光扫描MEMS微镜激光雷达系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种光扫描MEMS微镜激光雷达系统，通过将多个MEMS微镜组成MEMS微镜阵列，用于实现激光雷达中的发射光束的空间扫描和返回光速的接收扫描，解决激光雷达对MEMS微镜大旋转角度，以及对微光反射镜大镜面尺寸的要求，以平衡设计，降低制造难题，进而有利于改善激光雷达的精度、探测距离、视场角、功率等各项性能指标；进一步的，还可以根据设计需要灵活设置单个MEMS微镜的数量、位置等，从而使光扫描MEMS微镜激光雷达系统有更广泛的使用范围。围。围。

【技术实现步骤摘要】
光扫描MEMS微镜激光雷达系统


[0001]本技术属于微电子机械系统
，涉及一种光扫描MEMS微镜激光雷达系统。

技术介绍

[0002]光扫描MEMS微镜可以实现激光的指向偏转、图形化扫描、扫描成像等功能，可用在激光雷达、3D传感、汽车抬头显示、医疗成像等领域，光扫描MEMS微镜具有功耗低、体积小、易于集成等优点，具有广泛的产业利用价值。
[0003]激光雷达主要由光源、光扫描组件、接收器和信号处理几部分组成，其中，光扫描组件的光扫描方式通常有机械旋转、棱镜、MEMS微镜、固态Flash四种。双轴MEMS微镜的微光反射镜可以实现正交两个方向的旋转，光源发射探测光信号通过微光反射镜实现在一定视场范围内的扫描，接收器接收从目标物体反射回来的光信号，通过将发射的光信号和接收的光信号进行比较并处理，就可以得到目标物体的有关信息，如目标距离、方位、高度、形状等参数，从而对目标物体进行探测、跟踪和识别。
[0004]光扫描组件是激光雷达系统中的核心部件，直接影响激光雷达的各项性能指标，如精度、探测距离、视场角、功率等。随着自动驾驶的发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光扫描MEMS微镜激光雷达系统，其特征在于，所述光扫描MEMS微镜激光雷达系统包括：光源，所述光源用以提供光信号；MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包括位于同一基板上的第一旋转MEMS微镜单元及第二旋转MEMS微镜单元，其中，所述第一旋转MEMS微镜单元用于扫描及反射来自所述光源发射的光信号并反射给目标物体，所述第二旋转MEMS微镜单元用于扫描并接收目标物体反射回来的光信号；控制器，所述控制器与所述MEMS微镜阵列电连接，用于控制所述MEMS微镜阵列中MEMS微镜的旋转；接收器，所述接收器用于接收所述第二旋转MEMS微镜单元反射的光信号。2.根据权利要求1所述的光扫描MEMS微镜激光雷达系统，其特征在于：所述第一旋转MEMS微镜单元为由单MEMS微镜构成、所述第二旋转MEMS微镜单元为由N个MEMS微镜构成，N≥2。3.根据权利要求1所述的光扫描MEMS微镜激光雷达系统，其特征在于：所述MEMS微镜阵列中的MEMS微镜包括单轴MEMS微镜或双轴MEMS微镜。4.根据权利要求1所述的光扫描MEMS微镜激光雷达系统，其特征在于：MEMS微镜包括静电驱动MEMS微镜、电磁驱动MEMS微镜及压电驱动MEMS微镜中的一种或组合。5.根据权利要求1所述的光扫描MEMS微镜激光雷达系统，其特征在于：所述MEMS微镜阵列中任一MEMS微镜独立设置于所述基板上，并与所述基板独立电连接。6.根据权利要求1所述的光扫描MEMS微镜激光雷达系统，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，徐静，赵旭东，黄雪钦，
申请(专利权)人：安徽中科米微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：