一种准周期微纳结构的图案化制备方法技术

本发明专利技术公开了一种准周期微纳结构的图案化制备方法，包括以下步骤：1)在基底上制备光刻胶薄膜，再通过光刻工艺制作图案化光刻胶薄膜；2)在经步骤1)处理后的基底上沉积带有图形化光刻胶的导电薄膜，然后去除光刻胶，得带有图形化导电薄膜；3)在具有带有图形化导电薄膜的基底上沉积可溶性材料层，风干后，得可溶性材料薄膜；4)将带有图形化导电薄膜接地或连接于与静电雾化电压相反的偏压，然后通过电雾化可溶性材料薄膜对应的溶剂，在可溶性材料薄膜的表面沉积微纳尺度液滴，形成具有图案化准周期微纳结构的薄膜，该方法能够实现大面积图案化制造的准周期微纳结构，且具有工艺简单、成本低的特点。本低的特点。本低的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种准周期微纳结构的图案化制备方法


[0001]本专利技术属于微纳制造领域，涉及一种准周期微纳结构的图案化制备方法。

技术介绍

[0002]自然界的各种生物经过长时间的进化，每一种生物都拥有着近乎完美的结构与功能，能够适应复杂的生存环境。每一种生物都是一座天然的宝藏等待着研究者去发掘与利用。加利福尼亚大学的Marc Andr
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Meyers提出大多数生物的功能并不是由单独的材料特性所决定的，功能结构的特殊排布也起到了至关重要的作用。生物的功能型表界面一般是由准周期的微纳结构组装而成，人类要想将这些优秀的性能化为己用，就必须将这些具有特定功能的微纳结构制造出来，目前常规的仿生结构制造工艺有光刻、刻蚀、生物模板法、呼吸图法、面曝光3D打印以及激光加工等方法。光刻、刻蚀以及激光加工等方法加工成本高，工艺复杂而且很难进行曲面加工；生物模板法受限于生物模板的尺寸无法大批量规模化制造且只能复制较为简单的结构；呼吸图法成本低廉但是对制备环境湿度要求非常严格，而且只能成形蜂窝状二维结构，成形能力差且可控性差；面曝光3D打印工艺可以成形三维结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准周期微纳结构的图案化制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在基底(11)上制备光刻胶薄膜(12)，再通过光刻工艺制作图案化光刻胶薄膜(13)；2)在经步骤1)处理后的基底(11)上沉积带有图形化光刻胶的导电薄膜(14)，然后去除光刻胶，得带有图形化导电薄膜(15)；3)在具有带有图形化导电薄膜(15)的基底(11)上沉积可溶性材料层，风干后，得可溶性材料薄膜(16)；4)将带有图形化导电薄膜(15)接地或连接于与静电雾化电压相反的偏压，然后通过电雾化可溶性材料薄膜(16)对应的溶剂，在可溶性材料薄膜(16)的表面沉积微纳尺度液滴，由于带有图形化导电薄膜(15)的存在，微纳尺度液滴在电场的作用下定向沉积于带有图形化导电薄膜(15)的位置，并且在电场的作用下形成具有图案化准周期微纳结构的薄膜(17)，其中，无带有图形化导电薄膜(15)部分的液滴受到基底(11)的排斥力被环状液滴回收装置回收蒸发，完成准周期微纳结构的图案化。2.根据权利要求1所述的准周期微纳结构的图案化制备方法，其特征在于，步骤1)中，在基底(11)上采用旋涂或刮刀涂布的方式制备光刻胶薄膜(12)。3.根据权利要求1所述的准周期微纳结构的图案化制备方法，其特征在于，步骤1)中的基底(11)包括玻璃及聚合物衬底。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王莉，裴跃琛，罗钰，冯学明，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：