本发明专利技术公开了基于多芯片检测的定位吸附工装，涉及芯片检测技术领域，包括载体，载体一侧设置有横向夹持机构一和纵向夹持机构一，载体另一侧设置有横向夹持机构二和纵向夹持机构二，载体背面设置有承载吸附板一和承载吸附板二；横向夹持机构一和纵向夹持机构一配合对第一芯片夹持；横向夹持机构二和纵向夹持机构二的配合对第二芯片夹持；通过横向和纵向的夹持机构，并配合真空圆吸盘的自吸功能，使芯片能够精确且稳定的固定在设定位置，多芯片检测时检测端口能够精准定位，进行连续检测，节省检测时间，并且无需消耗其他的耗材，使芯片取放更简单，并且整个装置无需特殊处理即可连续使用，进一步节省时间，提升检测的效率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片检测，具体涉及基于多芯片检测的定位吸附工装。
技术介绍
1、在现有的芯片制造工艺中，通常需要根据客户要求对生产的芯片进行测试，根据现有的设备工艺要求，需要将芯片放入针测机的真空圆吸盘上测试，但是由于每个芯片个体较小，在测试时现行的固定方式有两种：
2、第一种，通过特制的薄膜将芯片贴于一个晶圆(光片)上，光片放置在真空圆吸盘上，启动设备通过真空圆吸盘吸附，以此完成芯片的固定；
3、第二种，芯片用胶水粘贴于光片上，等胶水完全固化后才可放入设备测试；
4、其中第一种固定方式只能在设备常温状态下使用，如果设备在高温下使用，薄膜的粘贴效果就会失效。第二种固定方式虽然可以解决温度的适用问题，但是需要等胶水完全固化后才可放入设备测试，且用过一段时间后光片上将残留很多胶水，胶水的清理相对来说也是一个非常麻烦且耗时的工作，并且两种固定方式在检测多个芯片时，由于人工进行随机摆放，导致芯片位置无法精确定位，因此每测试一个芯片就需要重复一次定位操作，无法进行连续的检测，检测的效率较低。
>技术实现思路本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.基于多芯片检测的定位吸附工装，包括载体(1)，其特征在于，载体(1)一侧设置有横向夹持机构一(2)和纵向夹持机构一(4)，载体(1)另一侧设置有横向夹持机构二(3)和纵向夹持机构二(5)，载体(1)背面设置有承载吸附板一(6)和承载吸附板二(7)；
2.根据权利要求1所述的基于多芯片检测的定位吸附工装，其特征在于，横向夹持机构一(2)设置有三个，纵向夹持机构一(4)设置有一个，横向夹持机构二(3)设置有一个，纵向夹持机构二(5)设置有两个，且承载吸附板一(6)设置有三个，承载吸附板二(7)设置有两个。
3.根据权利要求1所述的基于多芯片检测的定位吸附工装，其特...
【技术特征摘要】
1.基于多芯片检测的定位吸附工装，包括载体(1)，其特征在于，载体(1)一侧设置有横向夹持机构一(2)和纵向夹持机构一(4)，载体(1)另一侧设置有横向夹持机构二(3)和纵向夹持机构二(5)，载体(1)背面设置有承载吸附板一(6)和承载吸附板二(7)；
2.根据权利要求1所述的基于多芯片检测的定位吸附工装，其特征在于，横向夹持机构一(2)设置有三个，纵向夹持机构一(4)设置有一个，横向夹持机构二(3)设置有一个，纵向夹持机构二(5)设置有两个，且承载吸附板一(6)设置有三个，承载吸附板二(7)设置有两个。
3.根据权利要求1所述的基于多芯片检测的定位吸附工装，其特征在于，载体(1)正面设置有横向夹持调节部一(16)、纵向夹持调节部一(18)、纵向夹持调节部二(113)和横向夹持调节部二(114)，且横向夹持调节部一(16)、纵向夹持调节部一(18)、纵向夹持调节部二(113)和横向夹持调节部二(114)结构一致，且横向夹持调节部一(16)两侧侧边对称开设有齿槽。
4.根据权利要求3所述的基于多芯片检测的定位吸附工装，其特征在于，横向夹持机构一(2)包括横向运动基座一(22)，横向运动基座一(22)一端滑动连接有连杆一(24)，连杆一(24)上套设有弹簧一(25)，连杆一(24)一端贯穿限位基座(23)连接有限位环，限位基座(23)安装在载体(1)上开设的限位槽(14)中，连杆一(24)另一端贯穿横向运动基座一(22)连接有横向夹持基座一(26)，横向夹持基座一(26)夹持侧设置有夹持部一(27)，横向运动基座一(22)连接有横向卡接组件一(21)，横向卡接组件一(21)与横向夹持调节部一(16)配合调节。
5.根据权利要求3所述的基于多芯片检测的定位吸附工装，其特征在于，纵向夹持机构一(4)包括三个纵向夹持基座一(47)，三个纵向夹持基座一(47)底部均对称连接有连杆三(45)，连杆三(45)另一端配合滑动连接有纵向运动基座一(44)，且贯穿纵向运动基座一(44)连接有限位环，连杆三(45)上均套设有弹簧三(46)，纵向运动基座一(44)一侧安装有连接基座(41)，三个连接基座(41)通过连板(42)连接在一起，连板(42)另一端连接有纵向卡接组件一(43)，纵向卡接组件一(43)与纵向夹持调节部一(18)配合调节，且纵向夹持基座一(47)夹持侧设置有夹持部三(49...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛小虎，陈世杰，陈汉宗，王大为，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。