用于半导体老化过程的老化板对准以及室与框架之间密封的装置及方法制造方法及图纸

本公开涉及用于半导体器件老化过程的老化装置、转移方法、老化装置的老化室以及可互换框架。老化装置包括具有不完整基底的老化室，该基底将与至少一个可互换框架的隔温基底协作而变完整且隔温，该可互换框架将以可移除方式移入并对接在室中以使老化装置完整。协作的对准元件分别被布置在框架和室处，并被配置成以渐进方式且以可移动方式彼此联接来提升框架，以使支撑在框架上的一组老化板对准以插入室中的一组接收连接件中。协作的隔温侧元件可以分别被布置在框架和室处，并且包括互补特征，这些互补特征被配置成当隔温侧元件彼此部分地叠置时提供隔温侧元件之间的间隙，并且当隔温侧元件彼此基本上或完全地叠置时提供邻接配合。接配合。接配合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于半导体老化过程的老化板对准以及室与框架之间密封的装置及方法
[0001]相关申请
[0002]本申请要求于2020年12月30日提交的国际申请号为PCT/SG2020/050791的优先权，其内容通过引用整体并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种用于对半导体器件或集成电路执行老化过程的老化装置，特别是一种包括老化室的老化装置，该老化室与一个或更多个可互换的框架协作地操作以完成室的隔温(thermal insulation)以及使由框架支撑的老化板与老化室中的接收连接件对准；用于通过分别使室的隔温完成和未完成从而使老化板与老化室中的接收连接件对准和不对准来将至少一个框架转移入和转移出室的方法；用于在老化区域中的老化装置和至少一个其他装置之间转移被支撑在框架上的一组老化板的方法；以及包含老化室和一个或更多个可互换框架的老化装置，该室和框架均具有一组协作的对准元件和/或一组协作的隔温侧元件。

技术介绍

[0004]如PCT/SG2020/050791中所述的老化装置包括：老化室，该老化室具有至少一个侧开口和至少一个基底开口；至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于对半导体器件或集成电路执行老化过程的老化装置，所述装置包括：老化室，所述老化室具有至少一个侧开口、至少一个基底开口、以及被布置在所述室中的一组接收连接件；至少一个门或覆盖件，所述至少一个门或覆盖件适于封闭所述侧开口；至少一个可互换框架，所述至少一个可互换框架以能够移动的方式通过所述侧开口并且以能够移除的方式对接在所述室中以封闭所述基底开口，每个框架均具有隔温基底和搁架，所述隔温基底具有第一侧和第二侧，所述搁架被布置在所述隔温基底的所述第一侧处并且支撑一组老化板；以及多个协作的对准元件，所述多个协作的对准元件分别被布置在所述框架和所述室处，并且所述多个协作的对准元件被配置成以渐进方式且以能够移动的方式彼此联接来提升所述框架，以使由所述搁架支撑的所述一组老化板对准，以插入所述室中的所述一组接收连接件中，并且所述多个协作的对准元件被配置成：通过将所述框架的所述隔温基底至少布置在所述室的所述基底开口中来封闭所述基底开口，从而将所述框架以能够移除的方式对接在所述室中，其中，当所述侧开口被封闭并且每个框架均以能够移除的方式被对接在所述室中时，完成所述室的隔温，从而限定温区，所述温区被配置成经受由所述室提供的老化条件，以使得所述搁架、所述一组老化板、以及所述隔温基底的所述第一侧位于所述温区中，而所述隔温基底的所述第二侧位于所述温区之外。2.根据权利要求1所述的老化装置，其中，每个框架还包括轮或无轮布置，所述轮是手动的、或动力辅助的、或适于与自主引导车(AGV)一起使用，所述无轮布置适于与所述AGV一起使用，其中，所述轮或所述无轮布置被布置在所述隔温基底的所述第二侧处，其中，所述协作的对准元件被配置成将所述轮提升离开地表面或将所述无轮布置提升离开所述AGV。3.根据权利要求2所述的老化装置，还包括：多个协作的隔温侧元件，所述多个协作的隔温侧元件分别被布置在所述框架和所述室处，并且所述多个协作的隔温侧元件分别具有互补特征，所述互补特征被配置成：当所述协作的隔温侧元件彼此部分地叠置时提供所述协作的隔温侧元件之间的间隙，并且所述互补特征还被配置成：当所述协作的隔温侧元件彼此基本上叠置或完全地叠置时提供所述协作的隔温侧元件之间的邻接配合。4.根据权利要求3所述的老化装置，其中，所述框架的所述轮至少包括前轮和后轮，其中，所述协作的对准元件包括多个滚动件，所述多个滚动件至少包括前滚动件和后滚动件，并且所述协作的对准元件还包括至少一个滚动件接收支撑件，其中，所述前滚动件和所述后滚动件被配置成：当所述前滚动件和所述后滚动件分别被联接至所述滚动件接收支撑件时，分别提升所述前轮和所述后轮，其中，所述协作的对准元件被布置在所述协作的隔温侧元件上方，以使得在所述侧开口被封闭并且每个框架以能够移除的方式被对接在所述室中时，所述协作的对准元件被布置在所述温区之内，或者所述协作的对准元件被布置在所述协作的隔温侧元件下方，以使得在所述侧开口被封闭并且每个框架以能够移除的方式被对接在所述室中时，所述协作的对准元件被布置在所述温区之外。
5.根据权利要求4所述的老化装置，其中，所述滚动件被布置在所述框架处，并且所述滚动件接收支撑件被布置在所述室处；或者所述滚动件被布置在所述室处，并且所述滚动件接收支撑件被布置在所述框架处。6.根据权利要求3至5中任一项所述的老化装置，其中，所述协作的对准元件和/或所述协作的隔温侧元件被布置成靠近所述框架的所述隔温基底和所述室的所述基底开口，或者被布置在所述框架的所述隔温基底和所述室的所述基底开口处。7.一种方法，所述方法包括：通过将至少一个框架移动至室中来将一组老化板转移到所述室中，其中，每个框架包括隔温基底和搁架，所述搁架被布置在所述隔温基底的第一侧处并且支撑所述一组老化板，其中，所述室包括被布置在所述室中的一组接收连接件，其中，多个协作的对准元件分别被布置在所述框架和所述室处；完成所述室的隔温从而限定温区，所述温区被配置成经受由所述室提供的老化温度，所述完成所述室的隔温从而限定所述温区包括：将所述协作的对准元件以渐进方式且以能够移动的方式彼此联接来提升所述框架，以使所述搁架上的所述一组老化板对准，以插入所述室中的所述一组接收连接件中，并且通过将所述框架的所述隔温基底至少布置在所述室的所述基底开口中来封闭所述室的所述基底开口，从而将所述框架以能够移除的方式对接在所述室中，将所述一组老化板插入所述室中的所述一组接收连接件中，以及封闭所述侧开口，以使得所述搁架、所述一组老化板、以及所述隔温基底的所述第一侧位于所述温区中，而所述隔温基底的第二侧位于所述温区之外；以及对被布置在所述一组老化板中的半导体器件执行老化过程。8.根据权利要求7所述的方法，其中，将所述至少一个框架对接在所述室中包括：布置轮或无轮布置，所述轮是手动的、或动力辅助的、或者适于与自主引导车(AGV)一起使用，所述无轮布置适于与所述AGV一起使用，其中，所述轮或所述无轮布置被布置在所述隔温基底的所述第二侧处，其中，将所述至少一个框架对接在所述室中包括将所述框架的所述轮提升离开地表面或将所述框架的所述无轮布置提升离开所述AGV。9.根据权利要求8所述的方法，其中，将所述协作的对准元件以渐进方式且以能够移动的方式彼此联接包括：将分别被布置在所述框架和所述室处的多个协作的隔温侧元件以渐进方式叠置；当所述协作的隔温侧元件彼此部分地叠置时，通过所述协作的隔温侧元件的互补特征提供所述协作的隔温侧元件之间的间隙；以及当所述协作的隔温侧元件彼此基本上叠置或完全地叠置时，通过所述协作的隔温侧元件的所述互补特征提供所述协作的隔温侧元件之间的邻接配合。10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述框架的所述轮至少包括前轮和后轮，其中，所述协作的对准元件包括多个滚动件，所述多个滚动件至少包括前滚动件和后滚动件，并且所述协作的对准元件还包括至少一个滚动件接收支撑件，其中，将所述协作的对准元件以渐进方式且以能够移动的方式彼此联接来提升所述框
架，以使所述搁架上的所述一组老化板对准，以插入所述室中的所述一组接收连接件中包括：当所述前滚动件和所述后滚动件分别被联接至所述滚动件接收支撑件时，分别提升所述前轮和所述后轮，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈德发，刘俊漮，
申请(专利权)人：MSV系统与服务有限公司，
类型：发明
国别省市：