一种芯片缺陷的检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种芯片缺陷的检测系统。该检测系统包括运动控制模块、图像采集模块和检测设备，其中，运动控制模块用于将至少一个待检测芯片移动至预设位置；图像采集模块设置于运动控制模块一侧，用于采集待检测芯片的图像；检测设备分别与运动控制模块和图像采集模块连接，用于控制运动控制模块将至少一个待检测芯片移动至预设位置；检测设备从图像采集模块获取图像，以基于图像得到检测结果。通过机器视觉代替人工目检，可以有效提高检测的品质与效率，减少人力及降低成本。减少人力及降低成本。减少人力及降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片缺陷的检测系统


[0001]本技术涉及半导体激光芯片检测领域，特别是涉及芯片缺陷的检测系统。

技术介绍

[0002]目前，从事半导体激光器行业的企业多采用人工目检的方法进行半导体激光芯片的表面缺陷检测。由于半导体激光芯片产品规格是毫米级别，其缺陷更是只有微米大小，因此人工目检需要人眼与显微镜高度配合，其检测结果与效率受限于人为经验知识影响，导致人工目检检测成本高，耗费大量人力，同时易发生漏检误检等效率低下的问题。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本申请提供一种芯片缺陷的检测系统，以解决上述技术问题。
[0004]本申请第一方面提供了一种芯片缺陷的检测系统，所述检测系统包括：运动控制模块，用于将至少一个待检测芯片移动至预设位置；图像采集模块，设置于所述运动控制模块一侧，用于采集所述待检测芯片的图像；检测设备，分别与所述运动控制模块和所述图像采集模块连接，用于控制所述运动控制模块将至少一个所述待检测芯片移动至预设位置；所述检测设备从所述图像采集模块获取所述图像，以基于所述图像得到检测结果。
[0005]在一些实施例中，所述图像采集模块包括：远心镜头模组，用于获取到放大倍数相同的所述待检测芯片的图像；相机模组，沿第一方向设置于所述远心镜头模组的一侧，用于获取并存储所述待检测芯片的图像；同轴点光源模组，沿第二方向设置于所述远心镜头模组的一侧，用于发射照明光源，其中，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；环形光源模组，沿第一方向设置于所述远心镜头模组的远离所述相机模组的一侧，用于发射所述照明光源。
[0006]在一些实施例中，所述检测系统还包括：光源控制器，与所述同轴点光源模组和所述环形光源模组连接，用于驱动所述同轴点光源模组和所述环形光源模组。
[0007]在一些实施例中，所述运动控制模块包括：第一运动导轨，用于驱动第一运动滑块在第一运动导轨上往返运动；第一运动滑块，沿第一方向设置于所述第一运动导轨上，用于驱动装载平台沿所述第一运动导轨方向做往返运动。
[0008]在一些实施例中，所述运动控制模块还包括：第一伺服电机，沿第二方向设置于所述第一运动滑块一侧，用于驱动所述第一运动导轨，使得所述第一运动滑块在所述第一运动导轨上往返运动，其中，所述第二方向与所述第一方向垂直设置；安装支架，固定于所述第一运动滑块的远离所述第一运动导轨的一侧，垂直于所述第一运动滑块设置，用于固定第二运动导轨。
[0009]在一些实施例中，所述检测系统还包括：第一伺服电机控制器，与所述第一伺服电机连接，用于控制所述第一伺服电机的运转。
[0010]在一些实施例中，所述运动控制模块还包括：所述第二运动导轨，固定于所述安装支架的远离所述第一运动滑块的一侧，用于驱动第二运动滑块在所述第二运动导轨上往返
运动；所述第二运动滑块，沿第三方向设置于所述第二运动导轨上，用于驱动所述装载平台沿所述第二运动导轨方向做往返运动；第二伺服电机，沿第四方向设置于所述第二运动滑块一侧，用于驱动所述第二运动导轨，使得所述第二运动滑块在所述第二运动导轨上往返运动，其中，所述第三方向与所述第四方向垂直设置。
[0011]在一些实施例中，所述检测系统还包括：第二伺服电机控制器，与所述第二伺服电机连接，用于控制所述第二伺服电机的运转。
[0012]在一些实施例中，所述检测系统还包括：运动控制板卡，与所述第一伺服电机控制器和所述第二伺服电机控制器连接，用于驱动所述第一伺服电机控制器和所述第二伺服电机控制器；所述装载平台固定于所述第二运动滑块的远离所述第二运动导轨的一侧，用于放置至少一个待检测芯片。
[0013]在一些实施例中，所述检测设备包括：工控机，与所述光源控制器和所述图像采集模块连接，用于控制所述检测设备的运行；显示屏，与所述工控机连接，用于显示所述检测结果。
[0014]本申请提供的芯片缺陷的检测系统，可以通过检测设备控制运动控制模块将至少一个待检测芯片移动至预设位置，从图像采集模块获取图像，以基于图像得到检测结果。通过机器视觉代替人工目检，可以有效提高检测的品质与效率，减少人力及降低成本。
[0015]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，而非限制本申请。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本申请的检测系统的一实施例的结构示意图；
[0018]图2是本申请的图像采集模块的一实施例的结构示意图；
[0019]图3是本申请的运动控制模块的一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0020]下面结合说明书附图，对本申请实施例的方案进行详细说明。特别指出的是，以下实施例仅用于说明本申请，但不对本申请的范围进行限定。同样的，以下实施例仅为本申请的部分实施例而非全部实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0021]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其他实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其他实施例相结合。
[0022]本申请的描述中，需要说明的是，除非另外明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，可以是可拆卸连接，或一体地连
接；可以是机械来能接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间隔相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况连接上述属于在本申请的具体含义。
[0023]在本申请的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0024]本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。此外，本文中的“多”表示两个或者多于两个。另外，本文中术语“至少一种”表示多种中的任意一种或多种中的至少两种的任意组合，例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片缺陷的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：运动控制模块，用于将至少一个待检测芯片移动至预设位置；图像采集模块，设置于所述运动控制模块一侧，用于采集所述待检测芯片的图像；检测设备，分别与所述运动控制模块和所述图像采集模块连接，用于控制所述运动控制模块将至少一个所述待检测芯片移动至预设位置；所述检测设备从所述图像采集模块获取所述图像，以基于所述图像得到检测结果。2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括：远心镜头模组，用于获取到放大倍数相同的所述待检测芯片的图像；相机模组，沿第一方向设置于所述远心镜头模组的一侧，用于获取并存储所述待检测芯片的图像；同轴点光源模组，沿第二方向设置于所述远心镜头模组的一侧，用于发射照明光源，其中，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；环形光源模组，沿第一方向设置于所述远心镜头模组的远离所述相机模组的一侧，用于发射所述照明光源。3.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：光源控制器，与所述同轴点光源模组和所述环形光源模组连接，用于驱动所述同轴点光源模组和所述环形光源模组。4.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述运动控制模块包括：第一运动导轨，用于驱动第一运动滑块在第一运动导轨上往返运动；第一运动滑块，沿第一方向设置于所述第一运动导轨上，用于驱动装载平台沿所述第一运动导轨方向做往返运动。5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述运动控制模块还包括：第一伺服电机，沿第二方向设置于所述第一运动滑块一侧，用于驱动所述第一运动导轨，使得所述第一运动滑块在所述第一运动导轨上往返运动，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文斌，曹广忠，梁芳萍，胡海，李国泉，
申请(专利权)人：深圳瑞波光电子有限公司，
类型：新型
国别省市：