【技术实现步骤摘要】
一种光罩移动系统、光罩移动控制方法
[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种光罩移动系统、光罩移动控制方法。
技术介绍
[0002]如图1所示，光罩在升降平台上出现偏移，这种偏移是因为光罩的夹头夹持装置的胶条磨损，进而造成光罩在夹头夹持装置上位置已经出现偏移，参见图2(光罩已经发生倾斜)，在夹头夹持装置垂直下降，将光罩放到升降平台时就会出现位置偏移，造成机台宕机或者光罩损坏。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供了一种光罩移动系统、光罩移动控制方法，用以避免光罩在升降平台上的位置偏移，从而避免机台宕机或者光罩损坏。
[0004]本申请实施例提供的一种光罩移动系统，包括：
[0005]升降平台，用于承接光罩；所述升降平台上设置有至少一个第一传感器，所述第一传感器用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的距离，并将所述距离发送给控制装置；
[0006]驱动装置，所述驱动装置与夹持装置连接，用于驱动夹持装置动作；
[0007]夹持装置，用于在驱动装置的驱动下，夹持所述光罩...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种光罩移动系统，其特征在于，所述系统包括：升降平台，用于承接光罩；所述升降平台上设置有至少一个第一传感器，所述第一传感器用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的距离，并将所述距离发送给控制装置；驱动装置，所述驱动装置与夹持装置连接，用于驱动夹持装置动作；夹持装置，用于在驱动装置的驱动下，夹持所述光罩，并将所述光罩放置在所述升降平台上；控制装置，用于接收所述第一传感器发送的所述距离，并利用所述距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置与预设位置是否存在偏差，当存在偏差时，控制所述驱动装置对所述夹持装置的驱动，将所述夹持装置夹持的光罩放置在所述升降平台上的所述预设位置。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述升降平台包括：与所述光罩的第一顶角位置对应设置的第一承载结构、与所述光罩的第二顶角位置对应设置的第二承载结构、与所述光罩的第三顶角位置对应设置的第三承载结构、与所述光罩的第四顶角位置对应设置的第四承载结构；所述升降平台上设置有八个传感器：位于所述第一承载结构上的第一传感器、第二传感器，位于所述第二承载结构上的第三传感器、第四传感器，位于所述第三承载结构上的第五传感器、第六传感器，位于所述第四承载结构上的第七传感器、第八传感器；其中，位于同一承载结构上的两个传感器，分别用于获取水平面x坐标方向上与所述光罩之间的距离，以及水平面y坐标方向上与所述光罩之间的距离。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述驱动装置包括水平驱动装置；所述第一传感器，具体用于检测所述光罩与所述第一传感器之间的水平距离；所述控制装置，利用所述水平距离判断所述光罩在所述升降平台上的当前位置，与预设位置是否存在偏差，当存在所述偏差时，控制所述水平驱动装置在水平方向上对所述夹持装置的驱动，使得所述夹持装置将夹持的光罩在水平方向上进行位置调整后，将所述光罩置于所述升降平台上的所述预设位置。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述夹持装置包括与所述光罩的外周四个边分别对应设置的：第一夹头夹持装置、第二夹头夹持装置、第三夹头夹持装置、第四夹头夹持装置；其中，所述第一夹头夹持装置与所述第二夹头夹持装置相对设置，所述第三夹头夹持装置与所述第四夹头夹持装置相对设置；所述水平驱动装置包括：第一驱动模组、第二驱动模组、第三驱动模组、第四驱动模组；其中，所述第一驱动模组用于驱动所述第一夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第二驱动模组用于驱动所述第二夹头夹持装置沿水平面的x坐标方向移动，所述第三驱动模组用于驱动所述第三夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动，所述第四驱动模组用于驱动所述第四夹头夹持装置沿水平面的y坐标方向移动。5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：竖直偏移检测装置，用于检测所述光罩在垂直于水平面的竖直方向上是否发生位置偏差，并将检测结果发送给所述控制装置；所述驱动装置还包括竖直驱动装置；所述控制装置，还用于根据所述检测结果，当确定需要在所述竖直方向上调整所述光
技术研发人员：李佳佳，梁学玉，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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