硅片吸取组件和转运设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种硅片吸取组件和转运设备。硅片吸取组件包括：连接座；多个吸盘，吸盘用于吸附硅片，多个吸盘沿第一方向间隔排列设置在连接座上，以在相邻两个吸盘之间形成用于容置硅片的吸附空间，吸盘具有相互独立的负压通路和正压通路，且吸盘朝向吸附空间的至少一侧表面上具有吸附区和反吹区，负压通路与吸附区连通以产生用于吸附硅片的负压力，正压通路与反吹区连通产生用于反吹硅片的正压力。本实用新型专利技术解决了现有技术中转运设备存在硅片不易与吸盘脱离的问题。片不易与吸盘脱离的问题。片不易与吸盘脱离的问题。

【技术实现步骤摘要】
硅片吸取组件和转运设备


[0001]本技术涉及硅片转运设备
，具体而言，涉及一种硅片吸取组件和转运设备。

技术介绍

[0002]在太阳能电池的生产过程中，需要通过花篮使硅片在多个工序之间流转，而在PECVD(等离子体增强化学气相沉积方法)镀膜工序中，需要转运设备将缓存花篮中的硅片取出后转运至石墨舟的舟叶内，并与石墨舟卡点配合。但是在转运至石墨舟的过程中，硅片不易与转运设备的吸盘脱离，导致硅片不会迅速与舟叶贴合，容易出现将硅片划伤、掉片等现象。
[0003]此外，随着硅片生产工艺技术的提高，硅片向着越来越薄的方向发展，就导致硅片在转运的过程中容易碎片。
[0004]也就是说，现有技术中转运设备存在硅片不易与吸盘脱离的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种硅片吸取组件和转运设备，以解决现有技术中转运设备存在硅片不易与吸盘脱离的问题。
[0006]为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种硅片吸取组件，包括：连接座；多个吸盘，吸盘用于吸附硅片，多个吸盘沿第一方向间隔排列设置在连接座上，以在相邻两个吸盘之间形成用于容置硅片的吸附空间，吸盘具有相互独立的负压通路和正压通路，且吸盘朝向吸附空间的至少一侧表面上具有吸附区和反吹区，负压通路与吸附区连通以产生用于吸附硅片的负压力，正压通路与反吹区连通产生用于反吹硅片的正压力。
[0007]进一步地，反吹区绕吸附区的外周设置；或者吸附区绕反吹区的外周设置。
[0008]进一步地，吸附区和反吹区均为多个，且多个吸附区和多个反吹区两两一组成对设置以形成多个操作区域，且吸盘的同一侧表面上设置有多个操作区域。
[0009]进一步地，吸盘包括：盘体，盘体与连接座连接，负压通路和正压通路的至少一部分位于盘体内；多个吸附件，吸附件可拆卸地设置在吸附区内，吸附件具有吸附孔，吸附孔与负压通路连通。
[0010]进一步地，吸附孔为多个，多个吸附孔间隔设置。
[0011]进一步地，盘体包括：本体，本体具有多个通孔，多个通孔间隔设置，通孔所在的区域作为吸附区，通孔以外的区域作为反吹区；安装组件，安装组件设置在通孔的区域内并与通孔的孔壁连接，各通孔内设置有至少一个安装组件，安装组件与吸附件对应连接。
[0012]进一步地，通孔为长条孔，至少两个安装组件沿长条孔的延伸方向间隔设置。
[0013]进一步地，吸附件包括：吸附部，吸附部具有吸附孔；多个连接凸耳，多个连接凸耳绕吸附部的周向间隔设置，吸附部的厚度大于连接凸耳的厚度，连接凸耳与安装组件对应连接。
[0014]进一步地，吸盘还包括连接管，吸附部具有腔体和与腔体连通的安装孔，吸附孔与腔体连通，连接管用于连通负压通路和腔体。
[0015]进一步地，连接座包括：座体，座体的一侧表面具有多个依次排布的连接位，多个吸盘一一对应连接在连接位处，座体上具有相互独立的抽气管路和送气管路；多个吸附气管，吸附气管设置在座体上，吸附气管的一端与负压通路连接，吸附气管的另一端与抽气管路连接；多个反吹气管，反吹气管设置在座体上，反吹气管的一端与正压通路连接，反吹气管的另一端与送气管路连接。
[0016]根据本技术的另一方面，提供了一种转运设备，包括上述的硅片吸取组件。
[0017]应用本技术的技术方案，硅片吸取组件包括连接座和吸盘，吸盘具有相互独立的负压通路和正压通路，吸盘朝向吸附空间的至少一侧表面上具有吸附区和反吹区，负压通路与吸附区连通以产生用于吸附硅片的负压力，正压通路与反吹区连通产生用于反吹硅片的正压力。如此，吸盘上的吸附区用于吸附硅片，以使硅片吸取组件带动硅片运动实现转运。吸盘上的反吹区用于反吹硅片，使硅片能够快速脱离吸盘，使硅片与石墨舟的舟叶快速贴合，减少了硅片掉落的风险。同时在反吹区对硅片吹正压气体的过程中，减少了硅片在吸盘上滑动的情况，进而减少了对硅片划伤的风险。与此同时吸附区中设置有多个吸附孔，有效增大了对硅片的吸附面积，增加了吸附力，从而可以减少掉片的情况，增加了转运效率，减少了暂停工序进行人工补片的情况，从而提高了生产效率。
[0018]此外，本申请还提供了一种转运设备，转运设备包括上述及下述的硅片吸取组件。具有上述及下述的硅片吸取组件的转运设备具有快速吸附的优点，同时硅片能够快速与转运设备脱离，具有转运效率高的优点。
附图说明
[0019]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0020]图1示出了本技术的一个可选实施例转运设备工作状态示意图；
[0021]图2示出了图1中吸盘的整体结构示意图；
[0022]图3示出了图2中盘体的一个角度的视图；
[0023]图4示出了图2中盘体的另一个角度的视图；
[0024]图5示出了图2中吸附件的一个角度的视图；
[0025]图6示出了图2中吸附件的另一个角度的视图；
[0026]图7示出了图2中吸附件的另一个角度的视图；
[0027]图8示出了图1中硅片吸取组件的结构示意图；
[0028]图9示出了图1中吸盘伸入到石墨舟中的状态图。
[0029]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0030]10、连接座；11、座体；12、抽气管路；13、送气管路；14、吸附气管；15、反吹气管；20、吸盘；21、负压通路；211、负压主路段；212、负压辅助路段；213、负压气管接头；22、正压通路；221、正压主路段；222、正压辅助路段；223、正压接头；23、吸附区；24、反吹区；241、正压孔；25、盘体；251、本体；252、通孔；253、安装组件；254、安装凸耳；255、第一连接孔；26、吸附
件；261、吸附孔；262、吸附部；263、连接凸耳；264、安装孔；265、第二连接孔；27、连接管；28、固定孔；30、硅片；40、石墨舟；41、卡点；42、舟叶；50、机器人；60、缓存花篮；70、连接件。
具体实施方式
[0031]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0032]需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0033]在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。
[0034]为了解决现有技术中转运设备存在硅片不易与吸盘脱离的问题，本技术提供了一种硅片吸取组件和转运设备。
[0035]在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片吸取组件，其特征在于，包括：连接座(10)；多个吸盘(20)，所述吸盘(20)用于吸附硅片(30)，多个所述吸盘(20)沿第一方向间隔排列设置在所述连接座(10)上，以在相邻两个所述吸盘(20)之间形成用于容置硅片(30)的吸附空间，所述吸盘(20)具有相互独立的负压通路(21)和正压通路(22)，且所述吸盘(20)朝向所述吸附空间的至少一侧表面上具有吸附区(23)和反吹区(24)，所述负压通路(21)与所述吸附区(23)连通以产生用于吸附所述硅片(30)的负压力，所述正压通路(22)与所述反吹区(24)连通产生用于反吹所述硅片(30)的正压力。2.根据权利要求1所述的硅片吸取组件，其特征在于，所述反吹区(24)绕所述吸附区(23)的外周设置；或者所述吸附区(23)绕所述反吹区(24)的外周设置。3.根据权利要求1所述的硅片吸取组件，其特征在于，所述吸附区(23)和所述反吹区(24)均为多个，且多个所述吸附区(23)和多个所述反吹区(24)两两一组成对设置以形成多个操作区域，且所述吸盘(20)的同一侧表面上设置有多个所述操作区域。4.根据权利要求1所述的硅片吸取组件，其特征在于，所述吸盘(20)包括：盘体(25)，所述盘体(25)与所述连接座(10)连接，所述负压通路(21)和所述正压通路(22)的至少一部分位于所述盘体(25)内；多个吸附件(26)，所述吸附件(26)可拆卸地设置在所述吸附区(23)内，所述吸附件(26)具有吸附孔(261)，所述吸附孔(261)与所述负压通路(21)连通。5.根据权利要求4所述的硅片吸取组件，其特征在于，所述吸附孔(261)为多个，多个所述吸附孔(261)间隔设置。6.根据权利要求4所述的硅片吸取组件，其特征在于，所述盘体(25)包括：本体(251)，所述本体(251)具有多个通孔(252)，多个所述通孔(252)间隔设置，所述通孔(252)所在的区域作为所述吸附区(23)，所述通孔(252)以外的区域作为所述反吹...

【专利技术属性】
技术研发人员：周友成，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：