适用于紫外线灯照射台的吸尘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于坦克链外壳之下的灯箱，吸尘装置包括：环形吸尘管、抽风管以及排气装置，环形吸尘管位于坦克链外壳与灯箱之间，环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞，环形吸尘管与抽风管的上游端连通，抽风管的下游端与排气装置连接，排气装置中设有抽风机。本实用新型专利技术可以吸走坦克链和坦克链外壳摩擦产生的颗粒物，使工作台整洁，保证工作台正常工作，提高晶圆质量，并且保护操作人员的身体健康。并且保护操作人员的身体健康。并且保护操作人员的身体健康。

【技术实现步骤摘要】
适用于紫外线灯照射台的吸尘装置


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路的制造工艺中，经常需要使用到紫外线灯，紫外线灯可以对晶圆表面的膜层进行处理，比如，可以使用紫外线灯照射化学气相沉积形成的氮化硅膜层以进行应力调整、低介电常数材料的性能改善以及干法刻蚀后膜层的损伤修复等等。通常，为了扩大紫外线的照射范围，并且使之照射均匀，会让紫外线灯在照射的过程中保持旋转状态，紫外线灯的电缆线也随之被牵动，为了保护电缆线在紫外线灯转动时不被摩擦损坏，一般将电缆线放置在坦克链内，坦克链外设有坦克链外壳，坦克链外壳设置在紫外线灯的灯箱上方，紫外线灯往复转动时，电缆线和坦克链一起被牵动，由于重力的作用，坦克链和坦克链外壳会有轻微的接触，因此，坦克链和坦克链外壳之间就会有摩擦，而坦克链一般采用塑料材料，坦克链外壳一般为合金材料，坦克链和坦克链外壳摩擦之后会产生塑料颗粒，坦克链外壳呈环状，内圈无挡板，塑料颗粒会从环状的坦克链外壳内圈掉落，一部分掉落在灯箱顶部，一部分会随着灯箱转动继续掉落，甚至掉落到晶圆上面，在对紫外线灯照射台进行维护保养时，这些塑料颗粒难以清理，容易沾染到维护人员的衣服上，难以清洗，沾染到皮肤上或者是被人体吸入，对维护人员的身体健康也造成了不好的影响，并且，这些塑料颗粒会使紫外线灯照射台颗粒超标，影响机台正常工作，塑料颗粒落到晶圆上降低晶圆质量，进而影响半导体器件的良率，甚至使晶圆上的颗粒超标，直接造成晶圆报废。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，可以吸走坦克链和坦克链外壳摩擦产生的颗粒物，使工作台整洁，提高晶圆质量，并且保护操作人员的身体健康。
[0004]为了达到上述目的，本技术提供一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，所述紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于所述坦克链外壳之下的灯箱，所述吸尘装置包括：
[0005]环形吸尘管、抽风管以及排气装置，所述环形吸尘管位于所述坦克链外壳与所述灯箱之间，所述环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞，所述环形吸尘管与所述抽风管的上游端连通，所述抽风管的下游端与所述排气装置连接，所述排气装置中设有抽风机。
[0006]可选的，若干个所述孔洞沿所述环形吸尘管的周向均匀分布在所述环形吸尘管的内圈侧壁上。
[0007]可选的，所述孔洞的数量为八个。
[0008]可选的，所述环形吸尘管与环形的所述坦克链外壳同轴设置。
[0009]可选的，所述环形吸尘管的内圈直径不小于所述坦克链外壳的内圈直径。
[0010]可选的，所述环形吸尘管的内圈直径不大于所述坦克链外壳的外圈直径。
[0011]可选的，所述抽风管的数量为至少两根，所述抽风管沿所述环形吸尘管的周向均匀排布。
[0012]可选的，所述孔洞沿所述环形吸尘管的径向贯穿所述环形吸尘管的内圈。
[0013]可选的，所述孔洞的截面呈条形。
[0014]可选的，所述抽风管上设有开关阀。
[0015]综上所述，本技术提供的适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，所述紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于所述坦克链外壳之下的灯箱，所述吸尘装置包括：环形吸尘管、抽风管以及排气装置，所述环形吸尘管位于所述坦克链外壳的下方、所述灯箱的上方，所述环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞，若干个所述孔洞均匀分布在所述环形吸尘管的内圈侧壁。所述孔洞为竖向的条形孔，若干个所述孔洞在所述环形吸尘管的内圈侧壁并排设置。所述孔洞的数量为八个。所述环形吸尘管与环形的所述坦克链外壳同轴设置。所述环形吸尘管的内圈直径不小于所述坦克链外壳的内圈直径，所述环形吸尘管的内圈直径不大于所述坦克链外壳的外圈直径。所述环形吸尘管与所述抽风管的上游端连通，所述抽风管的下游端与所述排气装置连接，所述排气装置中设有抽风机。所述抽风管的数量为至少两根。所述抽风管沿所述环形吸尘管的圆周均布。所述抽风管上设有开关阀。
[0016]如上配置，通过在坦克链外壳下方设置环形吸尘管，能够在紫外线灯往复转动时，吸走坦克链和坦克链外壳摩擦产生的颗粒物，避免了紫外线灯照射台出现颗粒超标的情况，保证了紫外线灯照射台的正常工作，同时，也避免了颗粒物落到晶圆上，提高了晶圆质量，以利于后续再对晶圆的加工，进而提高了半导体器件的良率，并且，保持了工作环境的整洁，避免了颗粒物沾染到操作人员的衣服或皮肤上，防止了颗粒物对人体的侵害，保障了操作人员的身体健康。
附图说明
[0017]本领域的普通技术人员应当理解，提供的附图用于更好地理解本专利技术，而不对本专利技术的范围构成任何限定。其中：
[0018]图1为本技术一实施例适用于紫外线灯照射台的吸尘装置的示意图；
[0019]图2为本技术一实施例适用于紫外线灯照射台的吸尘装置的颗粒物的运动方向示意图。
[0020]其中，附图标记如下：
[0021]10
‑
环形吸尘管；20
‑
抽风管；30
‑
排气装置；40
‑
坦克链外壳；50
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灯箱；60
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开关阀；70
‑
颗粒物；80
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散热风机；11
‑
孔洞。
具体实施方式
[0022]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0023]图1是本技术一实施例适用于紫外线灯照射台的吸尘装置的示意图，图2是本
技术一实施例适用于紫外线灯照射台的吸尘装置的颗粒物的运动方向示意图。请参考图1和图2，本技术实施例提供一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，所述紫外线灯照射台包括坦克链外壳40以及位于所述坦克链外壳40之下的灯箱50，所述吸尘装置包括环形吸尘管10、抽风管20以及排气装置30，所述环形吸尘管10位于紫外线灯照射台的坦克链外壳40下方、灯箱50上方，所述环形吸尘管10上设有若干个供颗粒物进入的孔洞11，所述环形吸尘管10与所述抽风管20的上游端连通，本实施例中，环形吸尘管10与所述抽风管20通过焊接连接。所述抽风管20的下游端与所述排气装置30连接，所述排气装置30中设有抽风机，用于提供吸尘的吸力。可理解的，这里的上游端和下游端指的是抽风管20相对的一端和另一端。
[0024]本实施例中的紫外线灯照射台，坦克链外壳40呈环状，内圈无挡板，坦克链位于坦克链外壳40中，灯箱50位于坦克链外壳40下方，灯箱50与坦克链外壳40之间还设有散热风机80，用于给灯箱50散热，使灯箱50不会过热，以保证灯箱50正常工作；当紫外线灯往复转动时，坦克链会与坦克链外壳40摩擦产生颗粒物70。
[0025]可选本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，所述紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于所述坦克链外壳之下的灯箱，其特征在于，所述吸尘装置包括：环形吸尘管、抽风管以及排气装置，所述环形吸尘管位于所述坦克链外壳与所述灯箱之间，所述环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞，所述环形吸尘管与所述抽风管的上游端连通，所述抽风管的下游端与所述排气装置连接，所述排气装置中设有抽风机。2.如权利要求1所述的适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，其特征在于，若干个所述孔洞沿所述环形吸尘管的周向均匀分布在所述环形吸尘管的内圈侧壁上。3.如权利要求2所述的适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，其特征在于，所述孔洞的数量为八个。4.如权利要求1或2所述的适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，其特征在于，所述环形吸尘管与环形的所述坦克链外壳同...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦贵明，赵兴，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：