真空阀制造技术

本发明专利技术提供一种真空阀，其即使在产品组装之后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。真空阀（１）通过使第一活塞（２６）与第二活塞（２７）单独移动来改变阀芯（７）的行程，阶段性地控制流量。真空阀（１）在使第二活塞（２７）与上盖（２２）抵接的状态下将行程调整部件（３８）拧入调整螺纹部（１１ｄ）直至与第二活塞（２７）触碰，用固定螺钉（３９）固定行程调整部件（３８），从而调整行程调整部件的原点位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空阀，其在例如进行半导体制造装置的真空腔 室内的真空排气时，能够阶段性地控制排气流量。
技术介绍
在半导体制造装置中，进行真空腔室内的真空排气时，由于快速 地排出真空腔室内的气体，因此短时间内有大量的气体流动，导致附 着在真空腔室内壁、流路上的颗粒(尘埃)被巻起。此外，若过于縮 小排气流量，则排气时间会变长，给生产节拍带来不好的影响。因此， 例如在专利文献1中提出了通过将排气流量从小流量切换成大流量来 防止颗粒的巻起的真空阀。图7至图9为表示专利文献1所记载的真空阀100的实施方式的 剖视图，图7为表示闭阀状态、图8为表示慢速排气状态、而图9为 表示快速排气状态的图。真空阀100在具有泵口 101和腔室端口 102的阀体103内设有阀 座104。阀芯105固定在主轴107的下端部，通过复位弹簧106总是向 阀座方向施力。在阀芯105上安装有环状密封部件122，通过朝阀座 104按压环状密封部件122来切断流路。在阀体103上固定有缸筒108。在缸筒108的两端面开设有带底 孔，用底盖109和上盖110堵住该带底孔，从而形成第一活塞室111 和第二活塞室112。主轴107从阀体103贯通底盖109、设在第一活塞 室111与第二活塞室112之间的中间壁113、和上盖110。3在主轴107上固定设置有第一活塞114，将第一活塞114能够滑 动地配置在第一活塞室111内。并且，主轴107插通嵌装在第二活塞 室112内的第二活塞115。在主轴107的上端部，使用螺母116安装有 卡定部件121。第一活塞室111与第二活塞室112分别被第一活塞114 与第二活塞115气密地划分。在由第一活塞114与第二活塞115所划 分的下侧室上连通有开设在缸筒108上的第一操作口 117和第二操作 □ 118。在上盖110上螺设调整手柄119，将下端部能够进退在第二活塞 室112内。通过固定螺钉120以规定位置固定调整手柄119。这种真空阀IOO如图7所示，从第一操作口 117和第二操作口 118 不向第一活塞室111和第二活塞室112供给操作空气的情况下，阀芯 105由复位弹簧106对其进行的施力，与阀座104抵接。从该状态进行慢速排气的情况下，如图8的网点部分所示，从第 二操作口 118向第二活塞室112供给操作空气。第二活塞115由于操 作空气的压力，会单独上升直至与卡定部件121碰触，之后与主轴107 一体地上升。由此，固定设置在主轴107的下端部的阀芯105从阀座 104分离。第二活塞115可上升至与调整手柄119的下端部抵接，在位 置移动受到限制。因此，主轴107与阀芯105也停止上升，维持适合 慢速排气的阀开度的状态。因此，真空阀IOO从腔室端口 102向泵口 101进行小流量排气，由此能够不巻起颗粒地调整真空腔室内的压力。在进行快速排气的情况下，如图9的网点部分所示，向第一操作 口 117供给操作空气。第一活塞114由于操作空气的压力，抵抗复位 弹簧106的作用力，与主轴107—体地上升。真空阀IOO通过阀芯105 与主轴107 —体地上升而使阀开度变大，从而能够以大流量从腔室端 口 102朝泵口 101进行排气。在结束真空腔室内的排气的情况下，从第一操作口 117及第二操 作口 118排出操作空气。这样，如图7所示，主轴107由于受到复位 弹簧106的作用力而下降，使阀芯105与阀座104抵接。并且，第二 活塞115随着操作空气从第二操作口 118的排出而下降，从调整手柄 119分离。因此，若按照以往的真空阀100，则通过向第一操作口 117与第 二操作口 118进行操作空气的供给和停止，能够阶段性地控制排气流专利文献1:日本特开2001-12649但是，以往的真空阀100在产品组装完毕后，不能调整使流量为 "0"的调整手柄119的原点位置。因此，存在即使旋转调整手柄119， 阀流量也得不到调整的动作非感应带。具体而言，真空阀100使第二活塞115在与卡定部件121抵接后 与主轴107 —起上升。之后，第二活塞115与主轴107 —起上升，直 至与调整手柄119的下端部接触而移动受到限制。因此，以往的真空 阀100使第二活塞115与调整手柄119之间的距离成为阀芯105的行 程，调整手柄119越位于下侧，阀芯105的行程越短。这种真空阀100在产品组装时，不向第二活塞室112供给压縮空 气，而是通过复位弹簧106的作用力，将第二活塞115配置在与中间 壁113抵接的下限位置，以此状态将调整手柄119拧入上盖110，直至 与第二活塞115碰触。由此，真空阀100设定调整手柄119的原点位 置。其中，原点位置是指使流量为"0"的构成基准的位置。并且，调 整手柄119从原点位置沿规定方向旋转而上升，利用固定螺钉120相 对上盖110进行固定，由此决定调整手柄119与第二活塞115之间的 距离，即阀芯105的行程。但是，阀芯105的行程，实际上，根据第二活塞115在与卡定部件121抵接之后到与调整手柄119抵接为止的距离进行决定。第二活 塞115与卡定部件121之间的距离根据环状密封部件122的弯曲量而 发生变化。由此，阀芯105的行程也会发生变化。艮P，例如，在环状密封部件122的弯曲量较大的情况下，第二活 塞115与卡定部件121之间的距离变短，第二活塞115拉升主轴107 及阀芯105的距离变长，因此阀芯105的行程变大。另外，例如，在 环状密封部件122的弯曲量小的情况下，第二活塞115与卡定部件121 之间的距离变长，第二活塞115拉升主轴107及阀芯105的距离变短， 因此阀芯105的行程变短。因而，使调整手柄119碰触配置在下限位置的第二活塞115来决 定调整手柄119的原点位置，因此若由于环状密封部件122的弯曲量 等，第二活塞115与卡定部件121之间的距离不同时，即使以该原点 位置为基准，以规定次数旋转调整手柄119，也不能将阀芯105的行程 调整为设定值。例如，在环状密封部件122的弯曲量小于设定值的情 况下，就算从原点位置数次旋转调整手柄119，第二活塞115在与卡定 部件121抵接之前与调整手柄119的下端部抵接，从而存在不能调整 阀开度的情况。并且，环状密封部件122重复使用后产生劣化，闭阀时的环状密 封部件122的弯曲量发生改变。另外，第二活塞115与卡定部件121 之间的距离在产品组装时唯一地决定。因此，按照以往的真空阀ioo， 即使闭阀时环状密封部件122的弯曲量在产品组装后发生变化，也不 能根据该环状密封部件122的弯曲量的变化对调整手柄119的原点位 置进行调整
技术实现思路
本专利技术是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种真空阀， 该真空阀即使在产品组装后，也能够简单且正确地调整行程调整部件 的原点位置。本专利技术所涉及的真空阀具有以下结构。(1) 、使安装在阀芯上的环状密封部件产生弹性变形而与设置在 腔室端口与泵口之间的阀体的阀座贴紧，从而对腔室端口与泵口之间 进行切断，在设于缸筒的第一活塞室与第二活塞室内可滑动地配置有 第一活塞与第二活塞，与所述阀芯连接的主轴固定设置在所述第一活 塞上，并且插通所述第二活塞，包括卡定所述第二活塞的卡定部件， 通过使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空阀，使安装在阀芯上的环状密封部件产生弹性变形而与设置在腔室端口与泵口之间的阀体的阀座贴紧，从而对腔室端口与泵口之间进行切断，在设于缸筒的第一活塞室与第二活塞室内可滑动地配置有第一活塞与第二活塞，与所述阀芯连接的主轴固定设置在所述第一活塞上，并且插通所述第二活塞，包括卡定所述第二活塞的卡定部件，通过使所述第一及所述第二活塞单独动作，阶段性地调整所述阀芯的行程，其特征在于，　所述主轴在插通所述第二活塞室的部分的外周面上形成有调整螺纹部，　所述卡定部件为与所述调 整螺纹部螺合的行程调整部件，　包括相对所述主轴固定所述行程调整部件的固定部件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：内藤正博，伊藤慎，市川雅规，小洞匡博，
申请(专利权)人：喜开理株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]