一种超薄带材矫平治具及矫平方法技术

本申请提供一种超薄带材矫平治具及方法，涉及半导体材料制备技术领域，该超薄带材矫平治具的所述第一螺杆和所述第一钳口位于所述第一位移平台上，所述第一螺杆可带动所述第一钳口固定待矫平带材的第一端，所述第一微分头可带动第一位移平台位移使得所述第一钳口向所述待矫平带材的第一端施加张力；所述第二位移平台位于所述动滑台上，所述第二螺杆和所述第二钳口位于所述第二位移平台上，所述第二螺杆可带动所述第二钳口固定待矫平带材的第二端，所述第二微分头可带动所述第二位移平台位移使得所述第二钳口向所述待矫平带材的第二端施加张力，提高了超薄带材的矫平效率，节约了工艺成本。了工艺成本。了工艺成本。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄带材矫平治具及矫平方法


[0001]本申请涉及半导体材料制备
，具体涉及一种超薄带材矫平治具及矫平方法。

技术介绍

[0002]目前的现有技术中，普通金属带材的矫平基本靠大型拉矫设备完成，该类型设备属于重工业生产设备，因其设备体积大、调试周期长、造价昂贵以及对上机量较高要求，因此多用于制造铝合金带材、不锈钢带材等常见材料的大规模工业量产，而在半导体测试领域中，使用材料多为贵金属超薄带材，不仅尺寸规格较小，而且材料本身价格昂贵(一般每克高达500元人民币且用量少每年在10
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50kg左右)，普通拉矫设备不仅不能良好适用此种薄带材的小规格小批量加工，即便勉强使用不仅矫平效果差，还会造成很大的材料浪费，造成高昂的生产成本。因此，亟需提供一种可适用超薄带材的矫平方案。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本说明书实施例提供一种适用于超薄带材的矫平治具及矫平方法，调节时间快且调整过程灵活，提高了超薄带材的矫平效率，节约了工艺成本。
[0004]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0005]一方面，提供了一种超薄带材矫平治具，包括定滑台、第一位移平台、第一螺杆、第一钳口、第一微分头、动滑台、第二位移平台、第二螺杆、第二钳口和第二微分头，
[0006]其中，所述第一位移平台位于所述定滑台上，所述第一螺杆和所述第一钳口位于所述第一位移平台上，所述第一螺杆可带动所述第一钳口固定待矫平带材的第一端，所述第一微分头可带动第一位移平台位移使得所述第一钳口向所述待矫平带材的第一端施加张力；
[0007]所述第二位移平台位于所述动滑台上，所述第二螺杆和所述第二钳口位于所述第二位移平台上，所述第二螺杆可带动所述第二钳口固定待矫平带材的第二端，所述第二微分头可带动所述第二位移平台位移使得所述第二钳口向所述待矫平带材的第二端施加张力。
[0008]在一些实施例中，所述超薄带材矫平治具还包括第一固定板和第二固定板，所述第一螺杆和所述第一钳口固定在靠近所述第一端的所述第一固定板内侧，所述第二螺杆和所述第二钳口固定在靠近所述第二端的所述第二固定板内侧。
[0009]在一些实施例中，所述第一螺杆在所述第一固定板内侧沿纵向延伸，所述第一螺杆的下端与所述第一钳口的活动端连接，所述第二螺杆在所述第二固定板内侧沿纵向延伸，所述第二螺杆的下端与所述第二钳口的活动端连接。
[0010]在一些实施例中，所述第一螺杆的上端设有第一把手，所述第二螺杆的上端设有第二把手。
[0011]在一些实施例中，所述动滑台设有锁定螺栓。
[0012]在一些实施例中，所述超薄带材矫平治具还设有支撑平台，所述定滑台、所述动滑台设于所述支撑平台上。
[0013]在一些实施例中，所述第一微分头设于所述支撑平台上且位于所述定滑台旁侧，所述第二微分头设于所述支撑平台上且位于所述动滑台旁侧。
[0014]在一些实施例中，所述第一钳口与所述第二钳口的夹持方向沿同一水平面，使得夹持的所述待矫平带材的所述第一端与所述第二端位于同一高度。
[0015]在一些实施例中，所述第一位移平台与所述定滑台平齐，所述第二位移平台与所述动滑台平齐。
[0016]另一方面，提供了一种根据上述任一实施例所述的超薄带材矫平治具的超薄带材矫平方法，包括：
[0017]调节所述第一螺杆带动所述第一钳口固定所述待矫平带材的第一端；
[0018]调节所述第二螺杆带动所述第二钳口固定所述待矫平带材的第二端，并调节所述动滑台使得所述待矫平带材处于拉直但无张力状态；
[0019]调节所述第一微分头向所述待矫平带材的第一端施加张力，并调节所述第二微分头向所述待矫平带材的第二端施加张力。
[0020]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述技术方案能够达到的有益效果至少包括：该矫平方案主要通过调节两端微分头实现对超薄带材的矫平处理，适用于超薄带材的加工处理，尤其是小批量、小规格矫平带材或贵金属带材，例如即使带材质量小于500g依然可以做矫平，调节速度快且调整过程灵活，工艺参数可调空间大，通过施加张力调节使得矫平力度更精准，提高了矫平效率，达到了预期矫平效果，且避免了采用传统大型拉矫设备处理超薄带材的效果不佳、成本高等问题。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0022]图1是本申请实施例提供的一种超薄带材矫平治具结构示意图；
[0023]图2是本申请实施例提供的一种超薄带材矫平方法流程示意图。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0025]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0026]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而
易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0027]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0028]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
[0029]如图1所示，本申请实施例提供的超薄带材矫平治具包括定滑台1、第一位移平台2、第一螺杆3、第一钳口4、第一微分头5、动滑台6、第二位移平台7、第二螺杆8、第二钳口9和第二微分头10。具体地，第一位移平台2位于定滑台1上，第一螺杆3和第一钳口4位于第一位移平台2上，第一螺杆3可带动第一钳口4固定待矫平带材11的第一端111，第一微分头5可带动第一位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超薄带材矫平治具，其特征在于，包括定滑台、第一位移平台、第一螺杆、第一钳口、第一微分头、动滑台、第二位移平台、第二螺杆、第二钳口和第二微分头，其中，所述第一位移平台位于所述定滑台上，所述第一螺杆和所述第一钳口位于所述第一位移平台上，所述第一螺杆可带动所述第一钳口固定待矫平带材的第一端，所述第一微分头可带动第一位移平台位移使得所述第一钳口向所述待矫平带材的第一端施加张力；所述第二位移平台位于所述动滑台上，所述第二螺杆和所述第二钳口位于所述第二位移平台上，所述第二螺杆可带动所述第二钳口固定待矫平带材的第二端，所述第二微分头可带动所述第二位移平台位移使得所述第二钳口向所述待矫平带材的第二端施加张力。2.根据权利要求1所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述超薄带材矫平治具还包括第一固定板和第二固定板，所述第一螺杆和所述第一钳口固定在靠近所述第一端的所述第一固定板内侧，所述第二螺杆和所述第二钳口固定在靠近所述第二端的所述第二固定板内侧。3.根据权利要求2所述的超薄带材矫平治具，其特征在于，所述第一螺杆在所述第一固定板内侧沿纵向延伸，所述第一螺杆的下端与所述第一钳口的活动端连接，所述第二螺杆在所述第二固定板内侧沿纵向延伸，所述第二螺杆的下端与所述第二钳口的活动端连接。4.根据权利要求3所述的超薄带材矫平治具，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩洋洋，陶克文，罗雄科，
申请(专利权)人：上海泽丰半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：