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本公开涉及用于半导体器件老化过程的老化装置、转移方法、老化装置的老化室以及可互换框架。老化装置包括具有不完整基底的老化室，该基底将与至少一个可互换框架的隔温基底协作而变完整且隔温，该可互换框架将以可移除方式移入并对接在室中以使老化装置完整。...
该专利属于MSV系统与服务有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MSV系统与服务有限公司授权不得商用。

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