一种无尘多功能操作箱制造技术

本实用新型专利技术属于半导体焊接操作箱领域，具体涉及一种无尘多功能操作箱；该操作箱包括：防静电箱体、汽缸、操作窗、升降柱、工作台面、支撑柱、泄压口、氮气接口、真空接口、压缩空气接口和传递窗；气缸设置在防静电箱体四周底角上，操作窗设置在防静电箱体正面中间位置，泄压口设置在防静电箱体顶部，传递窗设置在防静电箱体侧面；工作台面设置在支撑柱上，升降柱连接设置在工作台面和防静电箱体之间；氮气接口、真空接口和压缩空气接口均设置在工作台面上；本发明专利技术可避免半导体焊接工艺过程中元器件的污染问题，同时便于清理和维修操作面，从而全面提高器件可靠性。全面提高器件可靠性。全面提高器件可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种无尘多功能操作箱


[0001]本技术属于半导体焊接操作箱领域，具体涉及一种无尘多功能操作箱。

技术介绍

[0002]半导体领域的焊接工艺中，虽然焊接操作是在清洁区域进行的，但人员通行等行为仍将引起气流扰动，带入粉尘，并产生静电，附着在器件表面，极大降低器件可靠性。此外，焊接过程中也将带入新的杂质颗粒，产生污染，严重威胁元器件的质量。
[0003]因此，焊接过程中需要有效保证半导体器件的气密性封装，并及时处理新产生的粉尘，以确保器件不被污染。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术提出了一种无尘多功能操作箱，该操作箱包括：防静电箱体、汽缸、操作窗、升降柱、工作台面、支撑柱、泄压口、氮气接口、真空接口、压缩空气接口和传递窗；气缸设置在防静电箱体四周底角上，操作窗设置在防静电箱体正面中间位置，泄压口设置在防静电箱体顶部，传递窗设置在防静电箱体侧面；工作台面设置在支撑柱上，升降柱连接设置在工作台面和防静电箱体之间；氮气接口、真空接口和压缩空气接口均设置在工作台面上。
[0005]优选的，所述防静电箱体的材质为防静电有机玻璃板。
[0006]优选的，所述防静电箱体无底板，箱体四周底部安装有密封条。
[0007]优选的，所述操作窗包括操作圆孔和防静电橡胶手套，防静电橡胶手套密封设置在操作圆孔上。
[0008]优选的，所述工作台面为不锈钢材质。
[0009]优选的，所述工作台面中部设有长方体突起。
[0010]优选的，无尘多功能操作箱还包括氮气吹嘴和真空吸笔，氮气吹嘴连接氮气接口，真空吸笔连接真空接口。
[0011]进一步的，氮气吹嘴和真空吸笔上均设置有流量调节阀和泄压阀。
[0012]本技术的有益效果为：本专利技术为焊接操作工艺提供了有效的洁净环境，避免半导体焊接工艺过程中元器件的污染问题；操作面集成了真空吸笔与氮气吹扫口，替换镊子夹取器件，防止器件损伤，并实时清除焊接带来的杂质；采用可升降箱体的设计，便于清理和维修操作面，从而全面提高器件可靠性。
附图说明
[0013]图1是本技术的无尘多功能操作箱结构示意图；
[0014]图2是本技术的防静电箱体侧视图；
[0015]图中：1、防静电箱体；2、汽缸；3、操作窗；4、升降柱；5、工作台面；6、支撑柱；7、泄压口；8、氮气接口；9、真空接口；10、压缩空气接口；11、传递窗。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]本技术提出了一种无尘多功能操作箱，如图1所示，所述操作箱包括：防静电箱体1、汽缸2、操作窗3、升降柱4、工作台面5、支撑柱6、泄压口7、氮气接口8、真空接口9、压缩空气接口10和传递窗11；气缸2设置在防静电箱体1四周底角上，操作窗3设置在防静电箱体1正面中间位置，泄压口7设置在防静电箱体1顶部，传递窗11设置在防静电箱体1侧面；工作台面5设置在支撑柱6上，升降柱4连接设置在工作台面5和防静电箱体1之间；氮气接口8、真空接口9和压缩空气接口10均设置在工作台面5上。
[0018]如图2所示，传递窗用于内部物料更换操作，面积为80
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80mm2。防静电箱体的材质为防静电有机玻璃板。防静电箱体无底板，箱体四周底部安装有密封条。采用气缸使升降柱伸缩，从未实现箱体的上下垂直移动，气缸具有断电、断气锁定安全保护功能；工作时，利用气缸使升降柱收缩，箱体接触工作台面，采用箱体四周底部密封条密封箱体与工作台面，不工作时，可利用气缸使升降柱伸直，方便清理工作台面。
[0019]操作窗包括操作圆孔和防静电橡胶手套，防静电橡胶手套密封设置在操作圆孔上，操作人员可通过防静电橡胶手套对半导体进行焊接操作。
[0020]优选的，工作台面为不锈钢材质，其中部设有长方体突起，操作人员可在长方体突起上进行焊接操作。
[0021]压缩空气作为气体洁净新风的来源，工作时，向防静电箱体内注入清洁后的压缩空气，保持箱体内正压，防静电箱体顶部的泄压阀可防止箱体内气压过大。
[0022]优选的，无尘多功能操作箱还包括氮气吹嘴和真空吸笔，氮气吹嘴连接氮气接口，真空吸笔连接真空接口；氮气吹嘴和真空吸笔上均设置有流量调节阀和泄压阀，以控制流速与压力。
[0023]本技术设计的无尘多功能操作箱通过注入洁净后的压缩空气，保持操作箱内的气体正压要求与颗粒度要求；通过氮气喷嘴二次吹扫，立刻带走焊接过程产生的杂质；通过选用透明的防静电箱体，避免颗粒与箱体摩擦产生静电；通过内置真空吸笔与操作窗，在多功能操作箱内进行焊接操作，避免使用镊子损伤器件；防静电箱体底部连接配置有可升降的升降柱，保证箱体可以上下移动，便于维修与清理。
[0024]以上所举实施例，对本技术的目的、技术方案和优点进行了进一步的详细说明，所应理解的是，以上所举实施例仅为本技术的优选实施方式而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内对本技术所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无尘多功能操作箱，其特征在于，包括：防静电箱体、汽缸、操作窗、升降柱、工作台面、支撑柱、泄压口、氮气接口、真空接口、压缩空气接口和传递窗；气缸设置在防静电箱体四周底角上，操作窗设置在防静电箱体正面中间位置，泄压口设置在防静电箱体顶部，传递窗设置在防静电箱体侧面；工作台面设置在支撑柱上，升降柱连接设置在工作台面和防静电箱体之间；氮气接口、真空接口和压缩空气接口均设置在工作台面上。2.根据权利要求1所述的一种无尘多功能操作箱，其特征在于，所述防静电箱体的材质为防静电有机玻璃板。3.根据权利要求1所述的一种无尘多功能操作箱，其特征在于，所述防静电箱体无底板，箱体四周底部安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：张语哲，吴磊，彭斌，李炜，石涛，冯琛，
申请(专利权)人：中电科芯片技术集团有限公司，
类型：新型
国别省市：