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本发明提供一种晶圆多工位边缘抛光装置，属于晶圆抛光装置技术领域，其包括机架；机罩，机罩固定连接于机架的顶部，机罩的侧端固定连接有出料管，出料管的侧端通过铰轴转动连接有密封门，出料管和机罩内安装有吸附机构；卡盘，卡盘设置有多个，多个卡盘设置于...
该专利属于苏州博宏源机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州博宏源机械制造有限公司授权不得商用。

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