循环式基板烧成炉制造技术

本发明专利技术提供一种减少热损失，并且能够获得稳定的烧成温度的循环式基板烧成炉。通过向炉体主体部（１０）内部吹出热风来进行玻璃基板（Ｗ）的烧成处理。从炉体主体部（１０）排出的热风通过循环扇（４０）在循环路径（２０）内循环，从用于分解有机物的催化剂过滤部（７０）经过吸附分解生成物的吸附塔（３０），在主加热器（５２）中被再次加热。从炉体主体部（１０）排出的热风直接流入到催化剂过滤部（７０）中，从而热风中所含有的有机物被分解，因此不需要用于加热催化剂的另外单独的加热器，就能够减少热损失。另外，炉体主体部（１０）内部的烧成温度能够仅通过控制主加热器（５２）来调整，因此容易控制温度，能够获得稳定的烧成温度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种循环式基板烧成炉，该循环式基板烧成炉一边使热风循环，一边 对液晶显示装置用玻璃基板、PDP(等离子体显示屏(plasma displaypanel))用玻璃基板 和半导体晶片等的薄板形状电子部件用基板(以下，简称"基板")进行烧成处理。
技术介绍
作为滤色片(color filter)的制造工序之一，有烧成玻璃基板的工序，该玻璃基 板通过喷墨而附着有彩色墨(color ink)。通过在升温到规定的烧成温度的烧成炉中并在 大气环境下将玻璃基板保持规定时间，来进行该烧成工序。另外，在玻璃基板上形成金属配 线时，在同样的烧成炉中，在氮气等非活性气体环境下烧成玻璃基板。在所有的烧成处理工 序中，由于玻璃基板上的彩色墨等被烧成物所含有的有机溶剂挥发或者氧化，所以产生很 多有机物并扩散到环境中。 由此，在烧成处理中不断地将清洁的热风送到烧成炉中，并且也连续将气体排出， 使得有机物不会滞留在烧成炉中。因为不能使含有大量从烧成炉排出的有机物的气体直接 地放出到外部气体中，所以通过洗涤器(scrubber)等实施收集排气中的有机物的处理。 但是，若通过洗涤器处理来自烧成炉的热排气，则被带走的热能非常多，能量利用 效率差，因此也使用如下的循环式烧成炉，B卩，通过循环利用暂时排出的热风，来尽量减少白白排出的热能。在循环式烧成炉中，使烧成炉产生的热排气的一部分排出到外部，并且导 入与其量相当的新鲜的外部气体。 即使是循环式烧成炉，也在排气管路或者循环管路中设置催化剂，以分解除去有 机物。为了充分地分解有机物，而需要使催化剂温度达到规定温度以上，特别是在排气管路 中设置有催化剂的情况下，因为排气温度大幅下降，所以必须需要用于加热催化剂的另外 单独的加热器。关于在排气管路中设置加热器和催化剂，检测催化剂的出口侧温度来控制 加热器温度的技术，公开在例如专利文献1中。 专利文献1 :JP特开2005-338840号公报。 但是，在用于将气体排出到外部的排气管路上附加仅用于加热催化剂的加热器造 成大的热损失，从而成为产生高成本的主要原因。另外，若在循环管路上设置有催化剂的情 况下还设置附加的加热器，则不仅成为成本提高的主要原因，还存在难于控制烧成温度的 问题。即，对用于使气体在烧成炉中循环的主要的加热器和催化剂用的辅助加热器，需要分 别控制温度，这两个加热器都设置在循环管路上，因此互相成为干扰的主要原因，从而温度 的变动显著。其结果是，丧失烧成炉的烧成温度的稳定性，在烧成处理的再现性上出现问 题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供一种热损失少并且能够获得稳 定的烧成温度的循环式基板烧成炉。 为了解决上述问题，技术方案1的专利技术是使热风循环来进行基板的烧成处理的循 环式基板烧成炉，其特征在于，具有炉体主体部，其在内部容置基板；循环路径，其使从所 述炉体主体部排出的热风循环，并再次供给到所述炉体主体部中；循环扇，其设置在所述循环路径上，使热风循环；主加热器，其用于加热在所述循环路径中循环的热风；催化剂过滤 部，其设置在所述循环路径上，具有担载催化剂的金属过滤器(metal filter);捕获装置， 其设置在所述循环路径上，用于捕获二氧化碳和/或水分。 另外，技术方案2的专利技术是在技术方案l的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉， 其特征在于，所述捕获装置包括两个捕获塔，所述两个捕获塔并列设置在两个流路上，其 中，所述两个流路在所述循环路径的中途被分支为两叉并再次合流，该循环式基板烧成炉 具有切换装置，其择一地切换所述两个流路，使得热风在所述两个捕获塔中的某一个中通 过；切换控制部，其用于控制所述切换装置的切换时机(timing)。 另外，技术方案3的专利技术是在技术方案2的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉，其 特征在于，所述两个捕获塔是吸附二氧化碳和/或水分的两个吸附塔。 另外，技术方案4的专利技术是在技术方案2的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉，其 特征在于，所述两个捕获塔是吸收二氧化碳的两个吸收塔。 另外，技术方案5的专利技术是在技术方案4的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉， 其特征在于，所述两个吸收塔分别具有二氧化碳的吸收材料；用于使所吸收的二氧化碳 从所述吸收材料放出的放出用加热器；用于回收从所述吸收材料放出的二氧化碳的回收系 统。 另外，技术方案6的专利技术是在技术方案1 5中任一项的专利技术的基础上的循环式 基板烧成炉，其特征在于，所述催化剂过滤部设置于所述循环路径中的所述炉体主体部的 下游侧且位于所述炉体主体部至所述捕获装置之间。 另外，技术方案7的专利技术是在技术方案1 5中任一项的专利技术的基础上的循环式 基板烧成炉，其特征在于，所述催化剂过滤部设置于所述循环路径中的所述主加热器的下 游侧且位于所述主加热器至所述炉体主体部之间。 另外，技术方案8的专利技术是在技术方案2 5中任一项的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉，其特征在于，所述催化剂过滤部分别设置在所述两个流路上。 另外，技术方案9的专利技术是在技术方案1的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉，其特征在于，所述催化剂包括光催化剂，所述催化剂过滤部具有光照射装置，所述光照射装置用于向所述光催化剂照射光。 另外，技术方案10的专利技术是在技术方案1的专利技术的基础上的循环式基板烧成炉， 其特征在于，在所述炉体主体部的热风导入口具有金属过滤器。 根据本专利技术，从炉体主体部排出的热风在循环路径中循环的过程中流入到催化剂 过滤部中，从而热风中所含有的有机物被分解，因此不需要用于加热催化剂的另外单独的 加热器，能够使热损失减少。另外，炉体主体部内部的烧成温度能够仅通过控制主加热器来 调整，从而容易控制温度，能够获得稳定的烧成温度。 特别是，根据技术方案2的专利技术，择一地将用于热风通过的捕获塔切换为其中某 一个，因此能够在使用某一个捕获塔的期间，进行另一个捕获塔的再生处理，从而能够抑制 伴随维护而引起的基板烧成炉的运转率低下。 特别是，根据技术方案6的专利技术，催化剂过滤部设置于循环路径中的炉体主体部 的下游侧且位于炉体主体部至捕获装置之间，因此从炉体主体部排出的热风直接流入到催 化剂过滤部，从而能够高效率地分解热风中所含有的有机物。 特别是，根据技术方案7的专利技术，催化剂过滤部设置于循环路径中的主加热器的 下游侧且位于主加热器至炉体主体部之间，因此刚被主加热器加热的热风流入到催化剂过 滤部中，从而能够高效率地分解热风中所含有的有机物。 特别是，根据技术方案8的专利技术，催化剂过滤部分别设置在两个流路上，因此在切 换捕获塔的同时，也能够切换使用的催化剂过滤部，从而能够与进行捕获塔的再生处理一 起进行催化剂过滤部的维护，不必为了催化剂过滤部的维护使基板烧成炉停止，从而提高 基板烧成炉的运转率。 特别是，根据技术方案9的专利技术，担载在金属过滤器上的催化剂包括光催化剂，因 此也能够完全分解残留附着在金属过滤器上的有机物。 特别是，根据技术方案10的专利技术，在炉体主体部的热风导入口具有金属过滤器， 因此在催化剂过滤部未被完全分解而残留的有机物也被去除，从而能够进一步提高导入到 炉体主体部的热风的清洁度。附图说明 图1是表示第一实施方式的循环式基板烧成炉的整体结构的图。 图2是表示第二实施方式的循环式基板烧成炉的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种循环式基板烧成炉，使热风循环来进行基板的烧成处理，其特征在于，具有：炉体主体部，其在内部容置基板；循环路径，其使从所述炉体主体部排出的热风循环，并再次供给至所述炉体主体部中；循环扇，其设置在所述循环路径上，使热风循环；主加热器，其对在所述循环路径中循环的热风进行加热；催化剂过滤部，其设置在所述循环路径上，具有担载催化剂的金属过滤器；捕获装置，其设置在所述循环路径上，用于捕获二氧化碳和／或水分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，村冈祐介，宫路恭祥，
申请(专利权)人：国立大学法人东北大学，株式会社未来视野，
类型：发明
国别省市：JP[日本]