本发明专利技术的课题是提供一种光传感器，可将配置有紫外光检测器的外壳内的氧气确实地除去，以防止臭氧产生并利用紫外光检测器来正确地测定紫外光，而能正确地测定准分子灯等的紫外线光源的点灯状态。本发明专利技术的光传感器，利用配置于壳体内的紫外光检测器来检测紫外光，其特征在于壳体包括：第１壳体，该第１壳体在内部配置用来检测紫外光的紫外光检测器且具有让紫外光通过的贯穿孔；及第２壳体，该第２壳体具有让紫外光通过的贯穿孔，第１壳体和第２壳体是设置成各壳体的贯穿孔互相重叠，在第１壳体和第２壳体之间、且在与各壳体的贯穿孔相对向的位置配置有让紫外光透过的窗构件，在窗构件和第１壳体之间配置有密封构件，在第１壳体内配置有脱氧剂。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光传感器，该光传感器用来检测从准分子灯等的紫外 线光源放射出的紫外光。
技术介绍
现在，例如在通过照射紫外线清洗液晶显示面板的玻璃基板的工序等中，使用紫外线照射装置，该紫外线照射装置具备可放射波长200nm以下 的真空紫外光的准分子灯。使用第4图来说明这种紫外线照射装置。紫外线照射装置10具备光取出窗11、本体外壳12、及金属块体13， 在本体外壳12的内部配置准分子灯1。光取出窗11是一种光透过构件，可让准分子灯1所放射的紫外光透过， 该光取出窗例如是由合成石英玻璃所构成。本体外壳12是由不锈钢制成， 在一方的侧壁形成气体导入口 12a，在另一方的侧壁形成气体排出口 12b。从该气体导入12a导入氮气等的惰性气体，从该气体排出口 12b将惰 性气体和残存的氧气一起排出。附图标注16表示用来冷却金属块体13的水冷管。金属块体13形成有沟槽部，准分子灯1的一半是嵌合在各沟槽部。此 外，在金属块体13上，形成有面对各个准分子灯1的贯穿孔，在金属块体 13上方的面对贯穿孔的位置组装有光传感器15，利用该光传感器15来检 测来自准分子灯1的放射光(参照专利文献1)。例如，在使用这种紫外线照射装置的液晶显示面板的玻璃基板的干式 洗净工序中，通常，利用带式输送机等的适当的搬运单元来搬运被处理物 即液晶用玻璃基板而将其导入紫外线照射装置的光照射区域，并利用连续 照射紫外光来进行洗净。在这种紫外线照射装置中，为了进行高可靠性的紫外光照射处理，必须确认准分子灯的点灯状态是否处于正确的状态，例如有必要确认是否是 以充分强度来照射紫外光的状态。由于主要放射的光线是紫外光，所以无 法利用目视来确认该准分子灯的点灯状态。因此，公开有如下的方法，为了确认准分子灯的点灯状态，利用用来 检测准分子灯所放射出的紫外光的光传感器，来测定准分子灯的点灯状态 的方法(参照专利文献2)。图5是光传感器的说明图。光传感器15，是在配置着紫外光检测器151的金属基板152上，该紫 外光检测器151由用来检测紫外光的半导体传感器所构成，该光传感器15 披覆有金属帽盖153，在该金属帽盖153形成让紫外光通过的贯穿孔，在该 贯穿孔粘着有让紫外光透过的玻璃制的窗构件154。并且，金属帽盖153和 金属基板152是利用熔接或焊材等方法来接合。另外，若在金属帽盖153内的密闭空间内有氧气存在，氧气会完全吸 收紫外光而使紫外光无法到达紫外光检测器151，因此必须在金属帽盖153 内封入氮气等的惰性气体。另外，透过窗构件154的紫外光会照射金属帽盖153内，并到达紫外 光检测器151，该紫外光被检测出。如图4所示，这种光传感器15，是利用金属块体13的贯穿孔来让准分 子灯所放射出的紫外光到达光传感器15前方的窗构件154，窗构件154和 金属块体13的贯穿孔之间的空间就成为与本体外壳12内部连通的空间， 而且是形成不能吸收紫外光的惰性气体。透过窗构件154的紫外光在紫外 光检测器152被检测出，就能够测定准分子灯的点灯状态。(专利文献l)日本特开2004~"2214卯号公报(专利文献2)日本特开2004—037174号公报图5所示的光传感器15构成为，在密闭的金属帽盖153内封入惰性气 体，通常，为了制造出该光传感器15，是将配置有紫外光检测器151的金 属基板152和粘着有窗构件154的金属帽盖153两者配置于惰性气体中的 组装空间，在此状态下，将金属帽盖153的、与金属基板152接触的部分 进行加热熔融而形成密闭构造。然而，依据这种制造方法所组装成的光传感器15，在组装工序中，若在惰性气体中混入微量的氧气，该氧气就会被封入密闭的金属帽盖153。结果，由于在密闭的金属帽盖153内存在氧气，透过窗构件154的紫 外光的一部分会被氧气所吸收，而无法到达紫外光检测器151，如此会发生 无法正确测定紫外光的问题。再者，由于紫外光的一部分被氧气所吸收，会在金属帽盖153内产生 臭氧，该臭氧会导致紫外光检测器23劣化，而变得无法正确地测定紫外光。再者，金属帽盖153是位于紫外光照射的方向上，因此容易接受紫外 线照射装置内的准分子灯的热量，金属帽盖153被加热而膨胀，在准分子 灯熄灯后金属帽盖153的温度会下降而收缩，随着膨胀、收縮的反复进行， 金属帽盖153和金属基板152的接合部位会发生破坏，金属帽盖153内的 惰性气体会流出而流到大气中。结果，氧气会流入金属帽盖153，透过窗构件154的紫外光的一部分会 被氧气吸收，而无法到达紫外光检测器151，或者，在金属帽盖153内产生 臭氧，该臭氧会导致紫外光检测器23劣化，而变得无法正确测定紫外光。再者，如图4所示，光传感器15和用来处理被处理物的本体外壳12 的内部空间，是通过金属块体13的贯穿孔来连结，在进行被处理物的处理 时产生的污染物质飞散出时，可能会污染光传感器15的窗构件154。即使窗构件154受到污染，由于窗构件154是粘着在金属帽盖153上， 故无法单独更换窗构件154，使用受污染的窗构件154会减少紫外光的透过 率，而变得无法正确地测定紫外光。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而开发完成的，其目的是提供一种光传感 器，可将配置有紫外光检测器的外壳内的氧气确实地除去，以防止臭氧的 产生，并能够利用紫外光检测器来正确地测定紫外光，而能正确地测定准 分子灯等的紫外线光源的点灯状态。另外是提供一种光传感器，在让紫外光透过的窗构件受到污染的情况 下，能够简单地单独更换窗构件，而始终能正确地进行紫外光的测定。技术方案1记载的光传感器，利用配置于壳体内的紫外光检测器来检 测紫外光，其特征在于前述壳体包含第1壳体，该第1壳体在内部配6置用来检测紫外光的紫外光检测器且具有让紫外光通过的贯穿孔；及第2 壳体，该第2壳体具有让紫外光通过的贯穿孔，前述第1壳体和第2壳体 是设置成各壳体的贯穿孔互相重叠，在前述第1壳体和前述第2壳体之间 且在与各壳体的贯穿孔相对向的位置配置有让紫外光透过的窗构件，在前 述窗构件和前述第1壳体之间配置有密封构件，在前述第1壳体内配置有 脱氧剂。技术方案2记载的光传感器，是在技术方案1记载的光传感器中，特 别是在前述窗构件和前述第2壳体之间配置有密封构件。技术方案3记载的光传感器，是在技术方案1或技术方案2记载的光 传感器中，在前述第1壳体内配置水分吸附剂。技术方案4记载的光传感器，利用配置于壳体内的紫外光检测器来检 测紫外光，其特征在于前述壳体包含第1壳体，该第1壳体在内部配 置用来检测紫外光的紫外光检测器且具有让紫外光通过的贯穿孔；及第2 壳体，具有让紫外光通过的贯穿孔，前述第1壳体和第2壳体是设置成各 壳体的贯穿孔互相重叠，在前述第1壳体和前述第2壳体之间且在与各壳 体的贯穿孔相对向的位置配置有让紫外光透过的窗构件，在前述第1壳体 和前述第2壳体之间配置有密封构件，在前述窗构件和前述第2壳体之间 配置有密封构件，在前述第1壳体内配置有脱氧剂。技术方案5记载的光传感器，是在技术方案4记载的光传感器中，特别是在前述第1壳体具备在前述窗构件的方向设有开口的第1流通孔和 第2流通孔，前述第1流通孔和第2流通孔，与前述第1壳体内的连通孔 连通，在前述连通孔内配置前述脱氧剂，且本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光传感器，利用配置于壳体内的紫外光检测器来检测紫外光，其特征在于，前述壳体包括： 第１壳体，在该第１壳体内部配置用来检测紫外光的紫外光检测器，并且具有让紫外光通过的贯穿孔；及 第２壳体，具有紫外光通过的贯穿孔， 前述第 １壳体和第２壳体设置成各壳体的贯穿孔互相重叠， 在前述第１壳体和前述第２壳体之间、且在与各壳体的贯穿孔相对向的位置配置有透过紫外光的窗构件， 在前述窗构件和前述第１壳体之间配置有密封构件， 在前述第１壳体内配置有脱氧剂。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村雅规，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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