一种真空离子镀膜炉装炉架制造技术

本实用新型专利技术为一种真空离子镀膜炉装炉架，涉及真空离子镀膜领域。包括：主支撑轴，其竖直的可转动设置在所述真空离子镀膜炉内部，所述主支撑轴上端部设有支撑转盘；装炉挂钩，其设置在所述支撑转盘上；防脱盖板，其一端铰链连接在所述装炉挂钩上、另一端向下翻转至盖在所述装炉挂钩的钩子上，所述防脱盖板反向延伸出有摆动杆；以及盖板开合驱动结构，其设置在所述装炉挂钩与所述支撑转盘之间用以在所述装炉挂钩挂载加工件之后、通过所述盖板开合驱动结构驱动所述防脱盖板盖在所述装炉挂钩上。通过装炉挂钩挂载工件时，利用盖板开合驱动结构驱动防脱盖板盖在装炉挂钩上，以防止工件从装炉挂钩上滑脱造成工件的损伤以及工件镀膜失败的情况。败的情况。败的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种真空离子镀膜炉装炉架


[0001]本技术涉及真空离子镀膜
，尤其涉及一种真空离子镀膜炉装炉架。

技术介绍

[0002]真空离子镀膜是指在真空气氛中利用蒸发源或溅射靶使膜材蒸发或溅射，蒸发或溅射出来的一部分粒子在气体放电空间中电离成金属离子，这些粒子在电场作用下沉积到基体上生成薄膜的一种过程。真空离子镀膜设备在进行镀膜时，一般需要通过挂架等装炉架将工件进行挂载以对其表面进行镀膜处理。
[0003]如现有技术中，公开(公告)号：CN113604785A，专利标题：一种防掉落的真空离子镀膜用工件固定装置，该专利技术涉及镀膜装置
，支撑柱的左右两侧对称设置有调节杆，调节杆上等间距通过转轴和轴承旋转连接有数个连动杆，且连动杆的端部均固定设置有半齿轮；位于右侧的调节杆的下端固定连接有导向轮，导向轮的下侧设置有椭圆轮，且导向轮滚动贴设在椭圆轮的外侧壁上；支撑柱的左右两侧壁上从上到下依次等间距固定设置有数个承接板；相对应位置上的承接板和上封板之间的调节柱上均固定设置有支撑条，支撑条的一端上侧面上通过轴承垂直旋转设置有螺杆，螺杆的上端通过螺纹旋转套设有内螺纹管；能够对管状工件进行很好的夹持固定，有效的防止在镀膜过程中产生掉落，同时，使得镀膜更加均匀。
[0004]然而上述专利中是其中一种对加工工件固定的一种方式，还有很多挂载形式的挂架，通过挂钩挂载工件以进行镀膜，然而在装炉架边转动边镀膜过程中，很容易将工件甩脱，挂载工件不牢将导致对工件的损伤以及镀膜失败，为了解决这一问题，需要设计一种真空离子镀膜炉装炉架。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决上述问题而提供一种真空离子镀膜炉装炉架。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]本技术的一种真空离子镀膜炉装炉架，包括：
[0008]主支撑轴，其竖直的可转动设置在所述真空离子镀膜炉内部，所述主支撑轴上端部设有支撑转盘；
[0009]装炉挂钩，其设置在所述支撑转盘上；
[0010]防脱盖板，其一端铰链连接在所述装炉挂钩上、另一端向下翻转至盖在所述装炉挂钩的钩子上，所述防脱盖板反向延伸出有摆动杆；
[0011]以及盖板开合驱动结构，其设置在所述装炉挂钩与所述支撑转盘之间用以在所述装炉挂钩挂载加工件之后、通过所述盖板开合驱动结构驱动所述防脱盖板盖在所述装炉挂钩上。
[0012]优选的，所述装炉挂钩为设置在所述支撑转盘上的多组。
[0013]优选的，所述盖板开合驱动结构为结构相同的多组并与多组所述装炉挂钩之间一
一对应设置。
[0014]优选的，所述装炉挂钩为挂载下坠物体的钩子其上端部具有向上延伸的纵杆。
[0015]优选的，所述盖板开合驱动结构包括：
[0016]支撑滑杆，其纵向连接在所述支撑转盘下表面边缘位置，所述支撑滑杆下端部连接有限位板；
[0017]滑动套筒，其为筒状结构并套设在所述支撑滑杆上以滑动于所述支撑滑杆上，所述滑动套筒外侧表面连接有水平支撑杆，所述水平支撑杆与所述纵杆上端部连接；
[0018]压缩弹簧，其套设在所述支撑滑杆上并被压缩在所述滑动套筒与所述限位板之间；
[0019]以及开合联动驱动结构，其设置在所述限位板与所述装炉挂钩之间用以在装炉挂钩挂载加工件向下坠时、通过所述开合联动驱动结构驱动所述防脱盖板盖在所述装炉挂钩的钩子上。
[0020]优选的，所述开合联动驱动结构包括：
[0021]下连杆，其纵向垂直连接在所述限位板下表面；
[0022]以及滑动套环，其为圆环结构并套设在所述摆动杆上以滑动于所述摆动杆上，所述滑动套环外侧表面上端部铰链连接在所述下连杆的下端部。
[0023]在上述技术方案中，本技术提供的一种真空离子镀膜炉装炉架，具有以下有益效果：
[0024]通过装炉挂钩挂载工件时，利用盖板开合驱动结构驱动防脱盖板盖在装炉挂钩上，以防止工件从装炉挂钩上滑脱造成工件的损伤以及工件镀膜失败的情况。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本技术实施例提供的一种真空离子镀膜炉装炉架的结构示意图；
[0027]图2为本技术实施例提供的一种真空离子镀膜炉装炉架的盖板开合驱动结构使防脱盖板盖在装炉挂钩上的示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]1、主支撑轴；2、支撑转盘；3、装炉挂钩；4、防脱盖板；5、摆动杆；6、纵杆；7、支撑滑杆；8、限位板；9、滑动套筒；10、水平支撑杆；11、压缩弹簧；12、下连杆；13、滑动套环。
具体实施方式
[0030]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图对本技术作进一步的详细介绍。
[0031]请参阅图1
‑
2，一种真空离子镀膜炉装炉架，首先本装置为装载在真空离子镀膜炉的炉内的支撑镀膜工件的装炉架，可以是通过在本装置底部设置底座直接放置在真空离子镀膜炉内，也可以通过旋转的驱动结构等结构支撑本装炉架边转动，边进行镀膜，但此为本领域技术工作人员所熟知的公知常识，在此不再赘述，本真空离子镀膜炉装炉架包括：
[0032]主支撑轴1，其竖直的可转动设置在真空离子镀膜炉内部，主支撑轴1上端部设有支撑转盘2；
[0033]装炉挂钩3，其设置在支撑转盘2上用以挂载镀膜工件；
[0034]防脱盖板4，其一端铰链连接在装炉挂钩3上、另一端向下翻转至盖在装炉挂钩3的钩子上，防脱盖板4反向延伸出有摆动杆5；
[0035]以及盖板开合驱动结构，其设置在装炉挂钩3与支撑转盘2之间用以在装炉挂钩3挂载加工件之后、通过盖板开合驱动结构驱动防脱盖板4盖在装炉挂钩3上。
[0036]综上所述，通过装炉挂钩3挂载工件时，利用盖板开合驱动结构驱动防脱盖板4盖在装炉挂钩3上，以防止工件从装炉挂钩3上滑脱造成工件的损伤以及工件镀膜失败的情况。
[0037]进一步的，装炉挂钩3为设置在支撑转盘2上的多组，进而能够挂载更多数量的工件进行镀膜加工。
[0038]进一步的，盖板开合驱动结构为结构相同的多组并与多组装炉挂钩3之间一一对应设置，以实现与多组装炉挂钩3的一对一使用。
[0039]进一步的，装炉挂钩3为挂载下坠物体的钩子其上端部具有向上延伸的纵杆6。
[0040]进一步的，盖板开合驱动结构包括：
[0041]支撑滑杆7，其纵向连接在支撑转盘2下表面边缘位置，支撑滑杆7下端部连接有限位板8；
[0042]滑动套筒9，其为筒状结构并套设在支撑滑杆7上以滑动于支撑滑杆7上，滑动套筒9外侧表面连接有水平支撑杆10，水平支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空离子镀膜炉装炉架，其特征在于，包括：主支撑轴(1)，其竖直的可转动设置在所述真空离子镀膜炉内部，所述主支撑轴(1)上端部设有支撑转盘(2)；装炉挂钩(3)，其设置在所述支撑转盘(2)上；防脱盖板(4)，其一端铰链连接在所述装炉挂钩(3)上、另一端向下翻转至盖在所述装炉挂钩(3)的钩子上，所述防脱盖板(4)反向延伸出有摆动杆(5)；以及盖板开合驱动结构，其设置在所述装炉挂钩(3)与所述支撑转盘(2)之间用以在所述装炉挂钩(3)挂载加工件之后、通过所述盖板开合驱动结构驱动所述防脱盖板(4)盖在所述装炉挂钩(3)上。2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜炉装炉架，其特征在于，所述装炉挂钩(3)为设置在所述支撑转盘(2)上的多组。3.根据权利要求2所述的一种真空离子镀膜炉装炉架，其特征在于，所述盖板开合驱动结构为结构相同的多组并与多组所述装炉挂钩(3)之间一一对应设置。4.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜炉装炉架，其特征在于，所述装炉挂钩(3)为挂载下坠物体的钩子其上端部具有向上延伸的纵杆(6)。5.根据权利要求4所述的一种真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军杰，丁白瑜，缪兴绪，王泽文，王泽宁，
申请(专利权)人：青岛华庆鑫悦科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：