本实用新型专利技术提供了一种石墨舟的清洗装置，属于太阳能电池技术领域，包括清洗液容器、高位槽和低位槽，高位槽和低位槽与清洗液容器并联，高位槽的槽底与低位槽的槽底具有高低落差，高位槽与低位槽之间设有溢流管和逆流管，溢流管上设有溢流控制阀，逆流管上设有逆流控制阀和逆流泵；高位槽与清洗液容器连通的第一管路上设有第一控制阀，低位槽与清洗液容器连通的第二管路上设有第二控制阀；清洗液容器连通第一管路和第二管路的总管路上设有总进液泵。总管路上还设有总控制阀。本实用新型专利技术提供的石墨舟的清洗装置，清洗液在高位槽和低位槽之间循环利用，且清洗液利用高低液位差溢流的方式，降低了清洗液的消耗，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。
【技术实现步骤摘要】
石墨舟的清洗装置
[0001]本技术属于太阳能电池
，具体涉及一种石墨舟的清洗装置。
技术介绍
[0002]N型太阳能电池具有良好的稳定性和更高的效率潜能。目前的主流技术是TOPCon技术，即Tunnel Oxide Passivated Contact技术，是一种新型钝化接触技术，该技术在电池表面使用一层超薄的氧化层和掺杂的薄膜硅进行钝化。TOPCon电池是目前高效N型电池的发展趋势。
[0003]高温镀膜工序是TOPcon工艺技术中重要一个工序，该工序制作氮化硅减反射膜。石墨载具(石墨舟)是高温镀膜工序的重要部件，石墨舟使用到一定时间后，在石墨舟上形成氮化硅类附着物，该类附着物会影响镀氮化硅膜工艺的稳定性和均匀性，造成大量不合格品；而直接更换新的石墨舟费用较高，造成生产成本的提高，通过用氢氟酸和DI水配成清洗液进行石墨载具清洗后，再给石墨载具进行高温镀工艺，可继续使用，极大降低成本费用。
[0004]但是，目前的石墨舟清洗装置，在清洗液利用循环利用方面还有待进一步改进。
技术实现思路
[0005]本技术实施例提供一种石墨舟的清洗装置，旨在提升石墨舟清洗洁净性及清洗液的有效利用，降低资源的浪费。
[0006]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种石墨舟的清洗装置，包括：清洗液容器、高位槽和低位槽，所述高位槽和所述低位槽与所述清洗液容器并联，所述高位槽的槽底与所述低位槽的槽底之间具有高低落差，所述高位槽与所述低位槽之间设有溢流管和逆流管，所述溢流管上设有溢流控制阀，所述逆流管上设有逆流控制阀和逆流泵；所述高位槽与所述清洗液容器连通的第一管路上设有第一控制阀，所述低位槽与所述清洗液容器连通的第二管路上设有第二控制阀；所述清洗液容器连通所述第一管路和所述第二管路的总管路上设有总进液泵。
[0007]在一种可能的实现方式中，所述高位槽的槽底设有第一鼓泡气管和第一过滤网，所述第一过滤网位于所述第一鼓泡气管的上方，所述溢流管连通于所述高位槽的所述第一过滤网的下方。
[0008]在一种可能的实现方式中，所述溢流管为倾斜管，所述溢流管自所述高位槽至所述低位槽向下倾斜。
[0009]在一种可能的实现方式中，所述低位槽的槽底设有第二鼓泡气管和第二过滤网，所述第二过滤网位于所述第二鼓泡气管的上方，所述溢流管连通于所述低位槽的所述第二过滤网的上方。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述逆流管连通于所述低位槽的所述第二过滤网的下方，所述逆流管连通于所述高位槽的所述第一鼓泡气管的下方。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述高位槽和所述低位槽上分别设有安全门。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述安全门为气动推拉门。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述低位槽上设有浓度传感器。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述高位槽和所述低位槽内还分别设有超声波发生器。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述高位槽或所述低位槽的外侧设有触摸屏和急停按钮。
[0016]本技术提供的石墨舟的清洗装置，与现有技术相比，有益效果在于：在于高位槽和低位槽配合的方式，石墨舟在高位槽内进行浸泡酸洗，对石墨舟初步清洗，清洗后掉落的杂质沉积在高位槽的槽底；石墨舟在高位槽内酸洗到预设时间后，将石墨舟放入低位槽内，开启溢流控制阀，高位槽内的清洗液自重下进入低位槽内，并开启第二控制阀，从清洗液容器内向低位槽内补入清洗液，调配低位槽内清洗液的浓度，对石墨舟进行二次清洗；清洗到预设时间后，将石墨舟取出，低位槽内产生的杂质沉积在低位槽的槽底，再利用逆流泵将低位槽内的清洗液经逆流管泵入高位槽，以此完成清洗液循环利用，降低成本。根据清洗情况，可适量对高位槽和低位槽内补加清洗液，保持清洗所需的药液浓度。
[0017]本装置通过对石墨舟进行两次清洗，提升清洗的洁净性；清洗液在高位槽和低位槽之间循环利用，使资源得到循环利用，大大降低了清洗液的消耗，降低了生产成本；清洗液利用高低液位差溢流的方式，不需要提供额外的能源，也降低了能源消耗。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例提供的石墨舟的清洗装置的结构示意图一；
[0019]图2为本技术实施例提供的石墨舟的清洗装置的结构示意图二；
[0020]附图标记说明：
[0021]1、清洗液容器；2、总管路；3、低位槽；4、高位槽；5、总进液泵；6、触摸屏；7、急停按钮；8、安全门；9、总控制阀；10、第二鼓泡气管；11、第二过滤网；12、浓度传感器；13、第二管路；14、第二控制阀；15、第一管路；16、第二控制阀；17、溢流控制阀；18、逆流控制阀；19、逆流泵；20、第一鼓泡气管；21、第一过滤网；22、超声波发生器。
具体实施方式
[0022]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0023]请参阅图1，现对本技术提供的石墨舟的清洗装置进行说明。所述石墨舟的清洗装置，包括清洗液容器1、高位槽4和低位槽3，高位槽4和低位槽3与清洗液容器1并联，高位槽4的槽底与低位槽3的槽底之间具有的高低落差为20
‑
30cm，高位槽4与低位槽3之间设有溢流管和逆流管，溢流管上设有溢流控制阀17，逆流管上设有逆流控制阀18和逆流泵19；高位槽4与清洗液容器1连通的第一管路15上设有第一控制阀16，低位槽3与清洗液容器1连通的第二管路13上设有第二控制阀14；清洗液容器1连通第一管路15和第二管路13的总管路2上设有总进液泵5。总管路2上还设有总控制阀9。
[0024]本技术提供的石墨舟的清洗装置，(1)高位槽4和低位槽3配合的方式，石墨舟在高位槽4内进行浸泡酸洗，对石墨舟初步清洗，清洗后掉落的杂质沉积在高位槽4的槽底；(2)石墨舟在高位槽4内酸洗到预设时间后，将石墨舟放入低位槽3内，开启溢流控制阀17，高位槽4内的清洗液自重下进入低位槽3内，并开启第二控制阀14，从清洗液容器1内向低位槽3内补入清洗液，调配低位槽3内清洗液的浓度，对石墨舟进行二次清洗；(3)低位槽3内浸泡清洗到预设时间后，将石墨舟取出，低位槽3内产生的杂质沉积在低位槽3的槽底，再利用逆流泵19将低位槽3内的清洗液经逆流管泵入高位槽4，以此完成清洗液循环利用，降低成本。(4)根据清洗情况，可适量对高位槽4和低位槽3内补加清洗液，保持清洗所需的药液浓度。
[0025]本装置通过对石墨舟进行两次清洗，提升清洗的洁净性；清洗液在高位槽4和低位槽3之间循环利用，不仅使资源得到循环利用，也大大降低了清洗液的消耗，且清洗液利用高低液位差溢流的方式，也降低了能源消耗，降低了生产成本。
[0026]其中，高位槽4的槽底与低位槽3的槽底的高低落差为25cm。总进液泵5和逆流泵19均可选本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟的清洗装置，其特征在于，包括：清洗液容器(1)、高位槽(4)和低位槽(3)，所述高位槽(4)和所述低位槽(3)与所述清洗液容器(1)并联，所述高位槽(4)的槽底与所述低位槽(3)的槽底之间具有高低落差，所述高位槽(4)与所述低位槽(3)之间设有溢流管和逆流管，所述溢流管上设有溢流控制阀(17)，所述逆流管上设有逆流控制阀(18)和逆流泵(19)；所述高位槽(4)与所述清洗液容器(1)连通的第一管路(15)上设有第一控制阀(16)，所述低位槽(3)与所述清洗液容器(1)连通的第二管路(13)上设有第二控制阀(14)；所述清洗液容器(1)连通所述第一管路(15)和所述第二管路(13)的总管路(2)上设有总进液泵(5)。2.如权利要求1所述的石墨舟的清洗装置，其特征在于，所述高位槽(4)的槽底设有第一鼓泡气管(20)和第一过滤网(21)，所述第一过滤网(21)位于所述第一鼓泡气管(20)的上方，所述溢流管连通于所述高位槽(4)的所述第一过滤网(21)的下方。3.如权利要求1所述的石墨舟的清洗装置，其特征在于，所述溢流管为倾斜管，所述溢流管自所述高位槽(4)至所述低位...
【专利技术属性】
技术研发人员：顿海龙，王通，刘彩凤，冉祖辉，赵强，路培，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。