一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件及其制备方法，通过在第一玻璃基底上生长铝薄膜层，形成设有铝薄膜层玻璃基底，从而提高漫反射效果，第一封装层和第二封装层完全覆盖碘化铯闪烁体层，能够阻止外部水汽进入碘化铯闪烁体层，防止碘化铯闪烁体层发生潮解，从而能够提高DR平板探测器的图像质量，刚性的第二玻璃基底，能够提高TFT核心组件的结构强度，增加DR平板探测器的使用寿命，将两个甚至更多的小尺寸的TFT基板进行拼接，从而形成更大尺寸的TFT模组，从而能够满足更大尺寸的像素需求，使得患者在拍摄时无需经过多次曝光拍摄即可得到全脊柱或全下肢的整体图像，降低了拍摄时的曝光时间，对患者更安全且操作过程更简便。程更简便。程更简便。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件及其制备方法


[0001]本专利技术涉及医疗探测器领域，特别是涉及一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件及其制备方法。

技术介绍

[0002]X射线探测器广泛应用于医疗仪器上，如，DR平板探测器中利用X射线进行胸透成像，在现有技术中，X射线探测器主要包括闪烁体层和非晶硅感光层，其中，闪烁体层将X射线转化成可见光，非晶硅感光层将可见光转换为电信号，最后读取电信号并输出至成像设备形成影像，然而常用的DR平板探测器的规格较小，但是成年人的全脊柱和下肢的正常长度基本都大于或等于60cm，因此，在实际使用时发现常用的DR平板探测器无法完全显示全脊柱和全下肢的形态。
[0003]针对上述问题，目前在医疗探测器领域内一般多采用具有长骨自动拼接功能的DR平板探测器，在进行拍摄时，需要连续2~3次对待拍摄部位进行曝光，DR平板探测器系统分段生成图像，然后再使用拼接功能才能够得到全脊柱或全下肢的整体图像。但是，此种方法需要对患者进行多次曝光，不仅导致拍摄时间延长，而且使得患者接受的辐射剂量变大，且由于照射范围增大，还需要增加对非拍摄部位的防护，增大防护难度。
[0004]此外，适用于常用小尺寸的DR平板探测器的核心TFT模组工艺如果直接应用于制备较大尺寸的DR平板探测器，会存在TFT模组工艺难以匹配以及TFT模组尺寸设计不灵活和难以制备等问题。
[0005]因此，如何设计一种能够降低拍摄难度，制备工艺简单的DR平板探测器以及适用于制备较大尺寸的DR平板探测器的TFT核心组件及其制备的工艺成为一个挑战。

技术实现思路

[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件及其制备方法，用于解决现有技术中TFT核心组件无法直接适用于更大尺寸的DR平板探测器和常用的17*17英寸的DR平板探测器的曝光时间过长造成的对患者损害概率大以及无法直接拍摄全脊柱和全下肢的整体图像的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件的制备方法，包括以下步骤：
[0008]提供第一玻璃基底，并于所述第一玻璃基底的一侧采用真空磁控溅射一层铝薄膜层作为X光射线的散射层；
[0009]于所述铝薄膜层上进行气相沉积工艺形成第一封装层；
[0010]于所述第一封装层上进行真空蒸镀工艺形成碘化铯闪烁体层，所述碘化铯闪烁体层用于将X光射线转换成可见光；
[0011]于所述碘化铯闪烁体层上进行二次气相沉积工艺形成第二封装层，得到碘化铯模组；
[0012]提供第二玻璃基底，并于所述第二玻璃基底的一侧涂覆第一胶粘剂；
[0013]将至少两个TFT基板沿第一方向依次拼接在一起，且所述至少两个TFT基板之间的拼缝位于所述TFT核心组件的中轴线上，将拼接完成后的所述至少两个TFT基板与所述第一胶粘剂粘合；
[0014]于所述至少两个 TFT基板的另一侧涂覆第二胶粘剂，得到TFT模组；
[0015]使用自动贴合设备将所述碘化铯模组与所述TFT模组进行贴合，得到适用于DR平板探测器的TFT核心组件。
[0016]可选地，所述铝薄膜层的厚度为150
Å
~250
Å
。
[0017]可选地，所述第二玻璃基底为刚性玻璃基底。
[0018]可选地，所述碘化铯闪烁体层的厚度为200μm~800μm。
[0019]可选地，所述至少两个TFT基板的拼接方式为短边拼接且所述至少两个TFT基板的尺寸大小相同。
[0020]可选地，第一胶粘剂和所述第二胶粘剂均为光学胶OCA。
[0021]本专利技术还提供一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件，所述TFT核心组件包括：
[0022]碘化铯模组，所述碘化铯模组至少包括第一玻璃基底和碘化铯闪烁体层，其中，所述第一玻璃基底的一侧设有铝薄膜层，所述碘化铯闪烁体层位于所述铝薄膜层上且与所述铝薄膜层之间设有第一封装层，所述碘化铯闪烁体层远离所述第一封装层的一侧设有第二封装层，用于防止碘化铯闪烁体层发生潮解；
[0023]TFT模组，所述TFT模组包括第二玻璃基底和至少两个TFT基板，其中，所述第二玻璃基底的一侧设有第一胶粘剂，所述至少两个TFT基板沿第一方向依次拼接，且所述至少两个TFT基板的一侧与所述第一胶粘剂粘合，另一侧通过第二胶粘剂与所述第二封装层粘合，形成TFT核心组件。
[0024]可选地，所述铝薄膜层的厚度为150
Å
~250
Å
。
[0025]可选地，所述第二玻璃基底为刚性玻璃基底。
[0026]可选地，所述至少两个TFT基板的尺寸大小相同且所述至少两个TFT基板的拼接方式为短边拼接。
[0027]可选地，所述第一封装层的厚度与所述第二封装层的厚度相同且均为20μm~50μm。
[0028]本专利技术还提供一种DR平板探测器，所述DR平板探测器至少包括上述TFT核心组件。
[0029]如上所述，本专利技术的适用于DR平板探测器的TFT核心组件及其制备方法，具有以下有益效果：适用于DR平板探测器的TFT核心组件包括第一玻璃基底、铝薄膜层、碘化铯闪烁体层和位于碘化铯闪烁体层两侧的第一封装层和第二封装层，第二玻璃基底和至少两个TFT基板以及设置在至少两个TFT基板两侧的第一胶粘剂和第二胶粘剂，通过在第一玻璃基底上生长铝薄膜层，形成设有铝薄膜层基底，从而提高了漫反射效果，第一封装层和第二封装层完全覆盖碘化铯闪烁体层，能够阻止外部水汽进入碘化铯闪烁体层，防止碘化铯闪烁体层发生潮解，从而能够提高DR平板探测器的图像质量，通过设置刚性的第二玻璃基底，能够提高TFT核心组件的结构强度，增加DR平板探测器的使用寿命，此外，将两个甚至更多的小尺寸的TFT基板进行拼接，从而形成更大尺寸的TFT模组，使得基于该TFT核心组件制备的更大尺寸的DR平板探测器，能够满足更大尺寸的像素需求，使得患者在拍摄时无需经过多次曝光拍摄即可得到全脊柱或全下肢的整体图像，从而降低了拍摄时的曝光时间，对患者
更安全且操作过程更简便，此外，其制备过程简单，制作成本低，易于实现工业化。
附图说明
[0030]图1显示为本专利技术实施例中的TFT核心组件的制备方法的流程示意图。
[0031]图2显示为本专利技术实施例中的TFT核心组件中的形成第一玻璃基底和铝薄膜层后的结构示意图。
[0032]图3显示为本专利技术实施例中的TFT核心组件中的形成第一封装层以及碘化铯闪烁体层后的结构示意图。
[0033]图4显示为本专利技术实施例中的TFT核心组件中的形成碘化铯模组后的结构示意图。
[0034]图5显示为本专利技术实施例中的TFT核心组件中的形成第二玻璃基底后的结构示意图。
[0035]图6显示为本专利技术实施例中的TFT核心组件中的粘合拼接的TFT基板后的结构示意图。
[0036]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于DR平板探测器的TFT核心组件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供第一玻璃基底，并于所述第一玻璃基底的一侧采用真空磁控溅射一层铝薄膜层作为X光射线的散射层；于所述铝薄膜层上进行气相沉积工艺形成第一封装层；于所述第一封装层上进行真空蒸镀工艺形成碘化铯闪烁体层，所述碘化铯闪烁体层用于将X光射线转换成可见光；于所述碘化铯闪烁体层上进行二次气相沉积工艺形成第二封装层，得到碘化铯模组；提供第二玻璃基底，并于所述第二玻璃基底的一侧涂覆第一胶粘剂；将至少两个TFT基板沿第一方向依次拼接在一起，且所述至少两个TFT基板之间的拼缝位于所述TFT核心组件的中轴线上，将拼接完成后的所述至少两个TFT基板与所述第一胶粘剂粘合；于所述至少两个 TFT基板的另一侧涂覆第二胶粘剂，得到TFT模组；使用自动贴合设备将所述碘化铯模组与所述TFT模组进行贴合，得到适用于DR平板探测器的TFT核心组件。2.根据权利要求1所述的TFT核心组件的制备方法，其特征在于：所述铝薄膜层的厚度为150
Å
~250
Å
。3.根据权利要求1所述的TFT核心组件的制备方法，其特征在于：所述第二玻璃基底为刚性玻璃基底。4.根据权利要求1所述的TFT核心组件的制备方法，其特征在于：所述碘化铯闪烁体层的厚度为200μm~800μm。5.根据权利要求1所述的TFT核心组件的制备方法，其特征在于：所述至少两个TFT基板的拼接方式为短边拼接且所述至少两个TFT基板的尺寸大小相同。6.根据权利要求1~...

【专利技术属性】
技术研发人员：周鑫，陈春松，
申请(专利权)人：奕瑞影像科技太仓有限公司，
类型：发明
国别省市：