下载一种准周期微纳结构的图案化制备方法的技术资料

文档序号:38637963

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本发明公开了一种准周期微纳结构的图案化制备方法,包括以下步骤:1)在基底上制备光刻胶薄膜,再通过光刻工艺制作图案化光刻胶薄膜;2)在经步骤1)处理后的基底上沉积带有图形化光刻胶的导电薄膜,然后去除光刻胶,得带有图形化导电薄膜;3)在具有带有...
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