一种真空离子镀膜夹具制造技术

技术编号:37916793 阅读:45 留言:0更新日期:2023-06-21 22:39
本实用新型专利技术为一种真空离子镀膜夹具,涉及真空离子镀膜技术领域,解决了解决现有技术中真空离子镀膜夹具对管状工件夹持固定效率低的技术问题。包括:旋转底盘,所述旋转底盘底部由旋转支撑机构转动支撑在真空离子镀膜机内部;上立柱,其竖直连接在所述旋转底盘上表面中心位置并随所述旋转底盘转动;底托,其设置在所述旋转底盘上表面靠近边缘的位置用以承托待镀膜管件底部;套管,其套设在所述上立柱上并沿所述上立柱滑动,所述套管上设有紧固机构用以将所述套管紧固在所述上立柱上;以及上摆杆,其一端铰链连接在所述上立柱外侧表面上、另一端设有插入待镀膜管件顶端内部的插杆。杆。杆。

【技术实现步骤摘要】
一种真空离子镀膜夹具


[0001]本技术涉及真空离子镀膜
,尤其涉及一种真空离子镀膜夹具。

技术介绍

[0002]真空离子镀膜是指在真空气氛中利用蒸发源或溅射靶使膜材蒸发或溅射,蒸发或溅射出来的一部分粒子在气体放电空间中电离成金属离子,这些粒子在电场作用下沉积到基体上生成薄膜的一种过程。真空离子镀膜设备在进行镀膜时,一般需要通过支架等装炉架将工件进行挂载或固定以对其表面进行镀膜处理。
[0003]如现有技术中,公开(公告)号:CN211734463U,专利标题:一种用于真空离子镀膜的工件固定装置,该技术公开了一种用于真空离子镀膜的工件固定装置,包括底环,通过在底环的内壁设置吸盘固定机构,使吸盘固定机构吸附真空离子镀膜机内腔的下表面,从而固定本技术,方便安装和拆卸,通过在螺杆的下部外壁铰接第一连接杆,第一连接杆铰接弧形板,在螺杆的上部外壁螺接螺环,螺环的底端外壁螺接连接环,连接环的外壁铰接第二连接杆,且第二连接杆的外端与弧形板的上部内壁相铰接,当向下转动螺环,使若干个弧形板向外膨胀,从而紧密贴合管类工件的内壁,使管类工件固定。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空离子镀膜夹具,其特征在于,包括:旋转底盘(1),所述旋转底盘(1)底部由旋转支撑机构转动支撑在真空离子镀膜机内部;上立柱(2),其竖直连接在所述旋转底盘(1)上表面中心位置并随所述旋转底盘(1)转动;底托(3),其设置在所述旋转底盘(1)上表面靠近边缘的位置用以承托待镀膜管件底部;套管(4),其套设在所述上立柱(2)上并沿所述上立柱(2)滑动,所述套管(4)上设有紧固机构用以将所述套管(4)紧固在所述上立柱(2)上;以及上摆杆(5),其一端铰链连接在所述上立柱(2)外侧表面上、另一端设有插入待镀膜管件顶端内部的插杆(6)。2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜夹具,其特征在于,所述旋转支撑机构包括:下立柱(7),其一端同轴连接在所述旋转底盘(1)下表面上、另一端通过轴承与真空离子镀膜机内部的底面之间转动连接;以及驱动电机(8),其设置在真空离子镀膜机底部,所述驱动电机(8)的旋转端上设有主动轮(9),所述下立柱(7)上同轴套设有从动轮(10),所述主动轮(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员:王军杰丁白瑜王泽宁王泽文缪兴绪
申请(专利权)人:青岛华庆鑫悦科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:

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