下载镀膜承载夹具的技术资料

文档序号:37896593

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本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域,公开了一种镀膜承载夹具,镀膜承载夹具包括框架、伸缩卡扣和托扣块,框架竖直设置,伸缩卡扣设置于框架上且位于框架的上侧,伸缩卡扣包括卡扣块和弹性体,卡扣块能沿竖直方向移动,且弹性体被配置为提供卡扣块朝向框架下...
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