本实用新型专利技术公开了一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室，烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，下烘烤组件和上烘烤组件分别设置于掩膜版支撑架的下方和上方，掩膜版支撑架与上烘烤组件和下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；上烘烤组件固定安装于烘烤室内，上下料抬版空间高度为上烘烤组件与掩膜版支撑架之间距离；本技术方案通过升降机构带动掩膜版支撑架和下烘烤组件上升，压缩上下料抬版空间高度和上下料抬版臂进出空间高度，上烘烤组件和下烘烤组件靠近掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版，实现掩膜版近距离烘烤，受热均匀，烘干快速，烘干效率高。烘干效率高。烘干效率高。
【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置
[0001]本技术属于掩膜版加工设备领域，更具体的说涉及一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置。
技术介绍
[0002]光刻工艺是掩膜版制作工艺中的重要组成部分，其中光刻胶烘干是光刻工艺中必不可少的一道工序。为了去除光刻胶中的溶剂，提高光刻胶与玻璃铬板表面的粘附性，释放旋转涂胶产生的内应力，通常采用加热板加热或者烘箱加热的方式对光刻胶进行干燥。现有技术中，在掩膜版烘干时，因掩膜版上下料操作，需要占据较大空间，这样就使得掩膜版距离热源较远，烘干效率较低，同时较大的上下料操作空间使得烘干区域内温度场不均匀，掩膜版烘干时受热不均匀，无法满足大尺寸掩膜版的烘干生产需求。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置,解决
技术介绍
中存在的问题，获得烘干效率高，烘干中加热均匀的大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置。
[0004]本技术技术方案一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室，所述烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，所述下烘烤组件和所述上烘烤组件分别设置于所述掩膜版支撑架的下方和上方，所述掩膜版支撑架与所述上烘烤组件和所述下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；
[0005]所述上烘烤组件固定安装于所述烘烤室内，所述上下料抬版空间高度为所述上烘烤组件与所述掩膜版支撑架之间距离；
[0006]所述下烘烤组件底部和顶部分别连接有升降机构和伸缩支撑架，所述伸缩支撑架远离所述下烘烤组件端与所述掩膜版支撑架底部固接，所述上下料抬版臂进出空间高度为所述下烘烤组件与所述掩膜版支撑架之间距离；
[0007]所述升降机构带动所述掩膜版支撑架和所述下烘烤组件上升，压缩所述上下料抬版空间高度和所述上下料抬版臂进出空间高度，所述上烘烤组件和所述下烘烤组件靠近所述掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版。
[0008]优选地，所述掩膜版支撑架包括相对设置的两L型支撑块，两所述L型支撑块形成掩膜版放置区，所述L型支撑块的支撑面与所述上烘烤组件之间距离为所述上下料抬版空间，所述L型支撑块的支撑与所述下烘烤组件之间距离为所述上下料抬版臂进出空间；
[0009]两所述L型支撑块底部分别连接有导向移动机构，两所述导向移动机构分别驱动两所述L型支撑块做相向靠近或向背远离；
[0010]两所述导向移动机构均包括平行设置的导轨和丝杆，两所述丝杆相离的一端均分别连接有伺服电机。
[0011]优选地，两所述导向移动机构之间留有间距，所述间距宽度为所述上下料抬版臂进出空间宽度；两所述导向移动机构底部分别连接有安装座，所述上下料抬版臂进出空间
位于两所述安装座之间；
[0012]所述安装座包括相对设置的条形支撑板，两所述条形支撑板分别置于所述导向移动机构两端，所述导轨两端分别与两所述条形支撑板固接，所述丝杆两端分别与所述条形支撑板连接，所述伺服电机与一条形支撑板固定安装。
[0013]优选地，所述伸缩支撑架包括若干弹簧套筒，所述弹簧套筒两端分别连接所述条形支撑板底面和所述升降机构，所述弹簧套筒包括一端与所述条形支撑板固接的套筒本体、置于所述套筒本体内且同轴设置的螺旋弹簧和连接于所述螺旋弹簧远离所述条形支撑板端的伸缩轴，所述伸缩轴由套筒本体远离所述条形支撑板端穿出所述套筒本体并与所述下烘烤组件固接。
[0014]优选地，所述升降机构包括用于安装所述下烘烤组件的升降支撑板和连接于所述升降支撑板底面上的升降气缸与导向柱组件，所述导向柱组件包括一端与所述升降支撑板底面固接的内导柱和套设在所述内导柱外部且一端与所述烘烤室底面固接的外导柱，所述外导柱内径与所述内导柱外径相适应。
[0015]优选地，所述下烘烤组件包括下烘烤板，所述下烘烤板安装于所述升降支撑板上表面上，且所述下烘烤板面积与所述掩膜版支撑架能够支撑的掩膜版最大尺寸相适应。
[0016]优选地，所述上烘烤组件包括上烘烤板和限位组件，所述上烘烤板与所述烘烤室内壁固定安装，所述限位组件设置在所述上烘烤板与所述掩膜版支撑架之间，限制所述掩膜版支撑架上升位移。
[0017]优选地，所述换气组件包括进气格栅和排气格栅，所述进气格栅和所述排气格栅分别嵌置于所述烘烤室相对的两侧壁上且均位于所述上烘烤组件和所述掩膜版支撑架之间；
[0018]所述进气格栅外部连接有进气导气罩，所述进气导气罩上连接有进气风机，所述进气风机的进风口连接有供气箱，所述供气箱上设置有与外部环境导通的入气口，所述供气箱内设置有过滤器；
[0019]所述排气格栅外部连接有排气导气罩，所述排气导气罩上连接有排风管，所述排风管另一端连接有机废气处理装置。
[0020]优选地，所述烘烤室由烘烤箱本体和箱门形成，所述烘烤箱本体外部且位于所述箱门顶部位置设置有离子风棒，所述离子风棒朝向通过所述箱门的掩膜版设置。
[0021]本技术技术方案一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置的有益效果是：通过升降机构带动掩膜版支撑架和下烘烤组件上升，压缩上下料抬版空间高度和上下料抬版臂进出空间高度，上烘烤组件和下烘烤组件靠近掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版，实现掩膜版近距离烘烤，受热均匀，烘干快速，烘干效率高。
附图说明
[0022]图1为本技术方案一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置外部结构示意图。
[0023]图2为本技术方案一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置内部结构示意图。
[0024]图3为图2的轴测图。
[0025]图4为图2的主视图。
具体实施方式
[0026]为便于本领域技术人员理解本技术技术方案，现结合具体实施例和说明书附图对本技术技术方案做进一步的说明。
[0027]如图2所示，本技术技术方案一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室1，烘烤室1内设置有掩膜版支撑架5、下烘烤组件4、上烘烤组件3和换气组件8，下烘烤组件4和上烘烤组件3分别设置于掩膜版支撑架5的下方和上方。为便于待烘烤掩膜版上料和烘烤完成的掩膜版下料，以及为提高上下料效率，降低上下料劳动强度，同时适合大尺寸大质量的掩膜版快速上下料，在掩膜版支撑架5与上烘烤组件3和下烘烤组件4之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间。通过布置足够大的上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间，实现机器人和机器臂自动上下料，确保上下料效率和安全性。
[0028]本方案中，上烘烤组件3固定安装于烘烤室1内，上下料抬版空间高度为上烘烤组件3与掩膜版支撑架5之间距离。下烘烤组件4底部和顶部分别连接有升降机构6和伸缩支撑架7，伸缩支撑架7远离下烘烤组件4端与掩膜版支撑架5底部固接，上下料抬版臂进出空间高度为下烘烤组件4与掩膜版支撑架5之间距离。为确保足够的上小料空间和距离，上烘烤组件和下烘烤组件与掩膜版支撑架5之间具有足够的距离，这样，置于掩膜版支撑架5上的待烘烤掩膜版距离上烘烤组件和下烘烤组件较远，上烘烤组件和下烘烤组件发出的热量需本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，其特征在于，包括密封的烘烤室，所述烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，所述下烘烤组件和所述上烘烤组件分别设置于所述掩膜版支撑架的下方和上方，所述掩膜版支撑架与所述上烘烤组件和所述下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；所述上烘烤组件固定安装于所述烘烤室内，所述上下料抬版空间高度为所述上烘烤组件与所述掩膜版支撑架之间距离；所述下烘烤组件底部和顶部分别连接有升降机构和伸缩支撑架，所述伸缩支撑架远离所述下烘烤组件端与所述掩膜版支撑架底部固接，所述上下料抬版臂进出空间高度为所述下烘烤组件与所述掩膜版支撑架之间距离；所述升降机构带动所述掩膜版支撑架和所述下烘烤组件上升，压缩所述上下料抬版空间高度和所述上下料抬版臂进出空间高度，所述上烘烤组件和所述下烘烤组件靠近所述掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版。2.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，其特征在于，所述掩膜版支撑架包括相对设置的两L型支撑块，两所述L型支撑块形成掩膜版放置区，所述L型支撑块的支撑面与所述上烘烤组件之间距离为所述上下料抬版空间，所述L型支撑块的支撑与所述下烘烤组件之间距离为所述上下料抬版臂进出空间；两所述L型支撑块底部分别连接有导向移动机构，两所述导向移动机构分别驱动两所述L型支撑块做相向靠近或向背远离；两所述导向移动机构均包括平行设置的导轨和丝杆，两所述丝杆相离的一端均分别连接有伺服电机。3.根据权利要求2所述的大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，其特征在于，两所述导向移动机构之间留有间距，所述间距宽度为所述上下料抬版臂进出空间宽度；两所述导向移动机构底部分别连接有安装座，所述上下料抬版臂进出空间位于两所述安装座之间；所述安装座包括相对设置的条形支撑板，两所述条形支撑板分别置于所述导向移动机构两端，所述导轨两端分别与两所述条形支撑板固接，所述丝杆两端分别与所述条形支撑板连接，所述伺服电机与一条形支撑板固定安装。4.根据权利要求3所述的大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，其特征在于，所述伸缩支...
【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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