微机械结构元件制造技术

一种微机械结构元件(100)，所述微机械结构元件具有：

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微机械结构元件


[0001]本专利技术涉及一种微机械结构元件。此外，本专利技术还涉及一种用于制造微机械结构元件的方法。

技术介绍

[0002]已知微机械压力传感器，在所述微机械压力传感器中，膜片夹紧在框架结构中，其中，该框架结构可以例如由硅块状材料(Silizium Bulk
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Material)(单晶硅晶片)制成或者但是在OMM技术(
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Mikromechanik，表面微机械)中制造。在使用OMM技术时，该框架通常由多晶硅构成。
[0003]由DE 10 2018 222 715 A1已知一种压力传感器，在该压力传感器中，膜片夹紧部(Membraneinspannung)不是由连续环绕的框架构成，而是由单个的锚结构构成。
[0004]尤其是在低压传感器的情况下，使用薄的和/或大的膜片，以便可以由此实现良好的测量灵敏性/响应灵敏性。为了使得这些传感器在较高的压力的情况下(例如在过载情况下)不受损伤，膜片尽管如此仍必须具有高稳定性。尤其是在膜片的夹紧区域上或者在膜片加固结构的棱边上，在过载情况下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微机械结构元件(100)，所述微机械结构元件具有：
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膜片(10)；其中，
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所述膜片(10)在至少一个锚结构(13)的区域中具有至少一个增强结构(20)，所述增强结构在几何形状方面以定义的方式构造，借助所述增强结构以定义的方式增强所述膜片(10)，
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其中，所述增强结构(20)在至少一个锚结构(13)的区域中包括被包围的至少一个附加元件(5)。2.根据权利要求1所述的微机械结构元件(100)，其特征在于，所述附加元件(5)完全被多晶硅包围。3.根据权利要求1或2所述的微机械结构元件(100)，其特征在于，各个单独的锚结构(13)的增强器结构(20)不连贯。4.根据上述权利要求中任一项所述的微机械结构元件(100)，其特征在于，所述增强结构(20)构造为越过所述至少一个锚结构(13)以定义的方式重叠。5.根据权利要求4所述的微机械结构元件(100)，其特征在于，所述增强结构(20)的凸起相对于剩余的膜片(10)的横向尺寸...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：罗伯特，
类型：发明
国别省市：