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本发明提供一种双面电极结构MEMS微镜的制备方法。包括步骤：提供第一基底，于第一基底中形成电极引线槽；于第一器件层中形成绝缘槽、多个下梳齿及运动空间槽以得到键合结构层；提供第二基底，将第二基底与键合结构层键合以得到键合片，第二器件层的表面和...
该专利属于安徽中科米微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽中科米微电子技术有限公司授权不得商用。

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