，所述W11为1.80mm、L10为1.25mm、h2为1.1mm。
[0013]进一步地，所述多枝节同轴体具有四段采用渐缩式渐变结构，所述多枝节同轴体从后部到连接探针的一端分为第一轴体、第二轴体、第三轴体和第四轴体，所述第一轴体、第二轴体、第三轴体和第四轴体长度分别为h6、h7、h8、h9，所述h6为4mm、h7为4.4mm、h8为4mm、h9为2.18mm。
[0014]进一步地，所述第一轴体、第二轴体、第三轴体和第四轴体分别为回转轴体，所述第一轴体、第二轴体、第三轴体和第四轴体的半径依次逐渐变小，所述第三轴体与所述第四轴体连接处由一个聚四氟乙烯套筒固定，使所述多枝节同轴体始终保持在预定的位置。
[0015]上述传输损耗低的宽带射频探针，将探针及垫片设于外壳内，所述探针上开设有预定槽用于调节阻抗匹配，垫片不仅用于固定探针，还能够与探针配合降低电磁信号传输损耗，本技术具备良好的传输功能和探测功能，并且有效降低了传输过程中的损耗，结构简单，有效降低投资成本。
附图说明
[0016]所包括的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0017]图1是本技术一种传输损耗低的宽带射频探针的结构示意图。
[0018]图2是本技术去除外壳后的结构示意图。
[0019]图3是本技术去除外壳和垫片后的结构示意图。
[0020]图4是本技术探针片局部结构示意图。
[0021]图5是本技术传输损耗低的宽带射频探针尺寸标注示意图。
[0022]图6是本技术传输损耗低的宽带射频探针另一角度尺寸标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输损耗低的宽带射频探针，包括外壳、装于外壳中的探针，其特征在于，所述探针有多块呈片状，所述探针包括探针尖部、探针体部和探针尾部，所述探针尖部外露用于探测，所述探针体部及所述探针尾部装于所述外壳中，至少一片所述探针体部和/或所述探针尾部分别开设有用于调节阻抗匹配的开槽，所述开槽具有预定尺寸，所述外壳内还设有固定件，所述固定件设于所述探针上用于固定所述探针。2.如权利要求1所述传输损耗低的宽带射频探针，其特征在于，所述外壳具有定型槽，所述槽内具有多枝节同轴体，所述多支节同轴体具有前端和后端，所述多支节同轴体前端设有输入端口，所述多支节同轴体后端与所述探针尾部固定连接，电磁信号从所述输入端口进入，经过所述多支节同轴体传递给所述探针，所述输入端口直径为1.85mm。3.如权利要求2所述传输损耗低的宽带射频探针，其特征在于，多块所述探针包含并排设置的三个探针片，中间为S信号线探针片，在S信号线探针片的两侧为G信号线探针片，所述G信号线探针片通过所述外壳接地，所述S信号线探针片与所述多枝节同轴体相连接用于传导电磁信号，所述S信号线探针片与两侧所述G信号线探针片之间间隔有预定距离。4.如权利要求3所述传输损耗低的宽带射频探针，其特征在于，每个所述G信号线探针片的所述探针尖部与所述S信号线探针片的所述探针尖部的上下两面分别在同一个水平面，所述G信号线探针片的所述探针尖部端面的中心与所述S信号线探针片的所述探针尖部端面的中心距离W14为0.15mm。5.如权利要求4所述传输损耗低的宽带射频探针，其特征在于，每个所述G信号线探针片从前端面到后端面依次分别具有有G信号前斜部、G信号中斜部、G信号平直部和G信号后端切槽、G信号后端面，所述G信号前斜部、G信号中斜部、G信号平直部、G信号后端切槽的两槽边、G信号后端面的长度分别为L18、L17、L9、L19、L11、W16，所述L18为0.33mm、L17为1.86mm、L9为1.78mm、L19为0.85mm、L11为0.4mm、W16为0.405mm、L16为3.38mm、L12为0.11mm
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0.05mm、L13为0.38mm、L14为0.25mm
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0.05mm、L15为0.75mm、W17为0.12mm
±
0.02mm、W9为0.045mm
±
0.01mm；所述S信号线探针片的整体长度、探针尖部竖向宽度和探针尾部宽度分别为L16、W10、W...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志广，蒋文德，吕润聪，陈培聪，劳杰，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：