双面电极结构MEMS微镜的制备方法技术

本发明专利技术提供一种双面电极结构MEMS微镜的制备方法。包括步骤：提供第一基底，于第一基底中形成电极引线槽；于第一器件层中形成绝缘槽、多个下梳齿及运动空间槽以得到键合结构层；提供第二基底，将第二基底与键合结构层键合以得到键合片，第二器件层的表面和第一器件层的表面为键合面；于第二器件层中形成框架、上梳齿、可动微光反射镜及弹性梁，可动微光反射镜位于框架内侧，弹性梁与框架和/或可动微光反射镜相连接；形成金属反射层、第一上梳齿电极、第一下梳齿电极、第二上梳齿电极及第二下梳齿电极。采用本发明专利技术，电极引线槽的尺寸及位置等可根据设计需要灵活选择，可以极大提高器件灵活度，可以使得MEMS微镜应用范围更广。可以使得MEMS微镜应用范围更广。可以使得MEMS微镜应用范围更广。

【技术实现步骤摘要】
双面电极结构MEMS微镜的制备方法


[0001]本专利技术属于微电子机械系统(MEMS)
，特别是涉及一种双面电极结构MEMS微镜的制备方法。

技术介绍

[0002]随着MEMS技术的发展日益成熟，MEMS微镜及微镜阵列的应用也越来越广泛，如应用在光通信器件、数字显示、激光扫描等领域。静电MEMS微镜及微镜阵列(即包含多个微镜的结构)由于具有结构紧凑、功耗低、易于集成等优点而备受关注。
[0003]目前，从MEMS微镜及微镜阵列的应用情况来看，电极的引出方式主要有两种，一种是从器件的上表面引出，另一种是从器件的下表面引出。传统MEMS微镜的电极制作在器件的上表面，通过打线键合与外部的电极相连接；传统微镜阵列的电极制作在器件的下表面，通过共熔键合与外部的电极相连接。
[0004]静电MEMS微镜及微镜阵列的应用需求日益广泛，对其性能及测试也提出了更高的要求，通常需要对每一颗芯片进行微镜转动角度
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电压的测试。微镜转动角度的精确测试通常采用高精度光学测试系统，通过对微光反射镜的光学反馈来实现。而对于传统的微镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面电极结构MEMS微镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供第一基底，所述第一基底包括依次堆叠的第一下保护层、第一衬底、第一绝缘层、第一器件层及第一上保护层，于所述第一基底中形成电极引线槽，所述电极引线槽自所述第一下保护层一直延伸到所述第一器件层的表面；去除所述第一上保护层；于所述第一器件层中形成绝缘槽、多个下梳齿及运动空间槽以得到键合结构层，所述运动空间槽位于所述多个下梳齿之间，所述绝缘槽贯穿所述第一器件层；提供第二基底，所述第二基底包括依次堆叠的第二器件层、第二绝缘层及第二衬底层，将所述第二基底与所述键合结构层键合以得到键合片，其中，所述第二器件层的表面和第一器件层的表面为键合面；去除所述第二衬底层及第二绝缘层，于所述第二器件层中形成框架、上梳齿、可动微光反射镜及弹性梁，所述可动微光反射镜位于所述框架内侧，所述弹性梁与所述框架和/或所述可动微光反射镜相连接；所述可动微光反射镜位于所述运动空间槽的正上方，且所述上梳齿与所述下梳齿在水平面上的投影交错排列；形成金属反射层、第一上梳齿电极、第一下梳齿电极、第二上梳齿电极及第二下梳齿电极，所述第一上梳齿电极和第一下梳齿电极位于所述框架的表面，所述第二上梳齿电极和第二下梳齿电极自所述电极引线槽延伸至第一衬底表面；所述第一下梳齿电极和第二下梳齿电极均与下梳齿电连接，所述第一上梳齿电极和第二上梳齿电极均与上梳齿电连接。2.根据权利要求1所述的双面电极结构MEMS微镜的制备方法，其特征在于，所述第一基底和第二基底均包括SOI衬底。3.根据权利要求1所述的双面电极结构MEMS微镜的制备方法，其特征在于，所述电极引线槽的横截面为梯形，形成所述电极引线槽的方法为：对所述第一下保护层和第一衬底进行刻蚀以形成第一开口，之后去除对应所述第一开口的第一绝缘层以形成暴露出所述第一器件层的所述电极引线槽。4.根据权利要求1所述的双面电极结构MEMS微镜的制备方法，其特征在于，所述电极引线槽的横截面为矩形，形成所述电极引线槽的方法为，去除所述第一下保护层和第一上保护层后，在同一刻蚀工艺中对所述第一衬底和所述第一绝缘层进行刻蚀以形成暴露出所述第一器件层的所述电极引线槽，且在此过程中于所述第一衬底中形成贯穿所述第一衬底的绝缘槽。5.一种双面电极结构MEMS微镜的制备方法，其特征在于，包括步骤：提供第一基底，所述第一基底包括依次堆叠的第一下保护层、第一衬底、第一绝缘层、第一器件层及第一上保护层，于所述第一基底中形成下部引线槽，所述下部引线槽自所述第一下保护层向上一直延伸到所述第一器件层的表面；去除所述第一上保护层；于所述第一器件层中形成绝缘槽、多个下梳齿、上部引线槽及运动空间槽以得到键合结构层，所述运动空间槽位于所述多个下梳齿之间，所述上部引线槽和绝缘槽贯穿所述第一器件层，所述上部引线槽和下部引线槽上下连通构成电极引线槽；提供第三基底，所述第三基底包括依次堆叠的第三下保护层、第三器件层、第三绝缘层、第三衬底层及第三上保护层，将所述第三基底与所述键合结构层键合以得到键合片，其
中，所述第三基底的第三下保护层的表面和第一器件层的表面为键合面；去除所述第三上保护层、第三衬底层及第三绝缘层，于所述第三器件层中形成框架、上梳齿、可动微光反射镜、弹性梁及下梳齿电极引线槽，所述可动微光反射镜位于所述框架内侧，所述弹性梁与所述框架和/或所述可动微光反射镜相连接；所述可动微光反射镜位于所述运动空间槽的正上方，所述下梳齿电极引线槽贯穿所述第三器件层并向下延伸至所述第一器件层的表面，所述上梳齿与所述下梳齿在水平面上的投影交错排列；形成金属反射层、第一上梳齿电极、第一下梳齿电极、第二上梳齿电极及第二下梳齿电极，所述第一上梳齿电极位于所述框架表面，所述第一下梳齿电极位于所述下梳齿电极引线槽内，所述第二上梳齿电极和第二下梳齿电极自...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，徐静，
申请(专利权)人：安徽中科米微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：