一种激光剥蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种激光剥蚀装置，所述振镜模块、激光光源、样品台、采样管和采样杯；所述激光光源发射剥蚀激光，所述剥蚀激光经过振镜模块后对样品台上盛放的样品进行剥蚀；所述振镜模块用于将剥蚀激光在样品表面的若干个不同位置形成聚焦光斑，所述聚焦光斑形成剥蚀区域；所述采样管一端与采样杯连接，所述采样杯对样品剥蚀出来的颗粒进行收集，所述采样杯与所述剥蚀区域中心的连线方向与所述剥蚀激光的方向不同轴。本实用新型专利技术使激光剥蚀样品后产生气溶胶颗粒的上升方向与激光方向不同轴，使剥蚀产生的气溶胶颗粒不会对激光产生干扰，提升剥蚀效率。提升剥蚀效率。提升剥蚀效率。

【技术实现步骤摘要】
一种激光剥蚀装置


[0001]本技术属于激光剥蚀
，尤其涉及一种激光剥蚀装置。

技术介绍

[0002]目前，将激光剥蚀系统用于元素分析的现象越来越普遍，现有的激光剥蚀系统存在激光剥蚀后产生的激光气溶胶颗粒的原位性较差。在申请号为CN2022113640551的专利文件中提供了一种振镜系统，振镜系统的一种用途中，产生的光斑是由一定数目的光斑填充形成的大范围剥蚀区域，因此激光气溶胶颗粒的原位性更好，能够更加均匀地采集到样品表面的信息。由于激光剥蚀系统与振镜系统联用时，剥蚀所需时间从纳米级延长至毫秒级，并且现有的激光剥蚀系统进行激光剥蚀后产生的激光气溶胶颗粒的上升方向和激光光路是同轴的，所以产生的颗粒会对激光产生干扰，大大影响激光与样品产生作用形成的剥蚀效率。
[0003]因此，如何使剥蚀产生的气溶胶颗粒不会对激光产生干扰是一个亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种激光剥蚀装置，使激光剥蚀样品后产生气溶胶颗粒的上升方向与激光方向不同轴，使剥蚀产生的气溶胶颗粒不会对激光产生干扰，提升剥蚀效率。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种激光剥蚀装置，包括：振镜模块、激光光源、样品台、采样管和采样杯；
[0006]所述激光光源发射剥蚀激光，所述剥蚀激光经过振镜模块后对样品台上盛放的样品进行剥蚀；所述振镜模块用于将剥蚀激光在样品表面的若干个不同位置形成聚焦光斑，所述聚焦光斑形成剥蚀区域；
[0007]所述采样管一端与采样杯连接，所述采样杯对样品剥蚀出来的颗粒进行收集，所述采样杯与所述剥蚀区域中心的连线方向与所述剥蚀激光的方向不同轴。由于存在振镜模块，本技术中剥蚀激光的方向可在小范围内切换，因此，本技术所述剥蚀激光的方向指平均方向。
[0008]优选地，所述采样杯与所述剥蚀区域中心的连线方向与样品台法向量方向的夹角为45
°
。
[0009]优选地，所述样品台的法向量方向与所述剥蚀激光不同轴。
[0010]优选地，所述采样杯位于样品台上方，所述激光光源位于样品台侧方，所述样品台朝向所述激光光源倾斜设置。
[0011]优选地，所述样品台倾角为45
°
。
[0012]优选地，所述收集激光剥蚀颗粒的装置还包括成像模块，所述成像模块用于监控激光剥蚀样品的过程，所述成像模块与样品台的法向量方向同轴。
[0013]优选地，所述收集激光剥蚀颗粒的装置还包括成像模块，所述成像模块用于监控激光剥蚀样品的过程，所述成像模块与样品台的法向量方向同轴；所述成像模块包括物镜。
[0014]优选地，所述采样杯为开口宽于采样管的喇叭形。
[0015]本技术的有益效果是将激光剥蚀系统与振镜模块进行联用，产生的颗粒不会干扰激光，大大提升了激光剥蚀效率，并且通过成像模块可以更清楚的监控激光剥蚀样品的过程。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为现有技术的激光剥蚀系统的结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例一中所公开的激光剥蚀装置的结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例二中所公开的激光剥蚀装置的结构示意图。
具体实施方式
[0020]本技术的核心在于提供一种激光剥蚀装置，使激光剥蚀样品后产生气溶胶颗粒的上升方向与激光方向不同轴，进而达到产生的气溶胶颗粒不会影响一个光斑中紧接着的激光继续与样品作用，提升剥蚀效率。
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]对比实施例
[0023]图1示出了现有技术的激光剥蚀系统的结构，包括激光光源(即图1中剥蚀激光1)、样品台2、采样管3和采样杯4；激光在氦气氛围中对样品进行剥蚀后，产生的颗粒会向上移动，采样杯4以及采集管3设置在样品台2上方对颗粒进行采集；采样管中通入氩气，使采样端形成真空，从而让颗粒往检测端传输。如若添加了在此结构上添加振镜模块，由于振镜模块可以一次性对样品表面大范围区域进行聚焦剥蚀，因而剥蚀时间从纳米级延长至毫秒级。在这种情况下，由于产生的激光气溶胶颗粒的上升方向和激光光路仍是同轴的，产生的颗粒会对激光产生干扰，大大影响激光与样品产生作用形成的剥蚀效率。
[0024]实施例一
[0025]如图2所示，本实施例包括振镜模块5、激光光源、样品台2、采样管3和采样杯4；振镜模块中包括至少一个可以高频振动的光学元件使剥蚀激光1在一较小的范围内的若干个不同方向间高频切换使得剥蚀激光1在样品表面的若干个不同位置形成聚焦光斑；激光光源发射剥蚀激光1，剥蚀激光1经过振镜模块5后对样品台2上盛放的样品进行剥蚀；振镜模块5用于将剥蚀激光在样品表面的若干个不同位置形成聚焦光斑，聚焦光斑形成剥蚀区域；采样管3一端与采样杯4连接，采样杯4对样品剥蚀出来的颗粒进行收集，采样杯4与剥蚀区
域中心的连线方向与剥蚀激光1的方向不同轴。在一个较佳的实施例中，采样杯4与所述剥蚀区域中心的连线方向与样品台法向量方向的夹角为45
°
。与现有技术不同，本实施例中的采样杯4为开口宽于采样管3的喇叭形。
[0026]该实施例通过将采集剥蚀样品后产生的颗粒的输送方向与激光光路不共轴设置，避免了其对激光的干扰，达到提高剥蚀效率的作用。
[0027]在一个较佳的实施例中，激光剥蚀系统还包括成像模块6，成像模块6用于监控激光剥蚀样品的过程，成像模块6与样品台2的法向量方向同轴。
[0028]实施例二
[0029]本实施例与实施例一的区别在于，如图3所示，改变激光引入的方向及样品放置的角度使样品台2的法向量方向与剥蚀激光1不同轴；在本实施例中，激光光源从样品台侧方发射剥蚀激光1，样品台2朝向激光光源倾斜设置，剥蚀激光1经过振镜模块5后对样品台2上盛放的样品进行剥蚀；将采样杯4设置在样品台2上方，由于剥蚀样品后产生的颗粒是垂直上升，因此可以充分利用氦气的上升动力，这样可以在采样杯4处负压较小的场合下提升送样效率。在一个较佳的实施例中，样品台倾角为45
°
。
[0030]在一个较佳的实施例中，激光剥蚀系统还包括成像模块6，成像模块6用于监控激光剥蚀样品的过程，成像模块6与样品台2的法向量方向同轴，由于在本实施例中，样品台2的法向量方向与剥蚀激光1方向不共轴，因此可添加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光剥蚀装置，其特征在于，包括：振镜模块、激光光源、样品台、采样管和采样杯；所述激光光源发射剥蚀激光，所述剥蚀激光经过振镜模块后对样品台上盛放的样品进行剥蚀；所述振镜模块用于将剥蚀激光在样品表面的若干个不同位置形成聚焦光斑，所述聚焦光斑形成剥蚀区域；所述采样管一端与采样杯连接，所述采样杯对样品剥蚀出来的颗粒进行收集，所述采样杯与所述剥蚀区域中心的连线方向与所述剥蚀激光的方向不同轴。2.根据权利要求1所述的激光剥蚀装置，其特征在于，所述采样杯与所述剥蚀区域中心的连线方向与样品台法向量方向的夹角为45
°
。3.根据权利要求1所述的激光剥蚀装置，其特征在于，所述样品台的法向量方向与所述剥蚀激光不同轴。4.根据权利要求3所述的激光剥蚀装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琳，蒋建兵，
申请(专利权)人：上海凯来仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：