本实用新型专利技术的实施例提供了一种搬运装置和加工设备。搬运装置包括用于夹持物料的夹持机构；弹性组件，弹性组件连接至夹持机构，弹性组件在弹性形变状态和复位状态之间可切换，弹性组件在夹持机构夹持物料时被物料挤压至弹性形变状态，弹性组件在夹持机构未夹持物料时恢复至复位状态；以及检测组件，检测组件靠近弹性组件设置并用于检测弹性组件的状态。本实用新型专利技术实施例提供的搬运装置，通过弹性组件和检测组件配合使用，可以实时检测夹持机构夹持的物料是否掉落。这样，即便是夹持机构可以移动，弹性组件和检测组件也可以持续进行检测。因此，搬运装置的安全性较高。搬运装置的安全性较高。搬运装置的安全性较高。
【技术实现步骤摘要】
搬运装置和加工设备
[0001]本技术涉及物料加工
，具体地，涉及一种搬运装置和一种具有其的加工设备。
技术介绍
[0002]在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。通常的切割方式有两种，一种是刀轮切割，一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，主要是将激光光束聚集在待加工物料内部形成炸点，通过精确控制聚焦物镜与待加工物料表面之间的距离，在待加工物料内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片分离彼此相邻的晶粒。
[0003]传统的激光加工设备主要包括上料装置、搬运装置、加工装置和下料装置。具体地，搬运装置将上料装置的料盒内的物料搬运到加工装置的载台上，然后通过加工装置的加工机构对载台上的物料进行切割，以形成已加工物料。搬运装置将已加工物料搬运到下料装置。然后搬运装置继续搬运，加工装置继续加工，如此往复。
[0004]物料在被搬运的过程中，传感器在固定点位处对物料进行检测。而在除该固定点位的其他位置，物料无法被检测。这样，在搬运过程中，当物料从搬运装置上掉落时，传感器可能无法及时检测到，因此存在很多的安全隐患。
技术实现思路
[0005]为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本技术的一个方面，提供了一种搬运装置。搬运装置包括用于夹持物料的夹持机构；弹性组件，所述弹性组件连接至所述夹持机构，所述弹性组件在弹性形变状态和复位状态之间可切换，所述弹性组件在所述夹持机构夹持物料时被物料挤压至所述弹性形变状态，所述弹性组件在所述夹持机构未夹持物料时恢复至所述复位状态；以及检测组件，所述检测组件靠近弹性组件设置并用于检测所述弹性组件的状态。
[0006]示例性地，所述弹性组件包括连接至所述夹持机构的弹性件和可移动地连接至所述弹性件的导杆，所述导杆在所述夹持机构夹持物料时被物料推顶至有料位置且所述弹性件处于所述弹性形变状态，所述导杆在所述夹持机构未夹持物料时在所述弹性件恢复至所述复位状态的作用下移动至无料位置。
[0007]示例性地，所述导杆包括头部和连接至所述头部的杆部，所述头部的横截面积大于所述杆部的横截面积，所述头部朝向所述夹持机构，所述弹性件套设在所述杆部上，所述弹性件的一端朝向所述头部且另一端连接至所述夹持机构。
[0008]示例性地，所述弹性件包括压缩弹簧。
[0009]示例性地，所述检测组件包括传感器，所述导杆上设置有感应件，所述传感器用于通过检测所述感应件的位置而检测所述弹性组件的状态。
[0010]示例性地，所述传感器包括有料传感器和无料传感器，所述感应件包括有料感应
件和无料感应件，所述有料感应件在所述导杆处于所述有料位置时位于所述有料传感器的感应区内，且所述无料感应件在所述导杆处于所述无料位置时位于所述无料传感器的感应区内。
[0011]示例性地，所述有料传感器包括有料发射器和有料接收器，所述有料发射器和所述有料接收器间隔开，以形成所述有料传感器的感应区；和/或所述无料传感器包括无料发射器和无料接收器，所述无料发射器和所述无料接收器间隔开，以形成所述无料传感器的感应区。
[0012]示例性地，所述夹持机构的至少一侧设置有所述弹性组件和所述检测组件。
[0013]示例性地，所述搬运装置还包括控制器和警报器，所述控制器电连接至所述检测组件和所述警报器，所述控制器用于根据所述弹性组件的状态确定所述夹持机构是否夹持有物料，并且确定所述夹持机构未夹持物料时触发所述警报器。
[0014]根据本技术的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括如上任一种所述的搬运装置。
[0015]本技术实施例提供的搬运装置，通过弹性组件和检测组件配合使用，可以实时检测夹持机构夹持的物料是否掉落。这样，即便是夹持机构可以移动，弹性组件和检测组件也可以持续进行检测。因此，搬运装置的安全性较高。
[0016]在
技术实现思路
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
[0017]以下结合附图，详细说明本技术的优点和特征。
附图说明
[0018]本技术的下列附图在此作为本技术的一部分用于理解本技术。附图中示出了本技术的实施方式及其描述，用来解释本技术的原理。在附图中，
[0019]图1为根据本技术的一个示例性实施例的加工设备的立体图；
[0020]图2为图1中示出的上下料装置、搬运装置和防掉落装置的立体图；以及
[0021]图3为图2中示出的搬运装置的部分部件的立体图。
[0022]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0023]100、搬运装置；200、夹持机构；210、第一夹爪；220、第二夹爪；300、弹性组件；310、导杆；311、头部；312、杆部；320、弹性件；400、检测组件；410、有料传感器；411、有料发射器；412、有料接收器；413、感应区；420、无料传感器；421、无料发射器；422、无料接收器；423、感应区；500、感应件；510、有料感应件；520、无料感应件；610、搬运驱动件；620、搬运导轨；630、搬运支架；640、搬运基座；900、加工设备；910、上下料装置；920、防掉落装置；930、定位装置；940、取放料装置；950、加工装置。
具体实施方式
[0024]在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本技术。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本技术的优选实施例，本技术可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本技术发生混淆，对于
本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
[0025]根据本技术的一个方面，提供了一种搬运装置。该搬运装置可以应用至任意合适的设备中，包括但不限于加工设备或者移载设备。因此，根据本技术的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括但不限于激光加工设备。加工设备可以对物料进行上料、加工、下料以及其他处理。物料包括但不限于晶圆。下面结合具体实施例对本技术实施例的搬运装置和加工设备进行详细描述。
[0026]如图1
‑
3所示，搬运装置100可以包括夹持机构200、弹性组件300和检测组件400。
[0027]夹持机构200可以用于夹持物料。夹持机构200的结构可以任意，包括但不限于夹爪夹持机构或者夹板夹持机构。在一些实施例中，夹持机构200可以包括夹爪驱动件(未示出)、第一夹爪210和第二夹爪220。夹爪驱动件可以用于驱动第一夹爪210和/或第二夹爪220，以使第一夹爪210和第二夹爪220可以相互靠近和远离，从而可以用于夹持物料。夹爪驱动件包括但不限于电机、气缸或者电缸。第一夹爪210和第二夹爪220可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，包括用于夹持物料的夹持机构，其特征在于，还包括：弹性组件，所述弹性组件连接至所述夹持机构，所述弹性组件在弹性形变状态和复位状态之间可切换，所述弹性组件在所述夹持机构夹持物料时被物料挤压至所述弹性形变状态，所述弹性组件在所述夹持机构未夹持物料时恢复至所述复位状态；以及检测组件，所述检测组件靠近所述弹性组件设置并用于检测所述弹性组件的状态。2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述弹性组件包括连接至所述夹持机构的弹性件和可移动地连接至所述弹性件的导杆，所述导杆在所述夹持机构夹持物料时被物料推顶至有料位置且所述弹性件处于所述弹性形变状态，所述导杆在所述夹持机构未夹持物料时在所述弹性件恢复至所述复位状态的作用下移动至无料位置。3.如权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述导杆包括头部和连接至所述头部的杆部，所述头部的横截面积大于所述杆部的横截面积，所述头部朝向所述夹持机构，所述弹性件套设在所述杆部上，所述弹性件的一端朝向所述头部且另一端连接至所述夹持机构。4.如权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述弹性件包括压缩弹簧。5.如权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述检测组件包括传感器，所述导杆上设置有感应件，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡发富，陈先文，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。