一种晶圆传片机防提前取货装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆传片机防提前取货装置，涉及晶圆传片机技术领域，包括箱体，所述箱体上布设有承载台，所述承载台中心端开设有用于定位晶圆的定位槽；其中，位于所述承载台一侧呈相对布设定位架，两侧定位架相靠近一侧开设导向槽，导向槽中可滑动布设导向座，两侧导向座之间固定布设有防护板；所述防护板与布设于箱体中的升降机构连接，本发明专利技术的晶圆产品在加工工程中，通过传片机移送至定位槽中进行定位，为了避免工作人员提前取走产品，在此过程中，通过升降机构推动防护板朝向箱体上方滑动，以隔绝承载台，使得工作人员无法取走产品，当传片机加工完成后，通过升降机构带动防护板复位收缩至箱体中，以便于工作人员取走产品。以便于工作人员取走产品。以便于工作人员取走产品。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传片机防提前取货装置


[0001]本专利技术涉及晶圆传片机
，具体涉及一种晶圆传片机防提前取货装置。

技术介绍

[0002]晶圆片是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；传片机是在生产过程中搬运圆形晶圆片的设备。
[0003]在现有技术中，使用晶圆传片机传送晶圆时，正常情况下载台上的产品需要正常退回，机台提醒作业完成，作业员把产品取走，但是往往作业员不按照要求作业，不看机台状况，下意识提前取走载台上产品，从而导致破片、刮伤以及机台报警等异常发生。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶圆传片机防提前取货装置，解决以下技术问题：
[0005]作业员不按照要求作业，不看机台状况，下意识提前取走载台上产品，从而导致破片、刮伤以及机台报警等异常发生。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]一种晶圆传片机防提前取货装置，包括箱体，所述箱体上布设有承载台，所述承载台中心端开设有用于定位晶圆的定位槽；
[0008]其中，位于所述承载台一侧呈相对布设定位架，两侧定位架相靠近一侧开设导向槽，导向槽中可滑动布设导向座，两侧导向座之间固定布设有防护板；
[0009]所述防护板与布设于箱体中的升降机构连接。
[0010]优选的，所述定位槽中心端还开设有圆槽，圆槽中可升降嵌设有圆盘，圆盘与驱动其升降的顶升机构连接。
[0011]优选的，所述升降机构包括与防护板固定连接的第一齿条，第一齿条与齿轮机构啮合，齿轮机构与固定布设于箱体中的驱动电机输出端固定连接。
[0012]优选的，所述顶升机构包括与圆盘固定连接的支柱，支柱末端连接支板，支板与第二齿条固定连接；
[0013]其中，所述第二齿条与齿轮机构啮合。
[0014]优选的，位于所述圆槽周侧呈周向阵列开设若干组吸附孔，各组吸附孔与布设于承载台底部的环形气腔连通；
[0015]其中，所述环形气腔与负压机构连接。
[0016]优选的，所述负压机构包括与环形气腔连通的负压管，负压管另一端与布设于箱体中的气缸连通；
[0017]其中，所述气缸中布设气塞，气塞与气缸上壁围合形成气腔，气塞与驱动其与气缸中滑动的调节机构连接，气腔另一侧布设排气管。
[0018]优选的，所述调节机构包括与气塞固定连接的推杆，推杆末端固定连接限位板；
[0019]其中，所述推杆上布设复位弹簧，复位弹簧一端与限位板固定，另一端与气缸固
定。
[0020]优选的，所述调节机构还包括拨板，拨板一侧相垂直固定连接限位座；
[0021]其中，所述限位座与定位杆固定，定位架一侧开设通槽，导向座通过L型支架与定位杆滑动连接。
[0022]优选的，所述定位杆上布设伸缩弹簧，伸缩弹簧一端与L型支架固定，另一端与限位座固定，定位杆端部设置弧形端头，位于定位架上方布设有弧形部。
[0023]优选的，所述第一齿条上设置第一电极片，位于承载台底部相应布设第二电极片；
[0024]其中，所述防护板上布设灯带。
[0025]本专利技术的有益效果：
[0026](1)本专利技术的晶圆产品在加工工程中，通过传片机移送至定位槽中进行定位，为了避免工作人员提前取走产品，在此过程中，通过升降机构推动防护板朝向箱体上方滑动，以隔绝承载台，使得工作人员无法取走产品，当传片机加工完成后，通过升降机构带动防护板复位收缩至箱体中，以便于工作人员取走产品；
[0027](2)本专利技术的晶圆产品位于定位槽中时，为了提高其于定位槽中的稳定性，避免其出现偏移而影响传片机加工精度，通过负压机构于环形气腔中产生负压，使得在负压作用下通过吸附孔将产品吸附于定位槽中，以用于提高加工稳定性。
附图说明
[0028]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0029]图1是本专利技术晶圆传片机防提前取货装置的结构示意图；
[0030]图2是本专利技术晶圆传片机防提前取货装置中顶升机构的结构示意图；
[0031]图3是本专利技术晶圆传片机防提前取货装置中升降机构的结构示意图；
[0032]图4是本专利技术晶圆传片机防提前取货装置中环形气腔的结构示意图；
[0033]图5是本专利技术晶圆传片机防提前取货装置中圆盘的结构示意图；
[0034]图6是图2中放大部分的结构示意图；
[0035]图7是本专利技术晶圆传片机防提前取货装置中气缸的结构示意图。
[0036]图中：1、箱体；2、承载台；3、防护板；4、圆盘；5、气缸；6、负压管；7、弧形部；8、第二齿条；101、通槽；102、定位架；103、导向槽；104、导向座；201、定位槽；202、吸附孔；203、圆槽；301、灯带；302、第二电极片；501、进气管；502、排气管；503、限位板；504、推杆；505、复位弹簧；601、环形气腔；701、L型支架；702、定位杆；703、伸缩弹簧；704、拨板；705、限位座；706、弧形端头；801、齿轮机构；802、第一齿条；803、支板；804、支柱；805、驱动电机。
具体实施方式
[0037]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0038]实施例1
[0039]请参阅图1
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图2所示，本专利技术为一种晶圆传片机防提前取货装置，包括箱体1，箱体
1上布设有承载台2，其中，承载台2中心端开设有用于定位晶圆的定位槽201；在本实施方式中，通过在承载台2中开设定位槽201对产品进行定位，使得产品的传片机加工过程中，不会出现产品偏移或者从承载台2上掉落的现象，稳定性更高；
[0040]位于承载台2一侧呈相对布设定位架102，两侧定位架102相靠近一侧开设导向槽103，导向槽103中可滑动布设导向座104，两侧导向座104之间固定布设有防护板3；在本实施例的一种实施方式中，防护板3采用亚克力板；
[0041]防护板3与布设于箱体1中的升降机构连接；可以说明的是，晶圆在加工工程中，通过传片机移送至定位槽201中进行定位，为了避免工作人员提前取走产品，在此过程中，通过升降机构推动防护板3朝向箱体1上方滑动，以隔绝承载台2，使得工作人员无法取走产品，当传片机加工完成后，通过升降机构带动防护板3复位收缩至箱体1中，以便于工作人员取走产品；
[0042]具体的，本实施例通过布设导向槽103以及导向座104对防护板3的移送进行导向，使得防护板3移送稳定性更高；与此同时，防护板3采用压力板，以便于工作人员实时对晶圆进行观察，保证传片机加工稳定性。
[0043]实施例2
[0044]在实施例1的基础上，定位槽201中心端还开设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传片机防提前取货装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)上布设有承载台(2)，其特征在于，所述承载台(2)中心端开设有用于定位晶圆的定位槽(201)；其中，位于所述承载台(2)一侧呈相对布设定位架(102)，两侧定位架(102)相靠近一侧开设导向槽(103)，导向槽(103)中可滑动布设导向座(104)，两侧导向座(104)之间固定布设有防护板(3)；所述防护板(3)与布设于箱体(1)中的升降机构连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆传片机防提前取货装置,其特征在于，所述定位槽(201)中心端还开设有圆槽(203)，圆槽(203)中可升降嵌设有圆盘(4)，圆盘(4)与驱动其升降的顶升机构连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆传片机防提前取货装置,其特征在于，所述升降机构包括与防护板(3)固定连接的第一齿条(802)，第一齿条(802)与齿轮机构(801)啮合，齿轮机构(801)与固定布设于箱体(1)中的驱动电机(805)输出端固定连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆传片机防提前取货装置,其特征在于，所述顶升机构包括与圆盘(4)固定连接的支柱(804)，支柱(804)末端连接支板(803)，支板(803)与第二齿条(8)固定连接；其中，所述第二齿条(8)与齿轮机构(801)啮合。5.根据权利要求4所述的一种晶圆传片机防提前取货装置,其特征在于，位于所述圆槽(203)周侧呈周向阵列开设若干组吸附孔(202)，各组吸附孔(202)与布设于承载台(2)底部的环形气腔(601)连通；其中，所述环形气腔(601)与负压机构连接。6.根据权利要求5所述的一种晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜俊坤，韦磊，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：