【技术实现步骤摘要】
本技术属于光伏电池，更具体地说，是涉及一种pecvd炉管多功用清洁装置。
技术介绍
1、pecvd，即等离子增强化学气相沉积，在太阳能电池生产制备过程中，用于太阳能电池表面沉积深蓝色减反膜。管式pecvd系统，即，使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。管式pecvd石英管在长时间使用后或真空泵停机死机时，反应物会沉积在石英管管壁，造成粉尘堆积，在使用时粉尘将在腔体内流动，吸附在太阳能电池的表面，造成产品表面污染。在这种情况发生时，需要对炉管内进行降温，清理石英管管壁粉尘。
2、目前在对炉管内壁进行粉尘清理时，多采用石英耙子把炉管内粉尘清理出炉管，这种方式清理不彻底，并且容易在炉管内出现粉尘残留；并且炉管底部石英部件两侧的粉尘不易清理。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种pecvd炉管多功用清洁装置，以解决现有技术中存在的镀膜炉管内壁和底部上的粉尘不易清理，且清理不彻底的技术问题。
2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种pecvd炉管多功用清洁装置，包括依次并列设置的吹扫块体、回收块体、刷除块体及两个连通管道：所述吹扫块体和所述回收块体均为中空结构，且所述吹扫块体上设有多个出气孔，多个所述出气孔设于所述吹扫块体的外侧面上且沿所述吹扫块体的周向布置，所述出气孔与所述吹扫块体内部相连通；所述回收块体上设有多个回收孔，多个所述回收孔设于所述回收块体外圆面上且沿所述回收块
3、在一种可能的实现方式中，所述吹扫块体和所述回收块体均为圆盘结构，多个所述出气孔形成多个呈环形布置的出气孔组，多个所述出气孔组间隔布置于所述吹扫块体的外侧面上；多个所述回收孔形成多个呈环形布置的回收孔组，多个所述回收孔组间隔布置于所述回收块体的外侧面上。
4、在一种可能的实现方式中，所述吹扫块体和所述回收块体的外侧面均为环形斜面，所述出气孔、所述回收孔分别开设于所述吹扫块体和所述回收块体的环形斜面上，所述出气孔的轴线方向、所述回收孔的轴线方向均与对应的所述环形斜面相垂直；所述吹扫块体上的环形斜面低端和所述回收块体上的环形斜面低端位于所述吹扫块体和所述回收块体相靠近的一侧。
5、在一种可能的实现方式中，所述出气孔为长条孔，所述回收孔为圆孔。
6、在一种可能的实现方式中，所述刷除块体为扇形结构，所述扇形结构的外侧面为所述弧形安装面。
7、在一种可能的实现方式中，两个所述连通管道上均设有开关阀和调压阀。
8、在一种可能的实现方式中，所述吹扫块体和所述回收块体之间设有第一连接杆，且所述第一连接杆的两端分别与所述吹扫块体和所述回收块体固定连接；所述刷除块体和所述回收块体之间设有第二连接杆，且所述第二连接杆的两端分别与所述刷除块体和所述回收块体固定连接。
9、在一种可能的实现方式中，所述第一连接杆和所述第二连接杆均为可调节伸缩杆。
10、在一种可能的实现方式中，所述回收块体上设有贯穿的第一安装孔，所述刷除块体上设有贯穿的第二安装孔和贯穿的第三安装孔，且所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴对齐；一个所述连通管道穿过所述第二安装孔、所述第一安装孔与所述吹扫块体相连接；另一个所述连通管道穿过所述第三安装孔与所述回收块体相连接。
11、在一种可能的实现方式中，所述刷除块体远离所述回收块体的侧面上设有用于与进出桨连接的固定部，所述固定部远离所述刷除块体的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设与所述连接孔相连通的螺孔，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨的端部穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。
12、本技术提供的pecvd炉管多功用清洁装置的有益效果在于：与现有技术相比，本技术pecvd炉管多功用清洁装置，使用时，先将吹扫块体、回收块体及刷除块体并列间隔设置且三者固定连接在一起，使用两个连通管道的一端分别与吹扫块体、回收块体相连接且与内部相连通，其中，一个连通管道向吹扫块体加入高压气体，另一个连通管道在回收块体内形成负压；而在刷除块体上安装毛刷，且将刷除块体与镀膜设备上的进出桨固定连接。启动镀膜设备的进出桨，由进出桨控制整个装置进入到炉管内部，然后反向驱动进出桨控制整个装置自内向外运动，且同时开启压缩气源和负压机。其中，高压气体进入一个连通管道而进入吹扫块体内部并穿过多个出气孔而在吹扫块体首尾形成环形风刀，继而将吸附在炉管内壁的氮化硅粉尘吹掉落；同时，负压机经过另一个连通管道而在回收块体的回收孔处形成负压，从而将自炉管内壁上下落的粉尘吸入回收孔内，并且该连通管道而排出炉管；在进出桨运动中驱动刷除块体沿炉管的轴向移动，而借助避让开口使毛刷与炉管内的石英部件两侧底部相接触，从而通过毛刷将该区域粉尘清理掉；该部分粉尘同样由回收孔负压吸附；通过这种方式，借助吹扫块体上多个出气孔所形成的环形风刀将炉管内壁上的粉尘吹落，在毛刷和避让缺口的限定下，将炉管内石英部件的两侧底部的粉尘进行清理，并借助回收块体上的多个回收孔所具有的负压吸附性能，将飘落的粉尘吸附回收；对炉管内壁的粉尘清理操作更为块捷、方便，达到提高炉管内壁粉尘清理效果的目的，粉尘清理更为彻底、完整。
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1.一种PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，包括依次并列设置的吹扫块体、回收块体、刷除块体及两个连通管道：所述吹扫块体和所述回收块体均为中空结构，且所述吹扫块体上设有多个出气孔，多个所述出气孔设于所述吹扫块体的外侧面上且沿所述吹扫块体的周向布置，所述出气孔与所述吹扫块体内部相连通；所述回收块体上设有多个回收孔，多个所述回收孔设于所述回收块体外圆面上且沿所述回收块体的周向布置，所述回收孔与所述回收块体内部相连通；所述刷除块体的外侧面设有弧形安装面和安装于所述弧形安装面上的毛刷，且所述毛刷设有用于与镀膜炉管底部的石英部件相对应的避让缺口；所述吹扫块体、所述回收块体及所述刷除块体间隔布置且固定连接，所述刷除块体用于与镀膜炉管的进出桨固定连接；两个所述连通管道的一端分别与所述吹扫块体和所述回收块体上的内部相连通，且两个所述连通管道的另一端分别用于与压缩气源和负压机相连接。
2.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述吹扫块体和所述回收块体均为圆盘结构，多个所述出气孔形成多个呈环形布置的出气孔组，多个所述出气孔组间隔布置于所述吹扫块体的外侧面上；多
3.如权利要求2所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述吹扫块体和所述回收块体的外侧面均为环形斜面，所述出气孔、所述回收孔分别开设于所述吹扫块体和所述回收块体的环形斜面上，所述出气孔的轴线方向、所述回收孔的轴线方向均与对应的所述环形斜面相垂直；所述吹扫块体上的环形斜面低端和所述回收块体上的环形斜面低端位于所述吹扫块体和所述回收块体相靠近的一侧。
4.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述出气孔为长条孔，所述回收孔为圆孔。
5.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述刷除块体为扇形结构，所述扇形结构的外侧面为所述弧形安装面。
6.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，两个所述连通管道上均设有开关阀和调压阀。
7.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述吹扫块体和所述回收块体之间设有第一连接杆，且所述第一连接杆的两端分别与所述吹扫块体和所述回收块体固定连接；所述刷除块体和所述回收块体之间设有第二连接杆，且所述第二连接杆的两端分别与所述刷除块体和所述回收块体固定连接。
8.如权利要求7所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述第一连接杆和所述第二连接杆均为可调节伸缩杆。
9.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述回收块体上设有贯穿的第一安装孔，所述刷除块体上设有贯穿的第二安装孔和贯穿的第三安装孔，且所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴对齐；一个所述连通管道穿过所述第二安装孔、所述第一安装孔与所述吹扫块体相连接；另一个所述连通管道穿过所述第三安装孔与所述回收块体相连接。
10.如权利要求1所述的PECVD炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述刷除块体远离所述回收块体的侧面上设有用于与进出桨连接的固定部，所述固定部远离所述刷除块体的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设与所述连接孔相连通的螺孔，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨的端部穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。
...【技术特征摘要】
1.一种pecvd炉管多功用清洁装置，其特征在于，包括依次并列设置的吹扫块体、回收块体、刷除块体及两个连通管道：所述吹扫块体和所述回收块体均为中空结构，且所述吹扫块体上设有多个出气孔，多个所述出气孔设于所述吹扫块体的外侧面上且沿所述吹扫块体的周向布置，所述出气孔与所述吹扫块体内部相连通；所述回收块体上设有多个回收孔，多个所述回收孔设于所述回收块体外圆面上且沿所述回收块体的周向布置，所述回收孔与所述回收块体内部相连通；所述刷除块体的外侧面设有弧形安装面和安装于所述弧形安装面上的毛刷，且所述毛刷设有用于与镀膜炉管底部的石英部件相对应的避让缺口；所述吹扫块体、所述回收块体及所述刷除块体间隔布置且固定连接，所述刷除块体用于与镀膜炉管的进出桨固定连接；两个所述连通管道的一端分别与所述吹扫块体和所述回收块体上的内部相连通，且两个所述连通管道的另一端分别用于与压缩气源和负压机相连接。
2.如权利要求1所述的pecvd炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述吹扫块体和所述回收块体均为圆盘结构，多个所述出气孔形成多个呈环形布置的出气孔组，多个所述出气孔组间隔布置于所述吹扫块体的外侧面上；多个所述回收孔形成多个呈环形布置的回收孔组，多个所述回收孔组间隔布置于所述回收块体的外侧面上。
3.如权利要求2所述的pecvd炉管多功用清洁装置，其特征在于，所述吹扫块体和所述回收块体的外侧面均为环形斜面，所述出气孔、所述回收孔分别开设于所述吹扫块体和所述回收块体的环形斜面上，所述出气孔的轴线方向、所述回收孔的轴线方向均与对应的所述环形斜面相垂直；所述吹扫块体上的环形斜面低端和所述回收块体上的环形斜面低端位于所述吹扫块体和所述回收块体相靠近的一侧。
【专利技术属性】
技术研发人员：张煌军，赵鹏，冉祖辉，韩永清，张志强，史金超，于波，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：新型
国别省市：
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