一种检测系统技术方案

一种检测系统，包括检测设备和通风管路，检测设备具有一个或多个腔室空间，至少一个腔室空间具有预设功能区，通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中，送风支路与腔室空间连通设置，用于向腔室空间通入气流；吹扫支路延伸连通至预设功能区，用于向预设功能区通入气流。利用送风支路提供的气流对设备的腔室空间进行大面积的气浴，在使得设备内部维持正压的同时，保证腔室空间具有较高的洁净度；同时，借助吹扫支路对腔室空间的特定区域进行针对性地气流吹扫，可有效防止悬浮颗粒等污染物对待检对象、光学元件及检测光路造成污染，从而为保证或提高检测效果创造有利条件。件。件。

【技术实现步骤摘要】
一种检测系统


[0001]本技术涉及检测
，具体涉及一种检测系统。

技术介绍

[0002]以半导体行业为例，采用检测设备对半导体产品工件的相关特征（例如关键尺寸、表面缺陷等）进行检测，已经成为了保证产品工件质量的重要手段之一。目前，相关检测作业通常是在检测设备内部完成的，而设备内部环境空间中所存在的污染物（例如悬浮颗粒、碎屑等）则很容易对产品工件、执行检测作业的相关功能器件等造成污染，从而直接影响到最终的检测结果。因此，如何对检测环境进行清洁净化，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]本技术主要解决的技术问题是提供一种检测系统，能够通过对检测环境的清洁净化，为提高检测效果提供保障。
[0004]一种实施例中提供一种检测系统，包括检测设备和通风管路，所述检测设备的内部具有一个或多个腔室空间，至少一个所述腔室空间具有预设功能区，所述通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中：
[0005]所述送风支路与所述腔室空间连通设置，用于向所述腔室空间通入气流，以维持所述检测设备的内部气压大于所述检测设备的外部气压；所述吹扫支路延伸连通至所述预设功能区，用于向所述预设功能区通入气流，以对所述预设功能区进行吹扫清洁。
[0006]一个实施例中，所述送风支路的数量设置为多条，每个所述腔室空间均对应连通有至少一条所述送风支路。
[0007]一个实施例中，所述腔室空间具有进风口和出风口，所述出风口设置于所述腔室空间的底部和/或侧壁；所述进风口设置于所述腔室空间的顶部，用以连通对应的所述送风支路。
[0008]一个实施例中，所述预设功能区的数量设置为多个，每个所述预设功能区均对应连通有至少一条所述吹扫支路。
[0009]一个实施例中，多个所述预设功能区中包括核心区和/或光机区，所述核心区设有用于承载待检对象的承载装置，所述光机区设有用于对待检对象进行光学检测的检测装置。
[0010]一个实施例中，还包括抽排设备、过滤组件和阀门组件中的至少一者；其中：
[0011]所述抽排设备与所述核心区连通设置，用以至少将所述核心区的气流抽排至所述检测设备的外部；
[0012]所述过滤组件与所述通风管路密封连通设置，用以对流经所述通风管路的气流进行过滤净化；
[0013]所述阀门组件设置于所述通风管路，用以调节通过所述通风管路的气流流量。
[0014]一个实施例中，还包括压力检测件，所述压力检测件设置于所述腔室空间，用于感测并获取所述检测设备的内部气压信息；
[0015]和/或所述吹扫支路向所述预设功能区通入气流的压力被设置成大于所述送风支路向所述腔室空间通入气流的压力。
[0016]一个实施例中，还包括送风设备，所述送风设备包括气流驱动件和温度调控件；所述气流驱动件与所述通风管路连通设置，用以向所述通风管路提供气流；所述温度调控件设置于所述气流驱动件的出气端，用以调控气流温度。
[0017]一个实施例中，还包括温度检测件，所述温度检测件设置于所述腔室空间，用于感测并获取所述检测设备内部的环境温度信息；所述温度调控件与所述温度检测件电连接设置，所述温度调控件被设置成：根据所述温度检测件获取的环境温度信息调控气流温度。
[0018]一个实施例中，所述温度调控件包括换热组件和补偿组件，所述温度检测件与所述换热组件和/或所述补偿组件电连接设置；其中，所述换热组件用于与所述气流驱动件输出的气流进行热交换，以调节气流温度；所述补偿组件与所述换热组件配合，用于加热流经的气流，以使气流的温度保持在预设温度范围内。
[0019]依据上述实施例的一种检测系统，包括检测设备和通风管路，检测设备具有一个或多个腔室空间，至少一个腔室空间具有预设功能区，通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中，送风支路与腔室空间连通设置，用于向腔室空间通入气流；吹扫支路延伸连通至预设功能区，用于向预设功能区通入气流。
[0020]一方面，利用送风支路提供的气流对设备的内部空间进行大面积的气浴，在使得设备内部维持正压的同时，保证设备内部空间环境具有较高的洁净度；同时，借助吹扫支路对设备内部的特定区域进行针对性地气流吹扫，可有效防止悬浮颗粒等污染物对待检对象、光学元件及检测光路造成污染，从而为保证或提高检测效果创造有利条件。
[0021]另一方面，借助温度检测件与送风设备的配合，可通过采集设备内部的环境温度信息，对送风设备及通风管路所提供的气流温度进行实时或适时调控，以确保设备内部的温度能够保持在预设温度范围内，从而可有效避免设备内部器件（例如光学元件等）因受到温度变化的影响而发生相对位置、结构或性能的改变，有利于提高检测精度和检测结果的准确性。
附图说明
[0022]图1为一种实施例的检测系统的外轮廓结构参考示意图。
[0023]图2为一种实施例的检测系统中腔室空间的空间分布示意图。
[0024]图3为一种实施例的检测系统中的管路布置示意图。
[0025]图4为一种实施例的检测系统的控制原理示意图。
[0026]图5为一种实施例的检测系统在左视视角下核心区的抽排结构示意图。
[0027]图6为一种实施例的检测系统在俯视视角下核心区的吹扫结构示意图。
[0028]图中：
[0029]10、检测设备；10a、核心区；10b、光机区；10c、前端腔室；10d、检测腔室；11、承载装置；12、检测装置；20、通风管路；21、送风支路；22、吹扫支路；30、送风设备；31、气流驱动件；32、温度调控件；32a、换热组件；32b、补偿组件；32c、温控主机；40、抽排设备；50、温度检测
件；60、过滤组件；70、阀门组件。
具体实施方式
[0030]下面通过具体实施方式结合附图对本技术作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。
[0031]另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。
[0032]本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，其特征在于，包括检测设备和通风管路，所述检测设备具有一个或多个腔室空间，至少一个所述腔室空间具有预设功能区，所述通风管路具有用于连通送风设备的送风支路和吹扫支路；其中：所述送风支路与所述腔室空间连通设置，用于向所述腔室空间通入气流，以维持所述检测设备的内部气压大于所述检测设备的外部气压；所述吹扫支路延伸连通至所述预设功能区，用于向所述预设功能区通入气流，以对所述预设功能区进行吹扫清洁。2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述送风支路的数量设置为多条，每个所述腔室空间均对应连通有至少一条所述送风支路。3.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述腔室空间具有进风口和出风口，所述出风口设置于所述腔室空间的底部和/或侧壁；所述进风口设置于所述腔室空间的顶部，用以连通所述送风支路。4.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述预设功能区的数量设置为多个，每个所述预设功能区均对应连通有至少一条所述吹扫支路。5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，多个所述预设功能区中包括核心区和/或光机区，所述核心区设有用于承载待检对象的承载装置，所述光机区设有用于对待检对象进行光学检测的检测装置。6.如权利要求5所述的检测系统，其特征在于，还包括抽排设备、过滤组件和阀门组件中的至少一者；其中：所述抽排设备与所述核心区连通设置，用以至少将所述核心区的气流抽排至所述检测设备的外部；所述过滤组件与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨乐，王先炉，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：