阳极结构、电极结构及电镀系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种阳极结构，并公开了电极结构和电镀系统，其中阳极结构包括第一阳极件和第二阳极组件，第二阳极组件与第一阳极件沿第一方向排列设置，第二阳极组件包括至少两个第二阳极件，至少两个第二阳极件沿第二方向排列设置，其中，第一方向与第二方向交叉设置，如此，通过设置至少两个第二阳极件，能够调节待镀工件的不同位置的镀层厚度，使得待镀工件的镀层厚度均匀，阳极结构的结构简单，加工要求低，能够降低阳极结构的生产制造成本。能够降低阳极结构的生产制造成本。能够降低阳极结构的生产制造成本。

【技术实现步骤摘要】
阳极结构、电极结构及电镀系统


[0001]本技术涉及电镀
，特别涉及一种阳极结构、电极结构及电镀系统。

技术介绍

[0002]现有技术中，电镀时，待镀产品的镀层仍不均匀的现象。改善电镀不均匀的情况涉及到各种因素，如阳极的形状、阴阳极之间的距离和阴极极化作用等。设计各种各样阳极来改善电镀镀层不均的情况是行业中常见的一种做法，而为了实现更好的电镀效果，不少阳极形状结构复杂，加工要求高，导致阳极的制造成本高。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种阳极结构，结构简单，能够降低电极结构的制造成本。
[0004]本技术还提出一种具有上述阳极结构的电极结构。
[0005]本技术还提出一种具有上述电极结构的电镀系统。
[0006]根据本技术的第一方面实施例的阳极结构，包括第一阳极件和第二阳极组件，所述第二阳极组件与所述第一阳极件沿第一方向排列设置，所述第二阳极组件包括至少两个第二阳极件，至少两个所述第二阳极件沿第二方向排列设置，其中，所述第一方向与所述第二方向交叉设置。
[0007]根据本技术的第一方面实施例的阳极结构，至少具有如下有益效果：
[0008]待镀工件电镀时，待镀工件先经过第一阳极件，待镀工件的表面生成第一镀层，再沿第一方向经过第二阳极组件，待镀工件的表面生成第二镀层，第二镀层覆盖在第一镀层上，由于第一镀层存在不均匀现象，每个第二阳极件可单独调节电流大小，以调节至少两个第二阳极件在第二方向上的不同位置的镀层厚度，在第一镀层的厚度较薄的位置镀上较厚的第二镀层，在第一镀层的厚度较厚的位置镀上较薄的第二镀层，从而使得待镀工件的镀层均匀，阳极结构的结构简单，加工要求低，能够降低阳极结构的生产制造成本。
[0009]根据本技术的一些实施例,所述第一阳极件配置有至少两个，至少两个所述第一阳极件沿所述第一方向排列设置。
[0010]根据本技术的一些实施例,所述第二阳极组件配置有至少两组，至少两组所述第二阳极组件沿所述第一方向排列设置。
[0011]根据本技术的一些实施例,所述第一方向与所述第二方向垂直设置。
[0012]根据本技术的一些实施例,所述第一阳极件设有第一安装部，和/或所述第二阳极件设有第二安装部，所述第一安装部用于固定所述第一阳极件，所述第二安装部用于固定所述第二阳极件。
[0013]根据本技术的一些实施例,所述第一阳极件设有第一表面，所述第二阳极件设有第二表面，所述第一表面与所述第二表面位于同一平面；
[0014]其中，所述第一阳极件设有与所述第一表面相对设置的第三表面，所述第一表面
与所述第三表面为所述第一阳极件表面积最大的表面；
[0015]所述第二阳极件设有与所述第二表面相对设置的第四表面，所述第二表面与所述第四表面为所述第二阳极件表面积最大的表面。
[0016]根据本技术的一些实施例,所述第一阳极件和/或所述第二阳极件呈网格状。
[0017]根据本技术的一些实施例,所述第一阳极件和/或所述第二阳极件呈板状。
[0018]根据本技术的第二方面实施例的电极结构，包括至少一个阴极件和至少一个以上实施例所述的阳极结构，所述阴极件与所述阳极结构相对设置。
[0019]根据本技术的第二方面实施例的电极结构，至少具有如下有益效果：
[0020]阴极件电镀时，阴极件先经过第一阳极件，阴极件的表面生成第一镀层，再沿第一方向经过第二阳极组件，阴极件的表面生成第二镀层，第二镀层覆盖在第一镀层上，由于第一镀层存在不均匀现象，每个第二阳极件可单独调节电流大小，以调节至少两个第二阳极件在第二方向上的不同位置的镀层厚度，在第一镀层的厚度较薄的位置镀上较厚的第二镀层，在第一镀层的厚度较厚的位置镀上较薄的第二镀层，从而使得阴极件的镀层均匀，阳极结构的结构简单，加工要求低，能够降低阳极结构的生产制造成本。
[0021]根据本技术的一些实施例,所述阳极结构配置有两个，两个所述阳极结构相对设置，所述阴极件位于两个所述阳极结构之间。
[0022]根据本技术的第三方面实施例的电镀系统，包括电镀槽、调节结构及以上实施例所述的电极结构，其中所述电极结构中的阳极结构沿水平方向设在所述电镀槽内，所述阴极件沿水平方向设在所述电镀槽内，所述调节结构，用于调节所述阳极结构与所述阴极件之间的间距。
[0023]根据本技术的第三方面实施例的电镀系统，至少具有如下有益效果：
[0024]阴极件电镀时，阴极件先经过第一阳极件，阴极件的表面生成第一镀层，再沿第一方向经过第二阳极组件，阴极件的表面生成第二镀层，第二镀层覆盖在第一镀层上，由于第一镀层存在不均匀现象，每个第二阳极件可单独调节电流大小，以调节至少两个第二阳极件在第二方向上的不同位置的镀层厚度，在第一镀层的厚度较薄的位置镀上较厚的第二镀层，在第一镀层的厚度较厚的位置镀上较薄的第二镀层，从而使得阴极件的镀层均匀，阳极结构的结构简单，加工要求低，能够降低阳极结构的生产制造成本。
[0025]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0026]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0027]图1为本技术实施例的阳极结构的结构示意图；
[0028]图2为本技术实施例的阳极结构的俯视图；
[0029]图3为本技术实施例的电极结构的结构示意图。
[0030]附图标记：
[0031]第一阳极件100、第一安装部110、第一连接架120、第二阳极件200、第二安装部210、第二连接架220、阴极件300。
具体实施方式
[0032]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0033]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0034]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0035]本技术的描述中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阳极结构,其特征在于，包括：第一阳极件(100)；第二阳极组件，所述第二阳极组件与所述第一阳极件(100)沿第一方向排列设置，所述第二阳极组件包括至少两个第二阳极件(200)，至少两个所述第二阳极件(200)沿第二方向排列设置；其中，所述第一方向与所述第二方向交叉设置。2.根据权利要求1所述的阳极结构，其特征在于，所述第一阳极件(100)配置有至少两个，至少两个所述第一阳极件(100)沿所述第一方向排列设置。3.根据权利要求1所述的阳极结构，其特征在于，所述第二阳极组件配置有至少两组，至少两组所述第二阳极组件沿所述第一方向排列设置。4.根据权利要求1所述的阳极结构，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直设置。5.根据权利要求1所述的阳极结构，其特征在于，所述第一阳极件(100)设有第一安装部(110)，和/或所述第二阳极件(200)设有第二安装部(210)，所述第一安装部(110)用于固定所述第一阳极件(100)，所述第二安装部(210)用于固定所述第二阳极件(200)。6.根据权利要求1所述的阳极结构，其特征在于，所述第一阳极件(100)设有第一表面，所述第二阳极件(200)设有第二表面，所述第一表面与所述第二表面位于同一平面；其中，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷光才，龚庆，裴文龙，许应杰，陆健，陈海峰，张垚磊，黄波，钱江烽，
申请(专利权)人：江苏启威星装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：