半导体器件制造技术

半导体器件包括：具有朝向z方向的第一主面的第一裸芯焊盘；与所述第一裸芯焊盘隔开间隔地配置的具有朝向z方向的第二主面的第二裸芯焊盘；搭载在所述第一主面的第一半导体元件；搭载在所述第二主面的第二半导体元件；搭载在所述第一主面或所述第二主面，在x方向上位于所述第一半导体元件与所述第二半导体元件之间，并且在将这些半导体元件相互绝缘的状态下进行信号的中继的绝缘元件；和与所述第一半导体元件及所述第一主面接合的导线。所述第一裸芯焊盘具有：与所述导线接合的第一接合部；和在y方向上配置在所述第一接合部与所述第一半导体元件之间，在所述第一主面具有开口端的第一开口部。端的第一开口部。端的第一开口部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体器件


[0001]本专利技术涉及半导体器件。

技术介绍

[0002]电动汽车(也包括混合动力汽车)或者家用电器等中使用的逆变器装置中，使用了搭载有绝缘元件的半导体器件。该逆变器装置例如包括该半导体器件和IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor：绝缘栅双极晶体管)或MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor：金属氧化物半导体场效应晶体管)等的功率半导体。该半导体器件包括控制元件、绝缘元件和驱动元件。该逆变器装置中，从ECU(Engine Control Unit：发动机控制单元)输出的控制信号被输入到该半导体器件的控制元件。控制元件将控制信号转变为PWM(Pulse Width Modulation)控制信号，经由绝缘元件传送到驱动元件。驱动元件基于PWM控制信号，使功率半导体按所希望的时序进行开关动作。通过使6个功率半导体分别在所希望的时序进行开关动作，从车载用蓄电池的直流电力生成电动机驱动用的三相交流电力。例如，在专利文献1中，公开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体器件，其特征在于，包括：第一裸芯焊盘，其具有朝向厚度方向的第一主面；第二裸芯焊盘，其在与所述厚度方向正交的第一方向上，相对于所述第一裸芯焊盘隔开间隔地配置，且具有朝向所述厚度方向的第二主面；搭载在所述第一主面的第一半导体元件；搭载在所述第二主面的第二半导体元件；绝缘元件，其搭载在所述第一主面或者所述第二主面，且在所述第一方向上位于所述第一半导体元件与所述第二半导体元件之间，并且，在所述第一半导体元件与所述第二半导体元件之间进行信号的中继，且将所述第一半导体元件和所述第二半导体元件相互绝缘；第一导线，其与所述第一半导体元件和所述第一主面接合；和密封树脂，其覆盖所述第一半导体元件、所述第二半导体元件和所述绝缘元件，所述第一裸芯焊盘具有：第一接合部，其相对于所述第一半导体元件，位于与所述厚度方向和所述第一方向正交的第二方向的第一侧，并且与所述第一导线接合；和第一开口部，其在所述第二方向上，配置于所述第一接合部与所述第一半导体元件之间，并且在所述第一主面具有开口端。2.如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于：所述第二半导体元件为控制元件，所述第一半导体元件是经由所述绝缘元件从所述控制元件接收信号来生成并输出驱动信号的驱动元件。3.如权利要求1或2所述的半导体器件，其特征在于，还包括：多个端子，其沿着所述第二方向排列，并且至少任一者与所述第一半导体元件导通；和一对连接部，所述多个端子包含所述多个端子之中的配置在所述第二方向的两端的一对外侧端子，所述一对连接部分别与所述一对外侧端子的任一者和所述第一裸芯焊盘相连。4.如权利要求3所述的半导体器件，其特征在于：所述一对连接部均具有：与所述第一裸芯焊盘相连的第一连结部和第二连结部；和与所述一对外侧端子的任一者、所述第一连结部和所述第二连结部相连的结合部，所述第一连结部从所述第一裸芯焊盘至所述结合部在所述第二方向上延伸，所述第二连结部包括：从所述第一裸芯焊盘在所述第二方向上延伸的第一部；和与所述第一部以及所述结合部相连且在相对于所述第二方向倾斜的方向上延伸的第二部，所述结合部具有在所述厚度方向上贯通的贯通孔。5.如权利要求1～4中任一项所述的半导体器件，其特征在于：所述第一开口部在所述第一方向上延伸。6.如权利要求1～5中任一项所述的半导体器件，其特征在于：在所述第二方向看，所述第一开口部与所述第一半导体元件的整体重叠。7.如权利要求1～6中任一项所述的半导体器件，其特征在于：
在所述厚度方向看，所述第一开口部的所述第一方向上的两端位于比所述第一主面的外边缘...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口萌，松原弘招，大角嘉藏，菊地登茂平，梅野辽平，西冈太郎，
申请(专利权)人：罗姆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：