卡罗酸废水处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种卡罗酸废水处理系统，其是用于处理含卡罗酸的一废水。卡罗酸废水处理系统包括：一预热装置、一微波催化装置及一碱式洗涤装置。预热装置具有一废水输入端以及一预热液输出端。微波催化装置与预热装置流体连通，微波催化装置是用于处理废水。微波催化装置具有一触媒固定床及一微波产生器。碱式洗涤装置与微波催化装置的一气体产物排放端流体连通。体连通。体连通。

Karolic acid wastewater treatment system

【技术实现步骤摘要】
卡罗酸废水处理系统


[0001]本技术涉及一种废水处理系统，特别是涉及一种卡罗酸废水处理系统。

技术介绍

[0002]卡罗酸又称为过氧一硫酸(H2SO5)，主要是由高浓度的硫酸(H2SO4)以及过氧化氢水溶液(H2O2)混合产生。卡罗酸是一种氧化性极高的无机酸，经常应用于氧化氰化物、蚀刻、脱色或除臭的工艺中。
[0003]举例来说，在半导体的曝光显影过程中，卡罗酸经常用于清除晶圆表面的光阻(光刻胶)残留物。在高温环境下，卡罗酸的强氧化性及脱水性可快速破坏有机物的碳氢键结，并将有机物分解为二氧化碳，以达到去除晶圆表面上的有机物的效果。
[0004]然而，使用后的卡罗酸废液，仍具有相当高的酸度及氧化性，若未妥善处理，具有极高的危险性。举例来说，卡罗酸若不慎与醚或酮类混合，会产生容易爆炸的危险物质(例如：过氧丙酮)。
[0005]现有技术中提供一种卡罗酸废水处理系统，其控制一加热器的温度为120 ℃至150℃，通过高温环境来达到分解卡罗酸的效果。然而，在此系统中，维持高温环境的耗能较高，且高温下容易发生连锁反应，会有系统温度失控的风险。
[0006]现有技术中提供另一种卡罗酸废水处理系统，其是于反应槽内添加催化剂(氧化锰、氧化铁)或还原剂(亚硫酸氢钠)，以将卡罗酸分解为硫酸铁溶液或硫酸钠溶液。然而，一般催化剂容易受腐蚀，一旦受腐蚀，会导致大量杂质(例如：锰或铁离子)析出。并且，添加催化剂或还原剂的成本较高。
[0007]因此，如何通过系统的改良，改善处理卡罗酸废水时产生的不便性，来克服上述的缺陷，已成为该项事业所欲解决的重要课题之一。

技术实现思路

[0008]本技术所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种卡罗酸废水处理系统。
[0009]为了解决上述的技术问题，本技术所采用的其中一技术方案是提供一种卡罗酸废水处理系统。卡罗酸废水处理系统是用于处理含卡罗酸的一废水。卡罗酸废水处理系统包括：一预热装置、一微波催化装置及一碱式洗涤装置。预热装置具有一废水输入端以及一预热液输出端。微波催化装置与预热装置流体连通，微波催化装置是用于处理废水。微波催化装置具有一触媒固定床及一微波产生器。碱式洗涤装置与微波催化装置的一气体产物排放端流体连通。
[0010]更进一步地，卡罗酸废水处理系统进一步包括：一处理液收集槽，处理液收集槽与微波催化装置的一处理液排放端流体连通。
[0011]更进一步地，预热装置具有一热交换管件、一高温液接收端与一低温液排放端，热交换管件流体连通于高温液接收端与低温液排放端之间，高温液接收端与微波催化装置的
一处理液排放端流体连通。
[0012]更进一步地，卡罗酸废水处理系统进一步包括：一处理液收集槽，处理液收集槽与预热装置的低温液排放端流体连通。
[0013]更进一步地，微波产生器面对触媒固定床。
[0014]更进一步地，微波产生器环绕触媒固定床。
[0015]更进一步地，微波产生器通过一微波导波管与触媒固定床连通。
[0016]更进一步地，触媒固定床内填充有一触媒，触媒的体积填充量是触媒固定床的总体积的1/3至1/2。
[0017]更进一步地，触媒的平均粒径是1毫米至5毫米，所述触媒是表面披覆有铂金属触媒的陶瓷颗粒球、高密度球型活性炭触媒、碳化硅颗粒球或其组合物。
[0018]更进一步地，微波催化装置是一直立式微波催化装置，微波催化装置具有一预热液接收端、一处理液排放端与一气体产物排放端，预热液接收端位于微波催化装置的一底端，处理液排放端与气体产物排放端位于微波催化装置的一顶端。
[0019]本技术的其中一有益效果在于，本技术所提供的卡罗酸废水处理系统，其能通过“预热装置具有一废水输入端以及一预热液输出端”以及“微波催化装置具有一触媒固定床及一微波产生器”的技术方案，以达到处理废水的效果。在整体处理过程中，卡罗酸分解产生的过氧化氢可作为氧化剂，经由微波的诱导，过氧化氢可于触媒表面产生具强氧化力的自由基。并且，在自由基及触媒的协同作用下，废水中的卡罗酸可被分解，进而产生硫酸、氧气与水，以达到分解废水中卡罗酸的效果。
[0020]为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本技术加以限制。
附图说明
[0021]图1为本技术第一实施例的卡罗酸废水处理系统的示意图。
[0022]图2为本技术微波催化装置的剖视示意图。
[0023]图3为本技术第二实施例的卡罗酸废水处理系统的示意图。
具体实施方式
[0024]以下是通过特定的具体实例来说明本技术所公开有关“卡罗酸废水处理系统”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果。本技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0025]本技术的卡罗酸废水处理系统可在较低的温度(80℃至120℃) 下进行，而具有较低的能耗。在处理的过程中，不需另外添加催化剂或还原剂，故不会有杂质产生。
[0026]本技术分解卡罗酸的机制包括：(1)施加微波诱导自由基产生，并在自由基与触媒的协同作用下分解卡罗酸；以及(2)施加微波加热卡罗酸，以进行热分解。具体来说，本技术的卡罗酸废水处理系统可将卡罗酸分解成硫酸、氧气及水。
[0027][第一实施例][0028]请参阅图1所示，本技术第一实施例提供一种卡罗酸废水处理系统，其包括：一预热装置1、一微波催化装置2、一碱式洗涤装置3以及一处理液收集槽4。
[0029]预热装置1是用于预热废水，以便后续对废水进行处理。微波催化装置 2与预热装置1流体连通，微波催化装置2是用于分解废水中的卡罗酸，以形成一处理液，关于卡罗酸的具体分解方式，将于后叙述。碱式洗涤装置3 与微波催化装置2流体连通，碱式洗涤装置3是用于中和与洗涤，以去除微波催化装置2产生的一气体产物中的酸性气体(三氧化硫)。处理液收集槽 4与微波催化装置2流体连通，处理液收集槽4是用于收集微波催化装置2 产生的处理液。
[0030]于一示范实施例中，预热装置1具有一废水输入端11及一预热液输出端 12。废水输入端11经配置以将废水引入预热装置1，本技术所指的废水包含卡罗酸。举例来说，半导体晶圆清洗工艺产生的废水中包括浓度为40wt％至80wt％的卡罗酸。预热液输出端12经配置以排出加热后的废水。预热装置1可以将废水加热至60℃至70本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卡罗酸废水处理系统，其特征在于，所述卡罗酸废水处理系统是用于处理含卡罗酸的一废水，所述卡罗酸废水处理系统包括：一预热装置，所述预热装置具有一废水输入端以及一预热液输出端；一微波催化装置，所述微波催化装置与所述预热装置流体连通，所述微波催化装置是用于处理所述废水；其中，所述微波催化装置具有一触媒固定床及一微波产生器；以及一碱式洗涤装置，所述碱式洗涤装置与所述微波催化装置的一气体产物排放端流体连通。2.根据权利要求1所述的卡罗酸废水处理系统，其特征在于，所述卡罗酸废水处理系统还进一步包括：一处理液收集槽，所述处理液收集槽与所述微波催化装置的一处理液排放端流体连通。3.根据权利要求1所述的卡罗酸废水处理系统，其特征在于，所述预热装置具有一热交换管件、一高温液接收端与一低温液排放端，所述热交换管件流体连通于所述高温液接收端与所述低温液排放端之间；其中，所述高温液接收端与所述微波催化装置的一处理液排放端流体连通。4.根据权利要求3所述的卡罗酸废水处理系统，其特征在于，所述卡罗酸废水处理系统还进...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨东昱，谭发祥，
申请(专利权)人：苏州崇越工程有限公司，
类型：新型
国别省市：