镀膜承载夹具制造技术

本实用新型专利技术属于磁控溅射镀膜技术领域，公开了一种镀膜承载夹具，镀膜承载夹具包括框架、伸缩卡扣和托扣块，框架竖直设置，伸缩卡扣设置于框架上且位于框架的上侧，伸缩卡扣包括卡扣块和弹性体，卡扣块能沿竖直方向移动，且弹性体被配置为提供卡扣块朝向框架下侧移动的力，卡扣块能与玻璃基板的上边缘抵接，托扣块设置于框架上且位于框架的下侧，托扣块能与玻璃基板的下边缘抵接。本实用新型专利技术提供的镀膜承载夹具，在弹性体的作用下，卡扣块与托扣块将玻璃基板固定于框架上，安装方便且牢固可靠，且卡扣块与玻璃基板的接触面积较大，有效防止玻璃基板损坏的情况发生。防止玻璃基板损坏的情况发生。防止玻璃基板损坏的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
镀膜承载夹具


[0001]本技术涉及磁控溅射镀膜
，尤其涉及一种镀膜承载夹具。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，涂层材料一直保持固态，不形成熔池。
[0003]在玻璃基板镀膜前需通过夹具固定并送入镀膜设备中，现有技术中，如图1所示，夹具的上方设置有两组由钢丝制成的弹簧卡扣10，夹具的下方设置有由不锈钢片制成的支撑板20，玻璃基板30置于支撑板20上并通过弹簧卡扣10固定，不方便操作，在拆装及转移玻璃基板30的过程中，因弹簧卡扣10与玻璃基板30的接触面积小，玻璃基板30易于在弹簧卡扣10处出现裂纹或损坏，且弹簧卡扣10经长时间使用弹性会减弱导致玻璃基板30具有脱落的风险。因此，亟需一种镀膜承载夹具以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种镀膜承载夹具，能方便牢固的固定玻璃基板，且有效防止玻璃基板损坏的情况发生。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.镀膜承载夹具，其特征在于，包括：框架(100)，所述框架(100)竖直设置；伸缩卡扣(200)，设置于所述框架(100)上且位于所述框架(100)的上侧，所述伸缩卡扣(200)包括卡扣块(210)和弹性体(220)，所述卡扣块(210)能沿竖直方向移动，且所述弹性体(220)被配置为提供所述卡扣块(210)朝向所述框架(100)下侧移动的力，所述卡扣块(210)能与玻璃基板(30)的上边缘抵接；托扣块(300)，设置于所述框架(100)上且位于所述框架(100)的下侧，所述托扣块(300)能与所述玻璃基板(30)的下边缘抵接。2.根据权利要求1所述的镀膜承载夹具，其特征在于，所述伸缩卡扣(200)还包括：固定座(230)，固定于所述框架(100)上，所述固定座(230)开设有安装槽，所述安装槽内设置所述弹性体(220)，所述弹性体(220)的第一端与所述安装槽的槽底抵接；连接杆(240)，所述连接杆(240)的第一端滑动设置于所述安装槽内，且所述连接杆(240)的第一端与所述弹性体(220)的第二端抵接，所述连接杆(240)的第二端置于所述安装槽外并固定连接所述卡扣块(210)。3.根据权利要求1所述的镀膜承载夹具，其特征在于，所述卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱松山，洪耀，李晓波，张民井，乔文健，
申请(专利权)人：枣庄睿诺电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：