用于从废液中移除异丙醇的系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种用于从废液中移除异丙醇的系统，包括一旋转填料式气液接触反应装置以及一臭氧产生装置。旋转填料式气液接触反应装置包括一反应腔体、一旋转部件、一触媒填充层及一液体分布器。旋转部件设置于反应腔体内以绕一转轴转动，且旋转部件具有第一设置区及位于第一设置区的至少一侧的第二设置区。触媒填充层位于第二设置区，液体分布器包括一位于第一设置区的分液管，分液管连通于反应腔体的液体入口，且具有多个朝向触媒填充层布置的出液孔。臭氧产生装置连通于反应腔体的气体入口。因此，反应器体积得以缩小，而且系统的能耗较低。较低。较低。

【技术实现步骤摘要】
用于从废液中移除异丙醇的系统


[0001]本技术涉及一种用于处理废液的系统，特别涉及一种用于从废液中移除异丙醇的系统，其在触媒高级氧化和高转速反应床技术的联合作用下将液体中的异丙醇氧化分解并进一步矿化。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，晶圆的清洗需使用大量的异丙醇(Isopropanol,IPA)，因而衍生出含异丙醇的清洗废液的处理问题。现有技术中一种常用处理技术，是先将含异丙醇废液导入气体吹脱设备，以将液相中的异丙醇吹脱至气相，再将含异丙醇的气体导入高温触媒燃烧设备，以将该气体分解成无害气体后排放至大气。然而，此种处理技术需要使用大量的气体(气液比>1300)，加上高温触媒燃烧设备耗费大量的热能，导致整体操作成本相当可观。
[0003]现有技术中另一种常用处理技术，是将含异丙醇废液导入传统的触媒反应器，搭配臭氧以提高异丙醇的去除率。然而，传统的触媒反应器其质传效能较差且臭氧利用率低，虽然可以通过增大反应器体积与使用更多的触媒材料得到改善，但相对也会增加设备的建置费用和运行成本。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术的不足，将触媒高级氧化技术应用于高转速反应床装置以提高含异丙醇废液的处理效能，并且在从废液中移除异丙醇的同时还能够降低能耗。
[0005]为了解决上述的技术问题，本技术所采用的其中一技术方案是提供一种用于从废液中移除异丙醇的系统，其包括一旋转填料式气液接触反应装置以及一臭氧产生装置。所述旋转填料式气液接触反应装置包括一反应腔体、一旋转部件、一触媒填充层及一液体分布器；所述反应腔体具有一液体入口及一气体入口；所述旋转部件设置于所述反应腔体内以绕一转轴转动，其中所述旋转部件具有第一设置区及位于所述第一设置区的至少一侧的第二设置区；所述触媒填充层位于所述第二设置区；所述液体分布器包括一位于所述第一设置区的分液管，所述分液管连通于所述液体入口，且具有多个朝向所述触媒填充层布置的出液孔。所述臭氧产生装置连通于所述气体入口。
[0006]在本技术的实施例中，所述的系统还包括一投药装置，而所述反应腔体的所述液体入口连通于一液体输入管路以接收含异丙醇废液，且所述投药装置连通于所述液体输入管路，以向所述含异丙醇废液投加一水处理药剂。
[0007]在本技术的实施例中，所述水处理药剂为亚硫酸纳、硫代硫酸钠及双氧水中的至少一种。另外，所述含异丙醇废液具有一初始氧化还原电位，且所述含异丙醇废液经投加所述水处理药剂后的一氧化还原电位高于或低于所述初始氧化还原电位100mV至200mV。
[0008]在本技术的实施例中，所述的系统还包括一检测装置，用以检测所述含异丙醇废液的氧化还原电位变化。所述反应腔体还具有一液体出口，其连通于一排放管路，且所
述排放管路上设有所述检测装置。
[0009]在本技术的实施例中，所述的系统还包括另一检测装置，其设于所述液体输入管路上，以监测所述含异丙醇废液的所述初始氧化还原电位。
[0010]在本技术的实施例中，所述的系统还包括一排放液暂存桶，且所述排放管路连接至所述排放液暂存桶。
[0011]在本技术的实施例中，所述的系统还包括一臭氧破坏装置，其通过一气体管路连通于所述排放液暂存桶。
[0012]在本技术的实施例中，所述触媒填充层包含一以氢氧化铁为基底的触媒材料，且所述触媒材料以圆柱状粒子的形式存在。
[0013]在本技术的实施例中，所述触媒材料的BET表面积为1m2/g
‑
20m2/g且比重为1.1g/cm3‑
1.5g/cm3。
[0014]在本技术的实施例中，所述旋转填料式气液接触反应装置还包括一加热器，其经设置以对所述反应腔体进行加热。
[0015]本技术的其中一有益效果在于，本技术所提供的用于从废液中移除异丙醇的系统，其能通过包括“所述旋转部件设置于所述反应腔体内以绕一转轴转动，其中所述旋转部件具有第一设置区及位于所述第一设置区的至少一侧的第二设置区”及“所述触媒填充层位于所述第二设置区”及“所述液体分布器包括一位于所述第一设置区的分液管，所述分液管连通于所述液体入口，且具有多个朝向所述触媒填充层布置的出液孔”及“所述臭氧产生装置连通于所述气体入口”的技术方案，以维持在高质传效率下将液体中的异丙醇分解为有机小分子物质或二氧化碳，大大缩减了废液的处理时间，并且在此基础上，反应器体积得以缩小，而且系统的能耗较低。
[0016]为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本技术加以限制。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例的用于从废液中移除异丙醇的系统的其中一配置图；
[0018]图2为本技术的旋转填料式气液接触反应装置的结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例的用于从废液中移除异丙醇的系统的另外一配置图。
具体实施方式
[0020]以下是通过特定的具体实施例来说明本技术所公开有关“用于从废液中移除异丙醇的系统”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果。本技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0021]在没有另行定义的情况下，本文中所使用的术语具有与本领域技术人员的通常理解相同的含义。各实施例中所涉及的操作或仪器，如无特别说明则为本领域常规的操作或仪器。
[0022]本技术的构想是：在高离心力(大于100倍重力场)的作用下将含异丙醇废液连续导入存在有固相触媒(例如触媒填充层)的反应区与臭氧气体接触，以维持在高质传效率下将液体中的异丙醇氧化为有机小分子物质或二氧化碳。
[0023]参阅图1所示，本技术的构想具体体现于一种用于从废液中移除异丙醇的系统Z，其主要包括一旋转填料式气液接触反应装置1以及一臭氧产生装置2，且臭氧产生装置2连通于旋转填料式气液接触反应装置1。实际应用时，臭氧产生装置2可以提供臭氧至旋转填料式气液接触反应装置1，旋转填料式气液接触反应装置1可以接收待处理的含异丙醇废液，并产生一离心力场使得液体以极薄的液膜或微小的液滴存在，从而降低气液两相间的边界层厚度并且提高气液接触面积。如此操作，不仅可以维持在高质传效率下将液体中的异丙醇氧化，大大提高了废液的处理效能，还可以达到缩小反应器体积、降低系统的能耗等有益效果。并且在此基础上，可以显著节约设备的购置和维护成本、系统运行成本。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于从废液中移除异丙醇的系统，其特征在于，所述用于从废液中移除异丙醇的系统包括：一旋转填料式气液接触反应装置，包括：一反应腔体，具有一液体入口及一气体入口；一旋转部件，设置于所述反应腔体内以绕一转轴转动，其中所述旋转部件具有第一设置区及位于所述第一设置区的至少一侧的第二设置区；一触媒填充层，位于所述第二设置区；及一液体分布器，包括一位于所述第一设置区的分液管，所述分液管连通于所述液体入口，且具有多个朝向所述触媒填充层布置的出液孔；以及一臭氧产生装置，连通于所述气体入口。2.根据权利要求1所述的用于从废液中移除异丙醇的系统，其特征在于，所述用于从废液中移除异丙醇的系统还包括一投药装置，其中所述反应腔体的所述液体入口连通于一液体输入管路以接收含异丙醇废液，且所述投药装置连通于所述液体输入管路，以向所述含异丙醇废液投加一水处理药剂。3.根据权利要求2所述的用于从废液中移除异丙醇的系统，其特征在于，所述水处理药剂为亚硫酸纳、硫代硫酸钠及双氧水中的至少一种；所述含异丙醇废液具有一初始氧化还原电位，且所述含异丙醇废液经投加所述水处理药剂后的一氧化还原电位高于或低于所述初始氧化还原电位100mV至200mV。4.根据权利要求3所述的用于从废液中移除异丙醇的系统，其特征在于，所述用于从废液中移除异丙醇的系统还包括一检测装置，用以检测所...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢奇旭，唐子杰，谭发祥，
申请(专利权)人：苏州崇越工程有限公司，
类型：新型
国别省市：