【技术实现步骤摘要】
一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置及方法
[0001]本专利技术涉及超声能场辅助电解加工领域，具体是一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置及方法。
技术介绍
[0002]目前，国内常用的微群缝加工方法有微细铣削加工技术、微细电火花线切割加工技术、刻蚀加工技术、微细电解加工技术等。
[0003]微细铣削加工技术成熟，加工精度和效率较高，但微型刀具制造困难，刀具磨损消耗大，会产生飞边、毛刺和表面应力等。微细电火花线切割加工属于特种加工，不受材料性能限制，加工精度和效率较高，且无机械应力，但工具电极损耗大，会产生热影响区，且加工不连续的微群缝阵列时，加工过程繁琐，效率低。刻蚀加工采用感光胶为掩膜，根据所需加工形状对掩膜进行预处理，然后进行刻蚀，原理简单，但工艺可控性差，加工过程繁琐，加工成本高。
[0004]微细电解加工技术是一种利用电化学阳极溶解原理，以离子单位去除材料的特种加工技术，其优点有不受材料硬度影响，加工过程不会产生机械应力及飞边、毛刺，工具无损耗等，较为适合微群...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置，包括机床传动系统（1）和电解液循环系统（5），所述电解液循环系统（5）包括加工槽（5
‑
1），所述加工槽（5
‑
1）固定于机床传动系统（1）上，所述加工槽（5
‑
1）内设有电解加工腔体系统（4），其特征在于所述电解加工腔体系统（4）上方设有超声能场辅助系统（2），其中超声能场辅助系统（2）上设有用于夹持待加工工件（3）的工件夹具（2
‑
5），所述超声能场辅助系统（2）与机床传动系统（1）固定连接。2.根据权利要求1所述的一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置，其特征在于所述超声能场辅助系统（2）包括换能器夹具（2
‑
2），其中换能器夹具（2
‑
2）上设有一组换能器（2
‑
1），每个换能器（2
‑
1）的底部设有变幅杆（2
‑
4），其中工件夹具（2
‑
5）设置于变幅杆（2
‑
4）的底部，所述工件夹具（2
‑
5）与变幅杆（2
‑
4）螺纹连接，所述变幅杆（2
‑
4）与换能器（2
‑
1）螺纹连接，所述换能器（2
‑
1）通过夹紧机构固定于换能器夹具（2
‑
2）上。3.根据权利要求2所述的一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置，其特征在于所述换能器（2
‑
1）的底端开设有密封槽，其中密封圈（2
‑
3）安装于密封槽上；以阵列排布的换能器（2
‑
1）与换能器电源线性连接。4.根据权利要求3所述的一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置，其特征在于所述电解加工腔体系统（4）包括上腔体（4
‑
1），所述上腔体（4
‑
1）上设有一组独立腔体，其中上腔体（4
‑
1）与下腔体（4
‑
6）相贯通，每个独立腔体的内壁面上设有用于控制压力的压力控制机构，其中成型电极（4
‑
4）固定于上腔体（4
‑
1）和下腔体（4
‑
6）之间，压力传感器（4
‑
5）通过卡槽固定在成型电极（4
‑
4）上，所述下腔体（4
‑
6）固定于加工槽（5
‑
1）内。5.根据权利要求4所述的一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置，其特征在于所述压力控制机构包括电动机（4
‑
2），所述电动机（4
‑
2）安装于上腔体（4
‑
1）的外表面，所述电动机（4
‑
2）的输出轴设有齿轮一，所述上腔体（4
‑
1）上的各独立腔体内设有压力控制部件（4
‑
3），所述齿轮一与压力控制部件（4
‑
3）相配合。6.根据权利要求5所述的一种应用于多工位微群缝阵列加工的超声能场辅助电解加工装置，其特征在于所述压力控制部件（4
‑
3）包括上固定圈（4
‑3‑
1）和下固定圈（4
‑3‑
3），其中上固定圈（4
‑3‑
1）和下固定圈（4
‑3‑
3）之间设有旋转圈（4
‑3‑
2）；所述上固定圈（4
‑3‑
1）和下固定圈（4
‑3‑
3）固定在上腔体（4
‑
1）内壁面上，其中旋转圈（4
‑3‑
2）在上固定圈（4
‑3‑
1）和下固定圈（4
‑3‑
3）之间转动，且旋转圈（4
‑3‑
...
【专利技术属性】
技术研发人员：王明环，衡鑫，刘文君，管双庆，田汝军，许雪峰，陈国达，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：
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