一种晶圆多工位边缘抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种晶圆多工位边缘抛光装置，属于晶圆抛光装置技术领域，其包括机架；机罩，机罩固定连接于机架的顶部，机罩的侧端固定连接有出料管，出料管的侧端通过铰轴转动连接有密封门，出料管和机罩内安装有吸附机构；卡盘，卡盘设置有多个，多个卡盘设置于机架的内壁之间，且每个卡盘内均容纳有晶圆块，多个卡盘之间设置有分隔机构；当需要解除对单个晶圆块的夹持固定时，启动多个电动推杆，多个电动推杆的伸缩端推动多个夹块相远离，使得多个夹块解除对单个晶圆块夹持，通过多组固定组件对多个晶圆块的夹持固定，保证多个晶圆块于机架内能进行稳定夹持，避免使得晶圆产生微倾，保证晶圆边缘抛光均匀。圆边缘抛光均匀。圆边缘抛光均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆多工位边缘抛光装置


[0001]本专利技术属于晶圆抛光装置
，具体涉及一种晶圆多工位边缘抛光装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。
[0003]抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。
[0004]抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽(消光)。通常以抛光轮作为抛光工具。抛光轮一般用多层帆布、毛毡或皮革叠制而成，两侧用金属圆板夹紧，其轮缘涂敷由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光剂。
[0005]化学机械研磨，晶圆制造中，随着制程技术的升级、导线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆多工位边缘抛光装置，其特征在于，包括；机架(1)；机罩(2)，所述机罩(2)固定连接于机架(1)的顶部，所述机罩(2)的侧端固定连接有出料管(3)，所述出料管(3)的侧端通过铰轴转动连接有密封门(5)，所述出料管(3)和机罩(2)内安装有吸附机构；卡盘(35)，所述卡盘(35)设置有多个，多个所述卡盘(35)设置于机架(1)的内壁之间，且每个所述卡盘(35)内均容纳有晶圆块(36)，多个所述卡盘(35)之间设置有分隔机构；以及夹持机构，所述夹持机构设置于机架(1)的内壁之间，所述夹持机构与多个卡盘(35)相连接，用以对多个卡盘(35)进行移动。2.根据权利要求1所述的一种晶圆多工位边缘抛光装置，其特征在于，所述夹持机构包括转动组件、固定组件、驱动组件和限位组件，所述转动组件设置于机架(1)的内壁之间，所述转动组件位于多个晶圆块(36)的下侧，所述固定组件设置有多组，多组所述固定组件设置于转动组件的顶部，多组所述固定组件与多个晶圆块(36)相连接，所述驱动组件设置有多组，多组所述驱动组件设置于转动组件的顶部，多组所述驱动组件与多个晶圆块(36)相连接，所述限位组件设置于转动组件内，多组所述限位组件与多个驱动组件相连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆多工位边缘抛光装置，其特征在于，所述转动组件包括支撑板(22)、容纳槽(23)、转动盘(24)、轴承(25)、转动架(26)、第二从动齿轮(27)、第二主动齿轮(28)、齿轮罩(29)、第三电机(30)、晶圆盘(31)和转动槽(32)，所述支撑板(22)固定连接于机架(1)的内壁之间，所述转动盘(24)固定连接于支撑板(22)的顶部，所述容纳槽(23)开设于支撑板(22)的顶部，所述转动架(26)转动连接于转动盘(24)内，所述转动架(26)的底端延伸至支撑板(22)的底部，所述轴承(25)安装固定于支撑板(22)的顶部，所述晶圆盘(31)固定连接于转动架(26)的顶部，且所述晶圆盘(31)与轴承(25)相连接，所述第二从动齿轮(27)固定连接于转动架(26)的延伸端，所述第二主动齿轮(28)转动连接于支撑板(22)的底部，且所述第二主动齿轮(28)与第二从动齿轮(27)相啮合，所述齿轮罩(29)包裹于第二从动齿轮(27)和第二主动齿轮(28)的表面，且所述齿轮罩(29)固定连接于支撑板(22)的底部，所述第三电机(30)固定连接于齿轮罩(29)的底部，所述第三电机(30)的输出端延伸至齿轮罩(29)内，所述第三电机(30)的输出端与第二主动齿轮(28)固定连接，所述转动槽(32)设置有多个，多个所述转动槽(32)开设于晶圆盘(31)的顶部，多个所述转动槽(32)与多个卡盘(35)相对应。4.根据权利要求3所述的一种晶圆多工位边缘抛光装置，其特征在于，每组所述固定组件包括夹槽(37)、第三限位槽(38)、嵌槽(39)、夹块(40)、第三限位块(41)和电动推杆(42)，所述夹槽(37)设置有多个，多个所述夹槽(37)开设于卡盘(35)的圆周表面，且多个所述夹槽(37)均与卡盘(35)的内壁相连通，所述第三限位槽(38)设置有多个，多个所述第三限位槽(38)开设于多个夹槽(37)的内壁上，所述夹块(40)设置有多个，多个所述夹块(40)插设于多个夹槽(37)内，所述第三限位块(41)设置有多个，多个所述第三限位块(41)滑动于多个第三限位槽(38)内，且多个所述第三限位块(41)均与多个夹块(40)相连接，所述嵌槽(39)开设于卡盘(35)的底部，所述嵌槽(39)与多个夹槽(37)相连通，所述电动推杆(42)设置有多个，多个所述电动推杆(42)固定连接于嵌槽(39)的内壁之间，多个所述电动推杆
(42)的输出端与多个夹块(40)相连接。5.根据权利要求4所述的一种晶圆多工位边缘抛光装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：任明元，梁春，刘文平，
申请(专利权)人：苏州博宏源机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：